{"id":707,"date":"2026-06-01T05:34:46","date_gmt":"2026-06-01T05:34:46","guid":{"rendered":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/?p=707"},"modified":"2026-06-01T05:34:46","modified_gmt":"2026-06-01T05:34:46","slug":"planetary-gearbox-semiconductor-wafer-handling-cleanroom","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/planetary-gearbox-semiconductor-wafer-handling-cleanroom\/","title":{"rendered":"Planetengetriebe f\u00fcr Halbleiteranlagen \u2013 Reinraum- und Waferhandling"},"content":{"rendered":"
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\"Planetengetriebe,<\/p>\n
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Anwendungsleitfaden f\u00fcr Halbleiter \u00b7 ISO 14644 \u00b7 Ausgasung \u00b7 Nichtmagnetisch \u00b7 Samsung \/ SK Hynix<\/div>\n

Planetengetriebe f\u00fcr Halbleiteranlagen \u2014
\nReinraum-, Waferhandhabungs- und ausgasungsarmes Design<\/h1>\n

Jede Entscheidung f\u00fcr die Auswahl von Planetengetrieben in der Halbleiterindustrie beginnt mit einer Frage, die Standardkataloge nicht beantworten k\u00f6nnen. Ein handels\u00fcbliches Industrieplanetengetriebe, das zehn Jahre lang einwandfrei in einer koreanischen Verpackungslinie l\u00e4uft, kontaminiert innerhalb weniger Wochen einen Reinraum in einer Waferfabrik \u2013 nicht etwa aufgrund mangelnder Pr\u00e4zision, sondern weil sein Schmierstoff bei 20 \u00b0C VOCs ausgast, die sich auf 300-mm-Siliziumwafern ablagern, sein Stahlgeh\u00e4use ferromagnetische Partikel freisetzt, die sich w\u00e4hrend des Transports magnetisieren, und seine Standardgeh\u00e4usebeschichtung Mikropartikel freisetzt, deren Konzentration die Grenzwerte der ISO-Klasse 5 \u00fcberschreitet. Dieser Leitfaden behandelt alle Spezifikationen, die den Unterschied zwischen den einzelnen Getrieben ausmachen. Reinraumtaugliche Getriebe<\/strong> aus Standard-Industrieanlagen.<\/p>\n

EP-AFHK Ultrapr\u00e4zisionsserie ansehen \u2192
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Koreanische Halbleiterfertigung \u2013 Warum Getriebespezifikationen so besonders anspruchsvoll sind<\/h2>\n

Korea verf\u00fcgt \u00fcber die weltweit h\u00f6chste Halbleiterfertigungsdichte. Samsungs Werk in Pyeongtaek (Phasen P3 und P4) und SK Hynix' M15X-Anlage in Cheongju produzieren zusammen den Gro\u00dfteil der weltweiten DRAM- und NAND-Flash-Speicher. In diesen Anlagen werden 300-mm-Siliziumwafer in 400 bis 600 Schritten verarbeitet, darunter Fotolithografie, Abscheidung, \u00c4tzen und CMP-Prozesse. Die Reinr\u00e4ume entsprechen der ISO-Klasse 3\u20135 (10\u2013100 Partikel \u2265 0,1 \u03bcm pro Kubikmeter Luft).<\/p>\n

Die in dieser Umgebung eingesetzten Getriebe \u2013 in FOUP-Transport-AGVs, Wafer-Handler-Rotationsachsen, Ladeport-Ausrichtungstischen, Fotolithografie-Retikeltischen und CMP-Kopf-Rotationsantrieben \u2013 unterliegen denselben Reinraumspezifikationen wie alle anderen Komponenten. Ein Getriebe, das Partikel freisetzt, Chemikalien ausgast oder Magnetfelder erzeugt, die Ausrichtungssysteme beeintr\u00e4chtigen k\u00f6nnten, ist kein Getriebe minderer Qualit\u00e4t \u2013 es ist schlichtweg ein Getriebe, das f\u00fcr eine andere Umgebung konzipiert und in der falschen Umgebung eingesetzt wurde.<\/p>\n

\"Planare<\/p>\n

Das Verst\u00e4ndnis der Reinraumspezifikation f\u00fcr Planetengetriebe in der Halbleiterindustrie erm\u00f6glicht es koreanischen Ausr\u00fcstern der Halbleiterindustrie, von Anfang an die richtige Getriebekonfiguration festzulegen \u2013 anstatt Inkompatibilit\u00e4ten erst bei der Kundenabnahmepr\u00fcfung zu entdecken, was der kostspieligste Zeitpunkt f\u00fcr die Behebung eines Fehlers in der Komponentenspezifikation ist.<\/p>\n

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Koreanische Fab Zone<\/th>\nISO-Klasse<\/th>\nMaximale Partikelgr\u00f6\u00dfe \u22650,1 \u03bcm pro m\u00b3<\/th>\nTemperatur \/ Luftfeuchtigkeit<\/th>\nGetriebenutzung<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Fotolithografie-Bucht<\/td>\nISO 3<\/td>\n10<\/td>\n20 \u00b0C \u00b10,1 \u00b0C \/ 40% RH<\/td>\nRetikel-Stufe, Wafer-Lader \u2013 am anspruchsvollsten<\/td>\n<\/tr>\n
Abscheidungs- \/ \u00c4tzbuchten<\/td>\nISO 4\u20135<\/td>\n100\u20131.000<\/td>\n20\u201322 \u00b0C \/ 40\u2013501 \u00b5m RH<\/td>\nGer\u00e4tebediener, Deckentransport<\/td>\n<\/tr>\n
CMP \/ Verpackungsbuchten<\/td>\nISO 6\u20137<\/td>\n10.000\u2013100.000<\/td>\n20\u201323 \u00b0C \/ 40\u2013601 \u00b5m RH<\/td>\nFOUP-Transport, Materialhandhabungs-AGV<\/td>\n<\/tr>\n
Fab-Unterst\u00fctzungskorridor<\/td>\nISO 8<\/td>\n3,520,000<\/td>\nUmgebungstemperatur \u00b12\u00b0C<\/td>\nDer Standard EP-AB ist in dieser Zone zul\u00e4ssig.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

