{"id":707,"date":"2026-06-01T05:34:46","date_gmt":"2026-06-01T05:34:46","guid":{"rendered":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/?p=707"},"modified":"2026-06-01T05:34:46","modified_gmt":"2026-06-01T05:34:46","slug":"planetary-gearbox-semiconductor-wafer-handling-cleanroom","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/planetary-gearbox-semiconductor-wafer-handling-cleanroom\/","title":{"rendered":"Pooljuhtseadmete planetaarne k\u00e4igukast \u2014 puhasruum ja vahvlite k\u00e4itlemine"},"content":{"rendered":"
\n

<\/p>\n

\"planetaarne<\/p>\n
\n
Pooljuhtide rakenduste juhend \u00b7 ISO 14644 \u00b7 Gaasieraldus \u00b7 Mittemagnetiline \u00b7 Samsung \/ SK Hynix<\/div>\n

Pooljuhtseadmete planetaarne k\u00e4igukast \u2014
\nPuhasruum, vahvlite k\u00e4itlemine ja v\u00e4hese gaasieraldusega disain<\/h1>\n

Iga planetaark\u00e4igukasti pooljuhtseadmete valiku otsus algab \u00fchest k\u00fcsimusest, millele standardkataloogid ei suuda vastata. Standardne t\u00f6\u00f6stuslik planetaark\u00e4igukast, mis t\u00f6\u00f6tab Korea pakendusliinil k\u00fcmme aastat laitmatult, saastab kiipide tootmispuhastusruumi n\u00e4dalate jooksul \u2013 mitte sellep\u00e4rast, et selle t\u00e4psus oleks ebapiisav, vaid seet\u00f5ttu, et selle m\u00e4\u00e4rdeaine eraldab 20 \u00b0C juures lenduvaid orgaanilisi \u00fchendeid, mis ladestuvad 300 mm r\u00e4nikiipide pindadele, selle terasest korpus eraldab ferromagnetilisi osakesi, mis transportimise ajal magnetiseeruvad, ja selle standardne korpuse kate eraldab mikroosakesi, mille kontsentratsioonipiirid \u00fcletavad ISO klassi 5. See juhend h\u00f5lmab k\u00f5iki spetsifikatsioonim\u00f5\u00f5tmeid, mis eraldavad... puhasruumiga \u00fchilduvad k\u00e4igukastid<\/strong> standardsetest t\u00f6\u00f6stus\u00fcksustest.<\/p>\n

Vaata EP-AFHK \u00fclit\u00e4pseid seeriaid \u2192
\n<\/a><\/p>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Korea pooljuhtide tootmine \u2013 miks on k\u00e4igukasti spetsifikatsioonid erakordselt n\u00f5udlikud<\/h2>\n

Korea haldab maailma suurima tihedusega pooljuhtide tootmisv\u00f5imsust. Samsungi Pyeongtaeki tehas (P3 ja P4 faasid) ja SK Hynixi Cheongju M15X tehas toodavad kokku suurema osa maailma DRAM- ja NAND-v\u00e4lkm\u00e4lust. Need tehased t\u00f6\u00f6tlevad 300 mm r\u00e4niplaate 400\u2013600 fotolitograafia, sadestamise, s\u00f6\u00f6vitamise ja CMP protsessi etapis puhasruumides, mida hoitakse ISO klassi 3\u20135 (10\u2013100 osakest \u22650,1 \u03bcm kuupmeetri \u00f5hu kohta) kohaselt.<\/p>\n

Selles keskkonnas kasutatavad k\u00e4igukastid \u2013 FOUP-transpordi AGV-d, kiipide k\u00e4itlemise p\u00f6\u00f6rlemistelged, laadimispordi joondamisastmed, fotolitograafia sihikuastmed ja CMP-pea p\u00f6\u00f6rlemisajamid \u2013 puutuvad kokku samade puhasruumi spetsifikatsioonidega nagu k\u00f5ik teised komponendid. K\u00e4igukast, mis eraldab osakesi, eraldab kemikaale v\u00f5i tekitab magnetv\u00e4lju, mis v\u00f5ivad joonduss\u00fcsteeme h\u00e4irida, ei ole \u201emadalama kvaliteediga\u201c k\u00e4igukast \u2013 see on lihtsalt teistsuguse keskkonna jaoks loodud k\u00e4igukast, mis on paigutatud valesse keskkonda.<\/p>\n