Reinheitsklassifizierungen gem\u00e4\u00df ISO 14644-1:2015. Spezifikationen f\u00fcr koreanische Halbleiterfertigungsanlagen von Samsung\/SK Hynix. Alle Fertigungsbereiche weisen ganzj\u00e4hrig eine Temperatur von ca. 20\u201322 \u00b0C auf \u2013 die Mindesttemperatur von 0 \u00b0C der Hypoid-Serie EP-KF\/KH ist f\u00fcr keine Innenfertigungsanlage relevant.<\/p>\n<\/section>\n

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Vier Wege, wie ein Standardgetriebe eine Halbleiterfabrik verunreinigt<\/h2>\n

Die Reinrauminkompatibilit\u00e4t von Standardgetrieben entsteht durch vier unabh\u00e4ngige Mechanismen. Jeder Mechanismus muss separat betrachtet werden \u2013 die Beseitigung eines Mechanismus behebt die anderen nicht.<\/p>\n

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1<\/div>\n
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Ausgasung von Schmierstoffen \u2013 die unsichtbare Verunreinigung<\/div>\n

Standardm\u00e4\u00dfige Schmierfette basieren auf Mineral\u00f6l oder PAO (Polyalphaolefin) mit Amin- oder Calcium-basierten Verdickungsmitteln. Bei Raumtemperatur im Reinraum setzen diese Verbindungen durch Dampfdruck fl\u00fcchtige organische Verbindungen (VOCs) frei \u2013 ein Prozess, der als Ausgasung bezeichnet wird. Die freigesetzten VOCs sind auf molekularer Ebene unsichtbar, lagern sich aber auf nahegelegenen Oberfl\u00e4chen ab, darunter Siliziumwafer und Retikelglas.<\/p>\n

Mechanismus:<\/strong> Bei 20 \u00b0C kann ein handels\u00fcbliches Mineral\u00f6lfett einen Dampfdruck von 10\u207b\u2074 bis 10\u207b\u00b3 Pa aufweisen. Die Abscheidungsrate auf nahegelegenen Oberfl\u00e4chen betr\u00e4gt etwa 0,1\u20131 ng\/cm\u00b2\/Stunde. Auf einem 300-mm-Wafer, der 500 mm von einem kontaminierenden Getriebe entfernt positioniert ist, lagert sich innerhalb eines 24-st\u00fcndigen Dauerbetriebs ein organischer Film ab. Dieser ver\u00e4ndert die Benetzbarkeit und Haftungseigenschaften des Fotolacks und verursacht dadurch Defekte in nachfolgenden Lithographieschritten.<\/p>\n

L\u00f6sung:<\/strong> PFPE-Fett (Perfluorpolyether). Dampfdruck bei 20 \u00b0C: <10\u207b\u00b9\u2070 Pa \u2013 sieben oder mehr Gr\u00f6\u00dfenordnungen niedriger als bei Mineral\u00f6l. PFPE-Fett ist chemisch inert, reagiert nicht mit Prozessgasen und hinterl\u00e4sst keine messbaren organischen Ablagerungen auf nahegelegenen Oberfl\u00e4chen. Getriebe der Korea Ever-Power EP-Serie mit PFPE-Fett in Reinraumqualit\u00e4t sind auf Anfrage erh\u00e4ltlich \u2013 bitte geben Sie bei der Bestellung \u201ePFPE-Schmierstoff f\u00fcr Halbleiter-Reinraum\u201c an.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

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Partikelbildung durch Abrieb von Zahnradverzahnungen<\/div>\n

Jedes Planetengetriebe erzeugt im Eingriffsbereich der Zahnr\u00e4der metallische Verschlei\u00dfpartikel im Submikrometerbereich \u2013 eine unvermeidliche Folge der Gleit- und Rollbewegung an der Zahnflanke. In industriellen Umgebungen werden diese Partikel durch die Schmierfettstruktur im abgedichteten Geh\u00e4use zur\u00fcckgehalten. Bei Reinraumgetrieben ist es jedoch entscheidend, jeglichen Austritt von Partikeln zu verhindern: Die Wellendichtung muss die Partikelwanderung entlang der Wellenoberfl\u00e4che unterbinden, und das Geh\u00e4use darf keine Mikrospalte aufweisen, durch die partikelbeladene Luft durch den thermischen Atmungszyklus des Getriebes angesaugt werden kann.<\/p>\n

Mechanismus:<\/strong> Beim Erhitzen eines Getriebes vom Kaltstart auf Betriebstemperatur dehnt sich die Luft im Geh\u00e4use aus und sucht den Weg des geringsten Widerstands \u2013 typischerweise entlang der Wellendichtlippe. Beim Abk\u00fchlen wird Au\u00dfenluft (und die darin enthaltenen Partikel) wieder angesaugt. Dieser \u201eAtmungseffekt\u201c kann Partikel in beide Richtungen transportieren. L\u00f6sung:<\/strong> Vollst\u00e4ndig abgedichtetes Geh\u00e4use ohne thermischen Atmungsweg \u2013 erreicht durch den Verzicht auf Entl\u00fcftungs\u00f6ffnungen und die Verwendung von FFKM (Perfluorelastomer) Wellendichtungen, die \u00fcber den gesamten Betriebstemperaturbereich einen engeren Lippenkontakt gew\u00e4hrleisten als Standard-NBR- oder FKM-Dichtungen.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
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3<\/div>\n
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Ausgasung und Partikelbildung der Geh\u00e4useoberfl\u00e4chenbeschichtung<\/div>\n

Standardm\u00e4\u00dfige Getriebegeh\u00e4use f\u00fcr industrielle Anwendungen sind mit \u00f6l- oder acrylbasierten Lacken beschichtet, die bei Raumtemperatur aush\u00e4rten. Diese Beschichtungen geben \u00fcber Monate nach dem Auftragen weiterhin L\u00f6semittelr\u00fcckst\u00e4nde (VOCs) ab und setzen mit der Zeit Mikropartikel frei. In einem Reinraum der ISO-Klasse 3\u20135 kann selbst eine kleine Partikelquelle den zul\u00e4ssigen Grenzwert f\u00fcr die Partikelkonzentration in unmittelbarer N\u00e4he des Getriebes \u00fcberschreiten.<\/p>\n

L\u00f6sung:<\/strong> Das Geh\u00e4use besteht aus blankem, eloxiertem Aluminium (ohne Lackierung) oder ist stromlos vernickelt (VOC-frei, minimale Partikelbildung). Einige koreanische Anlagenbauer verwenden f\u00fcr besonders anspruchsvolle Anwendungen der ISO-Klasse 3 elektropolierte Edelstahlgeh\u00e4use. Korea Ever-Power bietet f\u00fcr Getriebe der EP-Serie mit blankem, eloxiertem Geh\u00e4use f\u00fcr Reinraumanwendungen an \u2013 bitte bei der Bestellung angeben.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
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4<\/div>\n
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Ferromagnetisches Material und Streufelder<\/div>\n

Standardm\u00e4\u00dfige Getriebekomponenten (Geh\u00e4use, Zahnr\u00e4der, Wellen, Planetentr\u00e4ger) bestehen aus Standard-Kohlenstoffstahl oder legiertem Stahl \u2013 ferromagnetischen Werkstoffen mit signifikanter magnetischer Permeabilit\u00e4t. In den meisten Anwendungen ist dies unerheblich. In koreanischen MRAM-Fertigungsanlagen (Magnetic Random Access Memory) und in der N\u00e4he von Elektronenstrahllithographieanlagen verursachen Streufelder ferromagnetischer Komponenten Ausrichtungsfehler in der Elektronenstrahls\u00e4ule und k\u00f6nnen den magnetischen Zustand von teilweise gefertigten MRAM-Zellen ver\u00e4ndern.<\/p>\n

Mechanismus:<\/strong> Ein Standard-Getriebegeh\u00e4use aus Stahl weist eine relative magnetische Permeabilit\u00e4t \u03bc\u1d63 von 100\u20131000 auf (ferromagnetisch). Bereits in einem Abstand von 300 mm wird das Erdmagnetfeld durch das Geh\u00e4use verzerrt. Streufelder von Motormagneten oder Stromkabeln, die in das Geh\u00e4use einkoppeln, erzeugen ein zeitlich ver\u00e4nderliches Feld, das die in manchen EUV-Lithographiesystemen geforderte Feldstabilit\u00e4t von 10 nT \u00fcberschreiten kann. L\u00f6sung:<\/strong> Die Geh\u00e4usekonstruktion aus austenitischem Edelstahl (SS316L, \u03bc\u1d63 \u2248 1,003) oder Aluminium (\u03bc\u1d63 \u2248 1,000006) beseitigt das Problem der Ferromagnetik. Dies ist eine Sonderanfertigung \u2013 bitte wenden Sie sich an die Anwendungstechnik von Korea Ever-Power, um die Anforderungen f\u00fcr Ihre Fertigungszone und Ihren Ger\u00e4tetyp zu kl\u00e4ren.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/section>\n

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ISO 14644 Reinraumklasse \u2192 Getriebespezifikationsanforderungen<\/h2>\n

Nicht jede Zone in der Halbleiterfertigung ben\u00f6tigt die vollst\u00e4ndige Spezifikation f\u00fcr Reinraumgetriebe. Die Anforderungen skalieren mit der Reinraumklasse \u2013 ein Materialtransportkorridor der ISO-Klasse 7 hat grundlegend andere Anforderungen als eine Fotolithografiehalle der ISO-Klasse 3. Eine \u00dcberspezifizierung der Reinraumausstattung verursacht Kosten ohne funktionalen Nutzen; eine Unterspezifizierung birgt das Risiko von Kontaminationen in der Fertigung.<\/p>\n

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ISO-Klasse<\/th>\nSchmiermittel<\/th>\nWellendichtung<\/th>\nGeh\u00e4usebeschichtung<\/th>\nNicht magnetisch<\/th>\nKorea Ever-Power Bestellhinweis<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
ISO 8 (Unterst\u00fctzungskorridor)<\/td>\nStandardfett \u2713<\/td>\nStandard NBR \u2713<\/td>\nStandardlackierung \u2713<\/td>\nNicht erforderlich<\/td>\nStandard-EP-AB-Lagerbestand \u2013 keine Sonderbestellung erforderlich<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 6\u20137 (CMP\/Verpackung)<\/td>\nPFPE bevorzugt<\/td>\nFKM oder FFKM<\/td>\nVOC-arm oder eloxiert<\/td>\nBest\u00e4tigung pro Zone<\/td>\nBitte bei der Bestellung \u201eReinraumfett + FKM-Dichtung\u201c angeben.<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 4\u20135 (Abscheidung\/\u00c4tzen)<\/td>\nPFPE erforderlich<\/td>\nFFKM erforderlich<\/td>\neloxiertes Aluminium erforderlich<\/td>\nWenn MRAM\/EB-Zone: ja<\/td>\nBestellung mit vollst\u00e4ndiger Reinraumspezifikation; Lieferzeit 2\u20133 Wochen<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 3 (EUV-Lithografiebucht)<\/td>\nPFPE erforderlich<\/td>\nFFKM erforderlich<\/td>\nElektropolierter Edelstahl 316L<\/td>\nErforderlich<\/td>\nKundenspezifische Entwicklung erforderlich \u2013 binden Sie das koreanische Ever-Power-Anwendungsteam fr\u00fchzeitig in die Entwurfsphase ein.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

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Wichtiger Bestellhinweis: <\/strong>
\nAlle Reinraumoptionen \u2013 PFPE-Fett, FFKM-Dichtung, eloxiertes Geh\u00e4use, nichtmagnetische Ausf\u00fchrung \u2013 m\u00fcssen bei der Bestellung angegeben werden. Standardgetriebe der EP-Serie werden mit Standard-Mineral-\/PAO-Fett, NBR-Dichtungen und lackiertem Geh\u00e4use geliefert. Eine Umr\u00fcstung vor Ort ist nicht m\u00f6glich. Sollten Sie ein Standardgetriebe erhalten und feststellen, dass in Ihrem Reinraumbereich PFPE-Schmierstoff erforderlich ist, muss das Getriebe zur\u00fcckgesendet und durch ein Reinraumgetriebe ersetzt werden. Die Lieferzeit f\u00fcr Reinraumoptionen betr\u00e4gt 2\u20134 Wochen; bitte ber\u00fccksichtigen Sie dies bei Ihrer Beschaffungsplanung.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

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Rotationsachse f\u00fcr Wafer-Handler \u2013 Pr\u00e4zisionsanforderungen und Serienauswahl<\/h2>\n