\"Planaarsed<\/p>\n

Planetaarse k\u00e4igukasti pooljuhtide puhasruumi spetsifikatsiooni m\u00f5istmine v\u00f5imaldab Korea pooljuhtide t\u00f6\u00f6stuse seadmete tarnijatel algusest peale m\u00e4\u00e4rata \u00f5ige k\u00e4igukasti konfiguratsiooni \u2013 selle asemel, et avastada \u00fchildumatusi kliendi vastuv\u00f5tukatsete k\u00e4igus, mis on komponendi spetsifikatsioonivea lahendamise k\u00f5ige kulukam punkt.<\/p>\n

<\/p>\n

\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Korea tehase tsoon<\/th>\nISO-klass<\/th>\nMaksimaalne osakeste arv \u22650,1 \u03bcm\/m\u00b3<\/th>\nTemperatuur \/ Niiskus<\/th>\nK\u00e4igukasti kasutamine<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Fotolitograafia laht<\/td>\nISO 3<\/td>\n10<\/td>\n20\u00b0C \u00b10,1\u00b0C \/ 40% suhteline \u00f5huniiskus<\/td>\nSihikuga aste, kiibilaadur \u2013 k\u00f5ige n\u00f5udlikum<\/td>\n<\/tr>\n
Sadestamis-\/s\u00f6\u00f6vituslahtrid<\/td>\nISO 4\u20135<\/td>\n100\u20131000<\/td>\n20\u201322 \u00b0C \/ 40\u201350% suhteline \u00f5huniiskus<\/td>\nSeadmete k\u00e4itlejad, \u00f5huliinitransport<\/td>\n<\/tr>\n
CMP \/ pakendamisalad<\/td>\nISO 6\u20137<\/td>\n10 000\u2013100 000<\/td>\n20\u201323 \u00b0C \/ 40\u201360% suhteline \u00f5huniiskus<\/td>\nFOUP transport, materjalik\u00e4itlus AGV<\/td>\n<\/tr>\n
Fab tugikoridor<\/td>\nISO 8<\/td>\n3,520,000<\/td>\n\u00dcmbritseva \u00f5hu \u00b12\u00b0C<\/td>\nSelles tsoonis on vastuv\u00f5etav standard EP-AB<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

ISO 14644-1:2015 puhtusklassifikatsioonid. Korea pooljuhtide tootmistsoonid Samsungi\/SK Hynixi seadmete spetsifikatsioonide j\u00e4rgi. K\u00f5ikides tootmispiirkondades hoitakse aastaringselt ligikaudu 20\u201322 \u00b0C \u2013 EP-KF\/KH h\u00fcpoidseeria 0 \u00b0C miinimum ei ole siseruumides paigaldamise puhul probleem.<\/p>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Neli viisi, kuidas standardne k\u00e4igukast saastab pooljuhtide tehast<\/h2>\n

Standardsete k\u00e4igukastide puhasruumi \u00fchildumatus tuleneb neljast s\u00f5ltumatust mehhanismist. Iga\u00fcht neist tuleb k\u00e4sitleda eraldi \u2013 \u00fche k\u00f5rvaldamine ei lahenda teisi.<\/p>\n

\n
\n
\n
1<\/div>\n
\n
M\u00e4\u00e4rdeaine gaaside eraldumine \u2013 n\u00e4htamatu saastumine<\/div>\n

Standardsetes tihendusm\u00e4\u00e4retes kasutatakse mineraal\u00f5li v\u00f5i PAO (pol\u00fcalfaolefiin) baas\u00f5lisid koos amiini- v\u00f5i kaltsiumip\u00f5histe paksendajatega. Toatemperatuuril puhasruumis eraldavad need \u00fchendid aurur\u00f5hu kaudu lenduvaid orgaanilisi \u00fchendeid (VOC) \u2013 seda protsessi nimetatakse gaaside eraldumiseks. Vabanenud VOC-d on molekulaarsel tasandil n\u00e4htamatud, kuid need ladestuvad l\u00e4hedalasuvatele pindadele, sealhulgas r\u00e4niplaatide pindadele ja sihikuklaasile.<\/p>\n