Planetengetriebe f\u00fcr Wafer-Handler in der Halbleiterindustrie erfordern eine Pr\u00e4zision, die die meisten industriellen Servoanwendungen \u00fcbertrifft. Robotergest\u00fctzte Wafer-Handler \u2013 die Anlagen, die 300-mm-Siliziumwafer zwischen FOUPs, Prozesskammern und Ausrichtmaschinen transportieren \u2013 nutzen zwei Rotationsachsen: eine Theta-Achse (\u03b8), die den gesamten Arm zur Ausrichtung an den Zielschlitzen dreht, und eine Ausfahrachse, die den Endeffektor radial aus- und einf\u00e4hrt. Die Positioniergenauigkeit der Theta-Achse bestimmt, ob der Wafer innerhalb der Toleranz des Endeffektors platziert wird; die Ausfahrachse bestimmt die radiale Positioniergenauigkeit.<\/p>\n

\"Anwendung<\/p>\n

Kritische Positionierungsanforderung f\u00fcr die Theta-Achse: Der Wafermittelpunkt muss innerhalb von \u00b10,5 mm der Zielposition bei einem nominalen Waferradius von 300 mm (150 mm vom Wafermittelpunkt) positioniert werden. Dies erfordert einen Winkelfehler der Theta-Achse von:<\/p>\n

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THETA-ACHSEN-SPIELANFORDERUNG \u2014 WAFER-HANDLER<\/p>\n

Erforderlich: Positionsfehler \u2264 \u00b10,5 mm bei einem Armradius von r = 300 mm<\/p>\n

Winkelfehler \u03b8_max = \u0394x \/ r = 0,5 \/ 300 = 0,00167 rad
\n= 0,00167 \u00d7 (180 \u00d7 60 \/ \u03c0) = 5,7 Bogenminuten maximal<\/span><\/p>\n

Getriebespiel-Budget (40% Gesamtfehler):
\n\u03b8_Getriebe \u2264 5,7 \u00d7 0,40 = 2,3 Bogenminuten<\/p>\n

\u2192 Erfordert ein Zahnflankenspiel von \u2264 2,3 Bogenminuten an der Abtriebswelle
\n\u2192 P1 (\u22643\u2032) ist marginal \u2013 kann im schlimmsten Fall das Budget \u00fcberschreiten
\n\u2192 P0 (\u22641\u2032) bietet eine 2,3-fache Sicherheitsmarge \u2014 korrekte Spezifikation
\n\u2192 EP-AFH (\u22641\u2032-Standard) eliminiert den Schritt der G\u00fctespezifikation.<\/p><\/div>\n<\/div>\n

F\u00fcr koreanische OEMs von Wafer-Handling-Systemen EP-AFH Ultrapr\u00e4zisionsserie<\/a> Dies ist die Standardempfehlung f\u00fcr die Theta-Achse. Jede EP-AFH-Einheit wird standardm\u00e4\u00dfig mit \u22641 Bogenminute ausgeliefert \u2013 keine Auswahl eines G\u00fctecodes, keine Messabweichungen zwischen den Einheiten innerhalb des G\u00fctebereichs. Das Lieferzertifikat best\u00e4tigt den Messwert jeder Einheit. F\u00fcr die Auslegerachse (Radialachse) sind die Genauigkeitsanforderungen geringer (\u00b11 mm Toleranz an der Effektorspitze), und P0 oder P1 ist je nach Armgeometrie geeignet.<\/p>\n

Temperaturstabilit\u00e4t und thermische Positionsdrift: <\/strong>
\nDie Reinr\u00e4ume koreanischer Waferfabriken gew\u00e4hrleisten eine Temperaturstabilit\u00e4t von 20 \u00b0C \u00b10,1 \u00b0C. Diese pr\u00e4zise Temperaturregelung dient speziell dazu, Positionsabweichungen durch die thermische Ausdehnung der Anlagen zu verhindern. Ein Reinraumgetriebe in einer thermisch stabilen Umgebung erreicht eine Positioniergenauigkeit, die durch das Spiel und die Encoderaufl\u00f6sung \u2013 und nicht durch die thermische Ausdehnung \u2013 begrenzt ist. Die hohe Temperaturstabilit\u00e4t im Reinraum ist selbst ein entscheidender Vorteil: Die thermische Drift des Getriebes, die in Standardanwendungen der Industrie ein erhebliches Problem darstellt, ist in einer ordnungsgem\u00e4\u00df kontrollierten Reinraumumgebung praktisch null.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

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FOUP Transport AGV \u2014 Antriebsradspezifikation f\u00fcr den Betrieb in der Fertigungshalle<\/h2>\n

Der Transport von Front Opening Unified Pods (FOUP) in koreanischen Halbleiterfabriken erfolgt prim\u00e4r \u00fcber Deckenkrane (OHT) an Deckenschienen f\u00fcr den Transport von der Fabrik zum Montageplatz. F\u00fcr den Transport von Montageplatz zu Anlagen in Bereichen mit geringerem Verkehrsaufkommen werden bodennahe AGVs (fahrerlose Transportsysteme) eingesetzt. Die Antriebsgetriebe der bodennahen AGVs arbeiten im selben Reinraum wie die Prozessanlagen.<\/p>\n

Die Anforderungen an das Getriebe des FOUP-Transport-AGV kombinieren die Reinraumspezifikationen aus den Modulen 2\u20133 mit den AGV-spezifischen Anforderungen aus Art. 12: Synchronisierung der Differenzialantriebsdrehzahl (abgestimmtes Paar, Zertifikat \u00fcber eine Abweichung des \u00dcbersetzungsverh\u00e4ltnisses von \u22640,01%), geringe Betriebsger\u00e4usche (akustische Vibrationen, die die Ausrichtung der Lithographie in benachbarten Bereichen st\u00f6ren k\u00f6nnten, m\u00fcssen an der Bereichsgrenze unter 55 dB(A) liegen) und wartungsfreie, gekapselte Konstruktion.<\/p>\n

Der EP-KF\/KH Hypoid-Serie<\/a> Diese L\u00f6sung eignet sich f\u00fcr die Antriebsr\u00e4der koreanischer AGV-Fertigungsanlagen, da die Umgebungstemperatur in der Fabrik konstant bei 20 \u00b0C liegt und damit deutlich \u00fcber der minimalen Betriebstemperatur von 0 \u00b0C (KF\/KH) liegt. Die Hypoid-Getriebegeometrie erzeugt bei gleichem Drehmoment einen um ca. 6\u20138 dB(A) geringeren Betriebsger\u00e4uschpegel als Standard-Planetengetriebe, was in der ger\u00e4uschempfindlichen Umgebung der Fabrik von Bedeutung ist. F\u00fcr FOUP-Transport-AGVs sind zus\u00e4tzlich zum Zertifikat f\u00fcr die Drehzahlsynchronisation die Reinraumschmierstoffoption (PFPE) und FFKM-Wellendichtungen vorzusehen.<\/p>\n

\"Korea<\/p>\n

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Halbleiteranlagen-Antrieb<\/th>\nR\u00fcckschlag erforderlich<\/th>\nReinraumspezifikation<\/th>\nKorea Ever-Power-Serie<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Wafer-Handler \u03b8-Achse (ISO 4\u20135)<\/td>\n\u22641 Bogenminute<\/td>\nPFPE + FFKM + eloxiert<\/td>\nEP-AFH<\/a> + Reinraumspezifikation<\/td>\n<\/tr>\n
Wafer-Handler-Verl\u00e4ngerungsachse (ISO 4\u20135)<\/td>\n\u22643 Bogenminuten<\/td>\nPFPE + FFKM<\/td>\nEP-AB P0\/P1<\/a> + Reinraumspezifikation<\/td>\n<\/tr>\n
FOUP AGV-Antriebsrad (ISO 6\u20137)<\/td>\nVerh\u00e4ltnis\u00fcbereinstimmung \u22640,01%<\/td>\nPFPE + FKM-Dichtung<\/td>\nEP-KF-Paar<\/a> + Reinraumspezifikation<\/td>\n<\/tr>\n
CMP-Kopfdrehung (ISO 6)<\/td>\n\u22641 Bogenminute<\/td>\nPFPE + FFKM + eloxiert<\/td>\nEP-AFH + Reinraumspezifikation<\/td>\n<\/tr>\n
Ausrichtungsstufe f\u00fcr die Lade\u00f6ffnung (ISO 5)<\/td>\n\u22641 Bogenminute<\/td>\nPFPE + FFKM + eloxiert<\/td>\nEP-ABR P0<\/a> oder EP-AFH + Reinraumspezifikation<\/td>\n<\/tr>\n
Fab-Support-\/Utility-Laufwerke (ISO 8)<\/td>\nP2 ausreichend<\/td>\nStandardbestand<\/td>\nEP-AB P2 Standard \u2014 keine Sonderbestellung<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/section>\n

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MRAM-Fertigung und EUV-Lithographie \u2013 Spezifikation f\u00fcr nichtmagnetische Konstruktion<\/h2>\n

Die Herstellung von magnetischem RAM (MRAM) und Spin-Transfer-Torque-RAM (STT-RAM) \u2013 einer aufstrebenden Prozesstechnologie von Samsung und SK Hynix \u2013 erfordert kontrollierte Magnetfelder w\u00e4hrend der gesamten Abscheidungsschritte, die den Schichtaufbau der magnetischen Tunnelkontakte (MTJ) definieren. Die Koerzitivfeldst\u00e4rke dieser Schichten liegt im Bereich von 5\u201350 Oersted; ein Streufeld von nur 1 Oersted, verursacht durch nahegelegene Anlagen w\u00e4hrend der Abscheidung, kann die beabsichtigte Ausrichtung des magnetischen Moments in der MTJ-Schicht ver\u00e4ndern.<\/p>\n

\"Schnittzeichnung<\/p>\n

EUV-Lithographiesysteme (Extreme Ultraviolet), die seit 2019 in Samsungs Fabriken in Hwaseong und Pyeongtaek im Einsatz sind, nutzen elektronenoptische S\u00e4ulen, die auf Streufelder im Sub-Nanonotesla-Bereich reagieren. Ein Standard-Stahlgetriebe in 500 mm Abstand von der elektronenoptischen Achse erzeugt ein Streufeld von etwa 100\u2013500 nT \u2013 zwei bis vier Gr\u00f6\u00dfenordnungen \u00fcber den Anforderungen an die Feldstabilit\u00e4t des Systems.<\/p>\n

\n
Vergleich der magnetischen Permeabilit\u00e4t \u2013 Getriebegeh\u00e4usematerialien<\/div>\n
\n
\n
Standard-Kohlenstoffstahl (ferromagnetisch)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 100\u20131000 \u2014 NICHT f\u00fcr magnetempfindliche Zonen<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Legierter Stahl (W\u00e4lzlagerstahl)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 50\u2013200 \u2014 NICHT f\u00fcr magnetempfindliche Zonen<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Austenitischer Edelstahl SS316L (nichtmagnetischer Edelstahl)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 1,003 \u2014 akzeptabel f\u00fcr die meisten Fertigungszonen<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Aluminium 6061-T6<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 1,000006 \u2014 vernachl\u00e4ssigbare magnetische Signatur<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

Relative magnetische Permeabilit\u00e4t \u03bc\u1d63. Niedrigerer Wert = geringere magnetische Signatur. Standard-Stahlgetriebe erzeugen Streufelder, die bei gleichem Abstand etwa 1000-mal h\u00f6her sind als vergleichbare Getriebe mit Aluminiumgeh\u00e4use.<\/p>\n<\/div>\n

F\u00fcr koreanische Ausr\u00fcster, die in den Bereichen MRAM und EUV t\u00e4tig sind, einschlie\u00dflich derjenigen, die kompakte Staging-Systeme mit der EP-ADS Kompaktserie<\/a>Die Getriebe der EP-Serie von Korea Ever-Power sind mit Aluminiumgeh\u00e4usen f\u00fcr Geh\u00e4use und Planetentr\u00e4ger erh\u00e4ltlich. Die internen Stahlzahnradelemente (Planetenr\u00e4der, Hohlrad, Sonnenrad) bleiben aus Stahl \u2013 dies ist f\u00fcr die Pr\u00e4zisionsfertigung von Zahnr\u00e4dern unumg\u00e4nglich. Die Stahlzahnradelemente erzeugen eine deutlich geringere magnetische Signatur als das Geh\u00e4use, da sie sich schnell drehen (wodurch der Beitrag des statischen Magnetfelds reduziert wird) und durch das Au\u00dfengeh\u00e4use weitgehend abgeschirmt sind. Eine vollst\u00e4ndig nichtmagnetische Konstruktion (mit Zahnradelementen aus Keramik oder Titan) ist eine Sonderanfertigung, die \u00fcber die Standardkatalogprodukte anderer Hersteller hinausgeht.<\/p>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Lieferkette von Samsung und SK Hynix \u2013 Dokumentationsanforderungen f\u00fcr die Ger\u00e4tequalifizierung<\/h2>\n