Mehhanism:<\/strong> 20 \u00b0C juures v\u00f5ib tavalise mineraal\u00f5lil p\u00f5hineva m\u00e4\u00e4re aurur\u00f5hk olla 10\u207b\u2074 kuni 10\u207b\u00b3 Pa. Sadestumiskiirus l\u00e4hedalasuvatele pindadele: ligikaudu 0,1\u20131 ng\/cm\u00b2\/h. 300 mm vahvlile, mis asetatakse saastunud k\u00e4igukastist 500 mm kaugusele, sadestab see 24-tunnise pideva t\u00f6\u00f6tamise ajal orgaanilise kile, mis muudab fotoresisti pinna m\u00e4rguvust ja adhesiooniomadusi, p\u00f5hjustades defekte j\u00e4rgnevates litograafiaetappides.<\/p>\n

Lahendus:<\/strong> PFPE (perfluoropol\u00fceeter) m\u00e4\u00e4re. Aurur\u00f5hk temperatuuril 20 \u00b0C: <10\u207b\u00b9\u2070 Pa \u2013 seitse v\u00f5i enam suurusj\u00e4rku madalam kui mineraal\u00f5lil. PFPE m\u00e4\u00e4re on keemiliselt inertne, ei reageeri protsessigaasidega ega tekita l\u00e4hedalasuvatele pindadele m\u00f5\u00f5detavat orgaanilist sadestist. Korea Ever-Power EP seeria k\u00e4igukastid puhasruumiklassi PFPE m\u00e4\u00e4rdega on saadaval eritellimusel \u2013 tellimuse ajal m\u00e4rkige \u201epooljuhtide puhasruumi PFPE m\u00e4\u00e4rdeaine\u201d.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

\n
\n
2<\/div>\n
\n
Hammasratta v\u00f5rgu kulumisprahist tekkivate osakeste teke<\/div>\n

Iga planetaarne k\u00e4igukast tekitab hammasratta kokkupuutetsoonis submikronilisi metallilisi kulumisosakesi \u2013 see on hammaste liidese libisemis- ja veeremisliikumise v\u00e4ltimatu tagaj\u00e4rg. T\u00f6\u00f6stuskeskkonnas j\u00e4\u00e4vad need osakesed m\u00e4\u00e4rdestruktuuri abil suletud korpusesse kinni. Puhasruumi k\u00e4igukasti puhul on mureks see, et k\u00f5ik osakeste v\u00e4ljap\u00e4\u00e4suteed tuleb k\u00f5rvaldada: v\u00f5lli tihend peab takistama osakeste migratsiooni m\u00f6\u00f6da v\u00f5lli pinda ja korpuses ei tohi olla mikropilusid, mille kaudu k\u00e4igukasti termiline hingamists\u00fckkel saaks osakestega koormatud \u00f5hku pumbata.<\/p>\n

Mehhanism:<\/strong> Kui k\u00e4igukast kuumeneb k\u00fclmk\u00e4ivitustemperatuurist t\u00f6\u00f6temperatuurini, paisub korpuses olev \u00f5hk ja p\u00fc\u00fcab v\u00e4ljuda v\u00e4ikseima takistusega teed pidi \u2013 tavaliselt m\u00f6\u00f6da v\u00f5llitihendi huult. Jahtumisel imetakse v\u00e4lis\u00f5hk (ja selles sisalduvad osakesed) tagasi sisse. See \u201ehingamise\u201c efekt v\u00f5ib osakesi transportida m\u00f5lemas suunas. Lahendus:<\/strong> T\u00e4ielikult suletud korpus ilma termilise hingamistee puudumiseta \u2013 saavutatakse \u00f5hutusavade eemaldamise ja FFKM (perfluoroelastomeerist) v\u00f5llitihendite m\u00e4\u00e4ramisega, mis s\u00e4ilitavad kogu t\u00f6\u00f6temperatuuri vahemikus tihedama huulte kontakti kui tavalised NBR- v\u00f5i FKM-tihendid.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
\n
3<\/div>\n
\n
Korpuse pinnakatte gaaside ja osakeste eraldumine<\/div>\n

Standardsete t\u00f6\u00f6stuslike k\u00e4igukasti korpuste puhul kasutatakse \u00f5lip\u00f5hiseid v\u00f5i akr\u00fc\u00fclv\u00e4rve, mis k\u00f5venevad toatemperatuuril. Need katted eraldavad lahustij\u00e4\u00e4ke (LO\u00dc-sid) veel kuid p\u00e4rast pealekandmist ja eraldavad mikroosakesi kattepinna ilmastiku m\u00f5jul. ISO klassi 3\u20135 puhasruumis v\u00f5ib isegi v\u00e4ike osakeste allikas \u00fcletada lubatud osakeste kontsentratsiooni piirnormi k\u00e4igukasti vahetus l\u00e4heduses.<\/p>\n

Lahendus:<\/strong> Paljas anodeeritud alumiiniumkorpus (ilma v\u00e4rvkatteta) v\u00f5i elektrol\u00fc\u00fcsimata nikkelkate, millel on null lenduvate orgaaniliste \u00fchendite sisaldust ja minimaalne osakeste eraldumise m\u00e4\u00e4r. M\u00f5ned Korea tehaseseadmete tarnijad kasutavad elektropoleeritud roostevabast terasest korpusi k\u00f5ige n\u00f5udlikumate ISO 3. klassi rakenduste jaoks. Korea Ever-Power saab m\u00e4\u00e4rata EP-seeria k\u00e4igukastidele puhta ruumi rakenduste jaoks palja anodeeritud korpuse \u2013 t\u00e4psustage tellimuse ajal.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
\n
4<\/div>\n
\n
Ferromagnetiline materjal ja hajuvad magnetv\u00e4ljad<\/div>\n

Standardsed k\u00e4igukasti komponendid (korpus, hammasrattad, v\u00f5llid, planeedikandjad) on valmistatud standardsest s\u00fcsinik- v\u00f5i legeerterasest \u2013 ferromagnetilistest materjalidest, millel on m\u00e4rkimisv\u00e4\u00e4rne magnetiline l\u00e4bitavus. Enamasti pole see oluline. Korea MRAM-i (magnetilise muutm\u00e4lu) tootmispiirkondades ja elektronkiirlitograafiaseadmete l\u00e4heduses p\u00f5hjustavad ferromagnetilistest komponentidest p\u00e4rinevad hajuvad magnetv\u00e4ljad elektronkiire kolonnis joondusvigu ja v\u00f5ivad muuta osaliselt valmistatud MRAM-elementide magnetilist olekut.<\/p>\n

Mehhanism:<\/strong> Standardse terasest k\u00e4igukasti korpuse suhteline magnetiline l\u00e4bitavus on 100\u20131000 (ferromagnetiline). 300 mm kaugusel moonutab korpus isegi Maa \u00fcmbritsevat magnetv\u00e4lja \u2013 ja igasugune mootorimagnetitest v\u00f5i korpusega \u00fchendatud toitekaablitest tulev hajuv v\u00e4li tekitab ajas muutuva v\u00e4lja, mis v\u00f5ib m\u00f5nedes EUV litograafias\u00fcsteemides \u00fcletada 10 nT v\u00e4lja stabiilsusn\u00f5ude. Lahendus:<\/strong> Austeniitsest roostevabast terasest (SS316L, \u03bc\u1d63 \u2248 1,003) v\u00f5i alumiiniumist (\u03bc\u1d63 \u2248 1,000006) korpuse konstruktsioon v\u00e4listab ferromagnetilise probleemi. See on eritellimusel n\u00f5utav \u2013 kinnitage oma konkreetse tootmistsooni ja seadmet\u00fc\u00fcbi jaoks Korea Ever-Poweri rakendustehnika osakonnaga.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

ISO 14644 puhasruumi klass \u2192 K\u00e4igukasti spetsifikatsiooni n\u00f5uded<\/h2>\n