Koreanische Halbleiteranlagenhersteller, die Auftr\u00e4ge von Samsung (Pyeongtaek, Hwaseong, Giheung) und SK Hynix (Cheongju, Icheon) anbieten, m\u00fcssen ihre Anlagen in einem mehrstufigen Lieferantenabnahmeverfahren qualifizieren. Die Dokumentation auf Komponentenebene f\u00fcr Antriebskomponenten \u2013 einschlie\u00dflich Getriebe \u2013 ist in der Regel in der IQ-Phase (Installationsqualifizierung) erforderlich. Der Umfang der erforderlichen Dokumentation variiert je nach Reinraumklasse der Prozesszone und Anlagentyp. Ein Standardpaket f\u00fcr Pr\u00e4zisionsantriebskomponenten in Reinraumzonen der ISO-Klassen 4 und 5 umfasst jedoch die folgenden Punkte.<\/p>\n

\n
\n
\u2460 Reinraummaterialzertifizierung<\/div>\n

Schriftliche Erkl\u00e4rung des Herstellers, dass alle Materialien (Geh\u00e4use, Dichtungen, Schmierstoff) den Materialspezifikationen des Herstellers entsprechen. Bei PFPE-Schmierstoff: PFPE-Sorte und Name des Lieferanten angeben. Bei FFKM-Dichtungen: Spezifikation des Fluorkohlenstoffpolymers best\u00e4tigen. Korea Ever-Power stellt diese Erkl\u00e4rung in koreanischer Sprache aus.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2461 Ausgasungstestdaten<\/div>\n

Ergebnisse des Ausgastests nach ASTM E1603 oder gleichwertiger Norm f\u00fcr Schmier- und Dichtungsmaterialien bei 20\u201325 \u00b0C. Angegeben sind der Gesamtmasseverlust (TML) und die Menge der gesammelten fl\u00fcchtigen kondensierbaren Bestandteile (CVCM). F\u00fcr PFPE-Fette liegen diese Werte typischerweise unter 0,011 TP3T TML und unter 0,0011 TP3T CVCM \u2013 und damit deutlich innerhalb der werks\u00fcblichen Toleranzen.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2462 Messzertifikat f\u00fcr Zahnflankenspiel<\/div>\n

Anlagenspezifischer, gemessener Spielwert (nicht nur Konformit\u00e4tserkl\u00e4rung). Korea Ever-Power stellt diesen Wert f\u00fcr alle EP-AFH-Anlagen sowie f\u00fcr EP-AB\/AF der G\u00fcteklassen P0 und P1 bereit. Erforderlich f\u00fcr die IQ-Dokumentation positionierungskritischer Antriebsachsen.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2463 Erkl\u00e4rung zur Einhaltung der RoHS- und REACH-Vorschriften<\/div>\n

Schriftliche Best\u00e4tigung, dass das Getriebe keine verbotenen Stoffe gem\u00e4\u00df EU-RoHS 2 (2011\/65\/EU Neufassung) und REACH (EG 1907\/2006) enth\u00e4lt. Erforderlich f\u00fcr Ger\u00e4te, die an multinationale Fertigungsbetreiber verkauft werden. Korea Ever-Power stellt dieses Dokument standardm\u00e4\u00dfig bei Reinraumbestellungen zur Verf\u00fcgung.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2464 Dreidimensionale Zeichnung (PDF, Koreanisch + Englisch)<\/div>\n

Vollst\u00e4ndige Ma\u00dfzeichnung mit Toleranzangaben f\u00fcr die Installationsqualifizierung. Erforderlich f\u00fcr die Dokumentation des IQ\/OQ-Protokolls. Korea Ever-Power stellt diese innerhalb von 3 Werktagen nach Auftragserteilung f\u00fcr jedes Modell der EP-Serie bereit.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2465 Zertifikat \u00fcber das Verh\u00e4ltnis von gepaarten Paaren (nur AGV)<\/div>\n

F\u00fcr FOUP-AGVs mit Differenzialantrieb: Zertifikat \u00fcber die \u00dcbersetzungsabweichung beider Antriebsradgetriebe, das eine \u00dcbersetzungsdifferenz von \u2264 0,01% zwischen den beiden Getrieben best\u00e4tigt. Korea Ever-Power bietet dies standardm\u00e4\u00dfig an, wenn AGV-Paare bestellt werden.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n

Beschaffungszeitplan f\u00fcr koreanische Fertigungsanlagenprojekte: <\/strong>
\nDie Qualifizierungszyklen f\u00fcr Anlagen von Samsung und SK Hynix dauern in der Regel 6\u201312 Monate vom Abschluss der Anlagenkonstruktion bis zur Abnahme. Die Getriebedokumentation wird in der IQ-Phase ben\u00f6tigt \u2013 \u00fcblicherweise 4\u20136 Monate nach Beginn des Qualifizierungszyklus. F\u00fcr reinraumspezifische Getriebe (PFPE + FFKM, Lieferzeit 2\u20134 Wochen) sollte die Bestellung sp\u00e4testens 10 Wochen vor dem ben\u00f6tigten IQ-Dokumentationspaket erfolgen. Bitte kontaktieren Sie Korea Ever-Power bereits in der Konstruktionsphase \u2013 nicht erst in der Beschaffungsphase \u2013, um die Verf\u00fcgbarkeit der Dokumente und die Lieferzeit f\u00fcr Ihre spezifische Fertigungszone und Reinraumklasse zu best\u00e4tigen.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Berechnung des Ausgasungsbudgets \u2013 So ermitteln Sie, ob Standardfett oder PFPE-Fett erforderlich ist<\/h2>\n

Die Entscheidung zwischen Standard-Reinraumfett und PFPE-Reinraumschmierstoff h\u00e4ngt von der Ausgasungsbelastung des Getriebes in der Reinraumluft und dessen N\u00e4he zu freiliegenden Waferoberfl\u00e4chen ab. Der folgende Berechnungsansatz erm\u00f6glicht es koreanischen Ger\u00e4teherstellern, diese Entscheidung quantitativ und nicht durch eine konservative Standardeinstellung zu treffen, die unn\u00f6tige Kosten verursachen k\u00f6nnte.<\/p>\n