Mitte iga pooljuhtide tootmistsoon ei vaja t\u00e4ielikku puhasruumi k\u00e4igukasti spetsifikatsioonipaketti. N\u00f5uded skaleeruvad vastavalt puhasruumi klassile \u2013 ISO 7. klassi materjalik\u00e4itluskoridoril on p\u00f5him\u00f5tteliselt erinevad n\u00f5uded kui ISO 3. klassi fotolitograafiaala omal. Puhasruumi omaduste \u00fclespetsifikatsioon lisab kulusid ilma funktsionaalse kasuta; alaspetsifikatsioon suurendab tehase saastumise riski.<\/p>\n

\n\n\n\n\n\n\n\n\n
ISO-klass<\/th>\nM\u00e4\u00e4rdeaine<\/th>\nV\u00f5lli tihend<\/th>\nKorpuse kate<\/th>\nMittemagnetiline<\/th>\nKorea Ever-Poweri tellimuse m\u00e4rkus<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
ISO 8 (tugikoridor)<\/td>\nStandardm\u00e4\u00e4re \u2713<\/td>\nStandardne NBR \u2713<\/td>\nStandardv\u00e4rv \u2713<\/td>\nPole n\u00f5utud<\/td>\nStandardne EP-AB laoseis \u2013 eritellimust pole vaja<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 6\u20137 (CMP\/pakend)<\/td>\nEelistatud on PFPE<\/td>\nFKM v\u00f5i FFKM<\/td>\nMadala lenduvate orgaaniliste \u00fchendite sisaldusega v\u00f5i anodeeritud<\/td>\nKinnitage tsooni kohta<\/td>\nTellimuses t\u00e4psustage \u201epuhasruumi m\u00e4\u00e4re + FKM-tihend\u201d<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 4\u20135 (sadestamine\/s\u00f6\u00f6vitamine)<\/td>\nIsikukaitsevahend on n\u00f5utav<\/td>\nFFKM on n\u00f5utav<\/td>\nN\u00f5utav on anodeeritud alumiinium<\/td>\nKui MRAM\/EB-tsoon: jah<\/td>\nT\u00e4ieliku puhasruumi spetsifikatsiooni tellimus; tarneaeg 2\u20133 n\u00e4dalat<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 3 (EUV litograafialahter)<\/td>\nIsikukaitsevahend on n\u00f5utav<\/td>\nFFKM on n\u00f5utav<\/td>\nElektropoleeritud SS316L<\/td>\nN\u00f5utav<\/td>\nVajalik on eritellimusel projekteerimine \u2013 kaasake Korea Ever-Poweri rakendusmeeskond juba projekteerimisetapi alguses<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

 <\/p>\n

Kriitiline tellimisjuhis: <\/strong>
\nK\u00f5ik puhasruumile sobivad valikud \u2013 PFPE-m\u00e4\u00e4re, FFKM-tihend, anodeeritud korpus, mittemagnetiline konstruktsioon \u2013 tuleb tellimise ajal t\u00e4psustada. Standardsed EP-seeria k\u00e4igukastid tarnitakse standardse mineraal-\/PAO-m\u00e4\u00e4re, NBR-tihendite ja v\u00e4rvitud korpusega. Kohapealne \u00fcmberehitus pole v\u00f5imalik. Kui saate standardseadme ja avastate seej\u00e4rel, et tootmistsoon vajab PFPE-m\u00e4\u00e4rdeainet, tuleb k\u00e4igukast tagastada ja asendada puhasruumile sobiva seadmega. Puhasruumi valikute tarneaeg on 2\u20134 n\u00e4dalat; planeerige vastavalt seadmete hankegraafikusse.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Vahvlik\u00e4itleja p\u00f6\u00f6rlemistelg \u2014 t\u00e4psusn\u00f5uded ja seeriavalik<\/h2>\n

Planetaark\u00e4igukastiga pooljuhtplaatide k\u00e4sitsemisajamid n\u00f5uavad t\u00e4psust, mis \u00fcletab enamiku t\u00f6\u00f6stuslike servorakenduste vajadused. Robotplaatide k\u00e4sitsemisseadmed \u2013 seadmed, mis liigutavad 300 mm r\u00e4niplaate FOUP-ide, t\u00f6\u00f6tlemiskambrite ja joondajate vahel \u2013 kasutavad kahte p\u00f6\u00f6rlemistelge: teeta (\u03b8) p\u00f6\u00f6rlemistelge, mis p\u00f6\u00f6rab kogu k\u00e4e komplekti, et see joonduks sihtm\u00e4rgi piludega, ja pikendustelge, mis pikendab ja t\u00f5mbab efektorpea radiaalselt. Teetatelje positsioneerimist\u00e4psus m\u00e4\u00e4rab, kas plaat asetatakse efektorpea keskpunkti tolerantsi piiresse; pikendustelg m\u00e4\u00e4rab radiaalse asukoha t\u00e4psuse.<\/p>\n

\"pls-k\u00f5rgt\u00e4ppis-planetaark\u00e4igukasti-rakendus\"<\/p>\n

Teeta-telje kriitiline positsioneerimisn\u00f5ue: kiibi kese peab olema paigutatud sihtasendist \u00b10,5 mm piiresse kiibi nominaalse 300 mm raadiuse juures (150 mm kiibi keskmest). See n\u00f5uab, et teeta-telje nurkviga oleks:<\/p>\n

\n

TEETATELJE L\u00d5TKU N\u00d5UE \u2013 KIHVLI K\u00c4ITLEJA<\/p>\n

N\u00f5utav: positsiooniviga \u2264 \u00b10,5 mm, kui r = 300 mm k\u00e4e raadius<\/p>\n

Nurgaviga \u03b8_max = \u0394x \/ r = 0,5 \/ 300 = 0,00167 rad
\n= 0,00167 \u00d7 (180 \u00d7 60 \/ \u03c0) = Maksimaalselt 5,7 kaareminuti<\/span><\/p>\n

K\u00e4igukasti l\u00f5tku eelarve (koguveast 40%):
\n\u03b8_k\u00e4igukast \u2264 5,7 \u00d7 0,40 = 2,3 kaaremin<\/p>\n

\u2192 N\u00f5utav v\u00e4ljundv\u00f5lli l\u00f5tk \u2264 2,3 kaareminutist
\n\u2192 P1 (\u22643\u2032) on marginaalne \u2014 halvimal juhul v\u00f5ib eelarvet \u00fcletada
\n\u2192 P0 (\u22641\u2032) annab 2,3\u00d7 varu \u2013 \u00f5ige spetsifikatsioon
\n\u2192 EP-AFH (\u22641\u2032 standard) v\u00e4listab klassi spetsifikatsiooni sammu<\/p><\/div>\n<\/div>\n

Korea kiipide k\u00e4itlemise originaalseadmete tootjate jaoks EP-AFH \u00fclit\u00e4pne seeria<\/a> on teeta-telje standardne soovitus. Iga EP-AFH seade tarnitakse standardspetsifikatsiooniga \u22641 kaaremin \u2013 klassikoodi valikut ega \u00fchikutevahelist m\u00f5\u00f5tmisvariatsiooni klassivahemiku piires pole. Tarnesertifikaat kinnitab iga seadme m\u00f5\u00f5detud v\u00e4\u00e4rtust. Pikendus- (radiaal-)telje puhul on t\u00e4psusn\u00f5ue madalam (\u00b11 mm tolerants efektori otsas) ja P0 v\u00f5i P1 on sobiv, olenevalt k\u00e4e geomeetriast.<\/p>\n

Temperatuuri stabiilsus ja termilise positsioneerimise triiv: <\/strong>
\nKorea pooljuhtkiipide puhasruumides hoitakse temperatuuri stabiilsust 20 \u00b0C \u00b10,1 \u00b0C. See t\u00e4pne temperatuuri reguleerimine on loodud spetsiaalselt selleks, et v\u00e4ltida seadmete soojuspaisumisest tingitud positsioneerimisnihet. Termiliselt stabiilses keskkonnas asuv puhasruumi k\u00e4igukast saavutab positsioneerimise korduvuse, mida piiravad l\u00f5tk ja kooderi eraldusv\u00f5ime, mitte soojuspaisumine. V\u00e4ga stabiilne puhasruumi temperatuur on iseenesest disaini v\u00f5imaldaja: k\u00e4igukasti termiline triiv, mis on standardsetes t\u00f6\u00f6stusrakendustes oluline probleem, on korralikult kontrollitud tootmiskeskkonnas sisuliselt null.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