\n

BUDGET F\u00dcR DIE KONTAMINATION DURCH AUSGASUNG \u2014 VEREINFACHTES MODELL<\/p>\n

Abscheidungsrate auf Wafer D (ng\/cm\u00b2\/h) von einem einzelnen Getriebe:<\/p>\n

D \u2248 P_vap \u00d7 M_grease \u00d7 k_geom \/ (R \u00d7 T)<\/p>\n

Wo:
\nP_vap = Dampfdruck des Schmier\u00f6l-Grund\u00f6ls bei 20\u00b0C (Pa)
\nM_Fett = freiliegende Fettoberfl\u00e4che (cm\u00b2)
\nk_geom = geometrischer Faktor (h\u00e4ngt von Entfernung und Winkel ab, ~10\u207b\u2075 bis 10\u207b\u00b3)
\nR, T = Gaskonstante, Temperatur<\/p>\n

Mineral\u00f6l PAO (Standard): P_vap \u2248 10\u207b\u00b3 Pa
\n\u2192 D \u2248 0,05\u20130,5 ng\/cm\u00b2\/h bei 300 mm Abstand
\n\u2192 Innerhalb von 24 Stunden: 1,2\u201312 ng\/cm\u00b2 Akkumulation auf dem Wafer \u2190 Nicht bestanden (ISO 5)<\/p>\n

PFPE (Reinraumqualit\u00e4t): P_vap \u2248 10\u207b\u00b9\u2070 Pa
\n\u2192 D < 10\u207b\u2077 ng\/cm\u00b2\/h \u2014 7 Gr\u00f6\u00dfenordnungen niedriger
\n\u2192 Mit Standardanalysemethoden nicht messbar \u2713<\/p><\/div>\n<\/div>\n

Die Berechnung zeigt, warum PFPE f\u00fcr jedes Getriebe, das sich in Sichtlinie zu freiliegenden Wafern befindet, zwingend erforderlich und nicht nur empfehlenswert ist: Der Dampfdruck von Standardfett ist um sieben Gr\u00f6\u00dfenordnungen h\u00f6her als der von PFPE. Kein geometrischer Faktor oder Abstand kann diesen grundlegenden Unterschied ausgleichen. F\u00fcr jedes Getriebe in ISO-Klassen 3\u20136, in denen Wafer der Atmosph\u00e4re ausgesetzt sein k\u00f6nnen, ist PFPE-Fett zwingend erforderlich, nicht nur empfehlenswert.<\/p>\n

\"Details<\/p>\n

Wo Standardfett in einer Halbleiterfabrik akzeptabel ist: <\/strong>
\nGetriebe, die in Reinraumklassen 8 oder niedriger (z. B. in Versorgungskorridoren, Technikr\u00e4umen oder auf Untergeschossen von Anlagen) installiert sind und in denen keine Wafer vorhanden sind, ben\u00f6tigen kein PFPE-Schmiermittel. Standard-EP-AB- oder EP-BPG-Schmiermittel mit Standardfett sind f\u00fcr diese Bereiche die korrekte und kosteng\u00fcnstigste L\u00f6sung. Der h\u00f6here Preis f\u00fcr PFPE (typischerweise 30\u2013501 TP3T mehr pro Einheit) ist nur dann gerechtfertigt, wenn das Getriebe in einem Bereich installiert ist, in dem Waferkontakt m\u00f6glich ist. Die Anwendung von Reinraumspezifikationen auf alle Getriebe einer Fertigungsanlage, unabh\u00e4ngig vom Bereich, erh\u00f6ht die Materialkosten unn\u00f6tigerweise ohne funktionalen Nutzen.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

H\u00e4ufig gestellte Fragen \u2013 Planetengetriebe in koreanischen Halbleiteranlagen<\/h2>\n
\n
\n

Q<\/span>
\nUnser koreanischer Kunde (ein OEM-Hersteller von Fertigungsanlagen, der Samsung beliefert) ben\u00f6tigt ein \u201epartikelfreies\u201c Getriebe. Was bedeutet das in der Praxis genau?<\/h3>\n

\u201ePartikelfrei\u201c bedeutet im koreanischen Beschaffungswesen f\u00fcr Fertigungsanlagen typischerweise, dass das Getriebe keine Partikel oberhalb einer bestimmten Gr\u00f6\u00dfe und Anzahl in die Reinraumluft abgeben darf \u2013 nicht, dass es buchst\u00e4blich keine Partikel erzeugt. Die praktische Spezifikation wird \u00fcblicherweise als maximale Partikelerzeugungsrate in einem bestimmten Abstand und unter bestimmten Luftstr\u00f6mungsbedingungen oder als Materialvertr\u00e4glichkeitsaussage ausgedr\u00fcckt, die sicherstellt, dass Geh\u00e4use und Dichtungen keine Partikel mit einer Gr\u00f6\u00dfe \u00fcber 0,1 \u03bcm in einer Rate abgeben, die das zul\u00e4ssige Partikelkonzentrationsbudget des Reinraums f\u00fcr diese Anlage \u00fcberschreitet. Korea Ever-Power erf\u00fcllt diese Anforderung durch: (1) PFPE-Schmierstoff mit abgedichteter Konstruktion, der die Migration von Fettpartikeln verhindert, (2) FFKM-Wellendichtungen, die eine zuverl\u00e4ssige Abdichtung \u00fcber den gesamten Betriebstemperaturbereich gew\u00e4hrleisten, und (3) ein eloxiertes Aluminiumgeh\u00e4use, das keine Lackpartikel abgibt. Ein vollst\u00e4ndiger Partikelerzeugungstest auf Systemebene (Getriebe in Anlage eingebaut, Betrieb unter Reinraumbedingungen) wird \u00fcblicherweise vom koreanischen Anlagenhersteller und nicht vom Getriebelieferanten durchgef\u00fchrt.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nWir entwickeln einen Rotationsantrieb f\u00fcr den CMP-Kopf (Chemical Mechanical Planarisation) einer koreanischen Waferfabrik. Welche Getriebekonfiguration ist konkret vorgesehen?<\/h3>\n

Ein Rotationsantrieb f\u00fcr den CMP-Polierkopf positioniert diesen \u00fcber der Polierplatte und rotiert ihn w\u00e4hrend des Polierprozesses. Anforderungen an den Antrieb: moderate Drehzahl (30\u2013150 U\/min), moderates Drehmoment (50\u2013300 Nm, abh\u00e4ngig von Kopfgr\u00f6\u00dfe und Poliermitteltyp), Positioniergenauigkeit \u2264 1 Bogenminute f\u00fcr die Kopfpositionierung und Reinraumtauglichkeit (der Kopf arbeitet w\u00e4hrend des Polierens \u00fcber freiliegenden Waferoberfl\u00e4chen). Die EP-AFH-Serie ist die Standardempfehlung \u2013 Standardgenauigkeit \u2264 1 Bogenminute, kompakte, gekapselte Bauweise, erh\u00e4ltlich mit PFPE-Fett und FFKM-Dichtungen f\u00fcr die Anforderungen von CMP-Anlagen der ISO-Klasse 5\u20136. Insbesondere f\u00fcr die Rotationsachse ist die EP-AFH-Inline-Serie gegen\u00fcber rechtwinkligen Konfigurationen vorzuziehen, da die kompakte axiale Baul\u00e4nge den Hebelarm reduziert, den das Kopfgewicht auf das Getriebeausgangslager aus\u00fcbt.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nUnser aktuelles Getriebe verwendet handels\u00fcbliches, abgedichtetes Fett und ist seit 18 Monaten in einem koreanischen Werk im Einsatz, ohne dass es zu Verunreinigungen gekommen ist. M\u00fcssen wir auf PFPE umsteigen?<\/h3>\n

Das Fehlen eines festgestellten Kontaminationsereignisses best\u00e4tigt nicht das Fehlen einer Kontamination. Chemische Verunreinigungen aus Getrieben in Reinr\u00e4umen werden typischerweise erst Monate nach dem Ereignis durch Ausbeuteanalysen festgestellt, nicht in Echtzeit. Eine Fabrik, die eine Photolithographie-Ausbeute von 951 TP3T erreicht, kann 2\u201331 TP3T Ausbeute durch organische Oberfl\u00e4chenverunreinigungen verlieren, ohne dass die Quelle eindeutig identifiziert werden kann. Befindet sich Ihr Getriebe in einer Reinraumklasse 5 oder besser innerhalb von 1\u20132 Metern von freiliegenden Waferoberfl\u00e4chen, gilt die Ausgasberechnung aus Modul 8 \u2013 die Ablagerungsrate von Standard-Mineral\u00f6lfett ist physikalisch messbar und liegt \u00fcber den Reinraumgrenzwerten. Ob diese Ablagerungsrate in Ihrer Anlage erfasst wurde, h\u00e4ngt vom Ausbeute-Tracking-System der Fabrik ab. Korea Ever-Power empfiehlt dringend PFPE-Schmierstoff f\u00fcr alle Getriebe in Reinraumklassen 5 oder besser in der N\u00e4he von freiliegenden Wafern, unabh\u00e4ngig davon, ob ein Kontaminationsereignis formell festgestellt wurde.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nGilt f\u00fcr koreanische Agrarautomatisierungsanlagen, die sich eine Anlage mit einer Halbleiterfertigungszone teilen, die Reinraum-Getriebespezifikation?<\/h3>\n

Nein \u2013 Automatisierungsanlagen f\u00fcr die Landwirtschaft und die Halbleiterfertigung sind v\u00f6llig unterschiedliche Anwendungsbereiche. Koreanische Agrarverarbeitungsbetriebe (Getreide-, Gem\u00fcse- und Lebensmittelverarbeitung) unterliegen nicht den Reinraumanforderungen der ISO 14644. Die Getriebespezifikation f\u00fcr koreanische Agrarautomatisierungsanlagen orientiert sich an den in Artikel 9 beschriebenen Hygieneanforderungen f\u00fcr die Lebensmittelverarbeitung (IP67, KFDA-Konformit\u00e4t, versiegeltes Fett) und nicht an den Reinraumspezifikationen f\u00fcr die Halbleiterindustrie. Kombiniert ein koreanischer Betrieb Agrarverarbeitung und Halbleiterverpackung (z. B. als Spezialfolien- oder Verpackungslieferant f\u00fcr eine Halbleiterfabrik), richtet sich die Spezifikation f\u00fcr jede Zone nach deren jeweiligen Anforderungen: In Bereichen der Agrarverarbeitung werden lebensmittelechte Getriebe eingesetzt, und wenn eine Zone innerhalb des Betriebs dem Reinraumstandard f\u00fcr die Halbleiterindustrie entspricht, erf\u00fcllen die Getriebe dieser Zone die Anforderungen der ISO 14644. F\u00fcr die Stromverteilung mit mehreren Ausg\u00e4ngen an die Verarbeitungsk\u00f6pfe in der Landwirtschaft gilt Folgendes: Landwirtschaftliche Kegelradgetriebe<\/a> Die Verteilung des Signals von einem EP-Planetenverteiler auf einzelne Verarbeitungsk\u00f6pfe ist in den Nicht-Reinraum-Bereichen solcher Anlagen sinnvoll.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Spezifizieren Sie Ihre Getriebe f\u00fcr Halbleiteranlagen mit Korea Ever-Power.<\/h2>\n

Korea Ever-Power bietet Reinraum-konforme Getriebe der EP-Serie mit PFPE-Schmierstoff, FFKM-Dichtungen, eloxiertem Geh\u00e4use und der vollst\u00e4ndigen Dokumentation Samsung\/SK Hynix IQ \u2013 in koreanischer Sprache \u2013 mit einer Lieferzeit von 2\u20134 Wochen. F\u00fcr optimale Ergebnisse empfehlen wir eine fr\u00fchzeitige Einbindung in die Konstruktionsphase.<\/p>\n

EP-AFH Ultra-Precision (Wafer-Handler) \u2192
\n<\/a>
\nEP-KF\/KH Low-Noise (Fab AGV) \u2192
\n<\/a><\/div>\n<\/section>\n<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Semiconductor Application Guide \u00b7 ISO 14644 \u00b7 Outgassing \u00b7 Non-Magnetic \u00b7 Samsung \/ SK Hynix Planetary Gearbox for Semiconductor Equipment \u2014 Cleanroom, Wafer Handling, and Low-Outgassing Design Every planetary gearbox semiconductor equipment selection decision starts with one question standard catalogues cannot answer. A standard industrial planetary gearbox that performs flawlessly for ten years on a […]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_et_pb_use_builder":"","_et_pb_old_content":"","_et_gb_content_width":"","footnotes":""},"categories":[965],"tags":[],"class_list":["post-707","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-application-and-technical-guid"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=707"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":708,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707\/revisions\/708"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=707"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=707"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=707"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}