FOUP Transport AGV \u2014 veoratta spetsifikatsioon tehasep\u00f5randa kasutamiseks<\/h2>\n

Korea pooljuhtide tehastes kasutatakse esiavatava \u00fchendatud podi (FOUP) transportimisel peamiselt laer\u00f6\u00f6bastel olevaid t\u00f5stuks\u00fcsteeme (OHT) tehasest sektsiooni FOUP-i liikumise peamiseks vahendiks ja p\u00f5randatasemel AGV-sid sektsioonist seadmesse teisaldamiseks v\u00e4iksema liiklusega tsoonides. P\u00f5randatasemel AGV veorataste k\u00e4igukastid t\u00f6\u00f6tavad samas puhasruumis kui protsessiseadmed.<\/p>\n

FOUP transpordi AGV k\u00e4igukasti n\u00f5uded \u00fchendavad moodulite 2\u20133 puhasruumi spetsifikatsioonid Art12 AGV-spetsiifiliste n\u00f5uetega: diferentsiaalajami kiiruse s\u00fcnkroniseerimine (sobitatud paar, \u22640,01% \u00fclekandearvu variatsioonisertifikaat), madal t\u00f6\u00f6m\u00fcra (akustiline vibratsioon, mis v\u00f5ib h\u00e4irida l\u00e4hedalasuvate lahede litograafia joondamist, peab lahe piiril olema alla 55 dB(A)) ja hooldusvaba suletud konstruktsioon.<\/p>\n

See EP-KF\/KH h\u00fcpoidseeria<\/a> sobib Korea toodetud AGV veoratastele \u2013 tehase keskkond hoiab konstantset 20 \u00b0C, mis on tunduvalt k\u00f5rgem KF\/KH minimaalsest t\u00f6\u00f6temperatuurist 0 \u00b0C. H\u00fcpoidk\u00e4igu kontaktgeomeetria tekitab samav\u00e4\u00e4rse p\u00f6\u00f6rdemomendi juures ligikaudu 6\u20138 dB(A) madalama t\u00f6\u00f6m\u00fcra kui standardne planetaarne \u00fclekanne, mis on oluline akustiliselt tundlikus tehasekeskkonnas. FOUP transpordi AGV puhul t\u00e4psustage lisaks paarisp\u00f6\u00f6rdega kiiruse s\u00fcnkroniseerimise sertifikaadile ka puhasruumi m\u00e4\u00e4rdeaine valikut (PFPE) ja FFKM v\u00f5llitihendeid.<\/p>\n

\"Korea<\/p>\n

\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Pooljuhtseadmete ajam<\/th>\nTagasil\u00f6\u00f6gi n\u00f5ue<\/th>\nPuhasruumi spetsifikatsioon<\/th>\nKorea Ever-Power seeria<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Vahvlik\u00e4itleja \u03b8-telg (ISO 4\u20135)<\/td>\n\u22641 kaaremin<\/td>\nPFPE + FFKM + anodeeritud<\/td>\nEP-AFH<\/a> + puhasruumi spetsifikatsioon<\/td>\n<\/tr>\n
Vahvlik\u00e4itleja pikendustelg (ISO 4\u20135)<\/td>\n\u22643 kaareminuti<\/td>\nPFPE + FFKM<\/td>\nEP-AB P0\/P1<\/a> + puhasruumi spetsifikatsioon<\/td>\n<\/tr>\n
FOUP AGV veoratas (ISO 6\u20137)<\/td>\nSuhte vastavus \u22640.01%<\/td>\nPFPE + FKM tihend<\/td>\nEP-KF sobitatud paar<\/a> + puhasruumi spetsifikatsioon<\/td>\n<\/tr>\n
CMP pea p\u00f6\u00f6rlemine (ISO 6)<\/td>\n\u22641 kaaremin<\/td>\nPFPE + FFKM + anodeeritud<\/td>\nEP-AFH + puhasruumi spetsifikatsioon<\/td>\n<\/tr>\n
Laadimispordi joondamise etapp (ISO 5)<\/td>\n\u22641 kaaremin<\/td>\nPFPE + FFKM + anodeeritud<\/td>\nEP-ABR P0<\/a> v\u00f5i EP-AFH + puhasruumi spetsifikatsioon<\/td>\n<\/tr>\n
Fab tugi \/ utiliididraivid (ISO 8)<\/td>\nP2 piisav<\/td>\nStandardvaru<\/td>\nEP-AB P2 standard \u2014 eritellimust ei ole<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

MRAM-i valmistamine ja EUV litograafia \u2014 mittemagnetilise konstruktsiooni spetsifikatsioon<\/h2>\n

Magnetm\u00e4lu (MRAM) ja p\u00f6\u00f6rlemismomendi RAM-i (STT-RAM) valmistamine \u2013 Samsungi ja SK Hynixi arenev t\u00e4iustatud protsessitehnoloogia \u2013 n\u00f5uab kontrollitud magnetilist keskkonda k\u00f5igis sadestamisetappides, mis m\u00e4\u00e4ravad magnettunneli \u00fchenduskoha (MTJ) kihtide virna. Nende kihtide koertsitiivsus on vahemikus 5\u201350 Oersted; isegi 1 Oersted suurune eksitav magnetv\u00e4li l\u00e4hedalasuvatest seadmetest sadestamisetapi ajal v\u00f5ib muuta MTJ kihis kavandatud magnetmomendi orientatsiooni.<\/p>\n

\"Planeeriv<\/p>\n

EUV (Extreme Ultraviolet) litograafias\u00fcsteemid \u2013 mis on Samsungi Hwaseongi ja Pyeongtaeki tehastes kasutusele v\u00f5etud alates 2019. aastast \u2013 kasutavad elektronoptilisi kolonne, mis on tundlikud nanomeetri alamtasemel hajuvate magnetv\u00e4ljade suhtes. Standardne terasest k\u00e4igukast 500 mm kaugusel elektronoptilisest teljest tekitab ligikaudu 100\u2013500 nT hajuva magnetv\u00e4lja \u2013 kaks kuni neli suurusj\u00e4rku \u00fcle s\u00fcsteemi v\u00e4lja stabiilsusn\u00f5ude.<\/p>\n

\n
Magnetilise l\u00e4bitavuse v\u00f5rdlus \u2014 k\u00e4igukasti korpuse materjalid<\/div>\n
\n
\n
Standardne s\u00fcsinikteras (ferromagnetiline)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 100\u20131000 \u2014 MITTE magnetiliselt tundlike tsoonide jaoks<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Legeerteras (laagriteras)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 50\u2013200 \u2014 MITTE magnetiliselt tundlike tsoonide jaoks<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Austeniitne SS316L (mittemagnetiline roostevaba teras)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 1,003 \u2014 vastuv\u00f5etav enamiku tootmistsoonide jaoks<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
6061-T6 alumiinium<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 1,000006 \u2014 t\u00fchine magnetiline signatuur<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

Suhteline magnetiline l\u00e4bitavus \u03bc\u1d63. V\u00e4iksem v\u00e4\u00e4rtus = n\u00f5rgem magnetiline signatuur. Standardsed terasest k\u00e4igukastid tekitavad umbes 1000 korda tugevamaid hajuvv\u00e4lju kui alumiiniumkorpusega samav\u00e4\u00e4rsed k\u00e4igukastid samal kaugusel.<\/p>\n<\/div>\n

Korea seadmete tarnijatele, kes t\u00f6\u00f6tavad MRAM-i ja EUV-tsoonides, sealhulgas neile, kes projekteerivad kompaktseid lavastuss\u00fcsteeme koos EP-ADS kompaktne seeria<\/a>Korea Ever-Power EP seeria k\u00e4igukastidele saab tellida alumiiniumkorpuse variante nii korpuse kui ka planeedikanduri komponentide jaoks. Pange t\u00e4hele, et sisemised terasest hammasratta elemendid (planeedrattad, r\u00f5ngashammasratas, p\u00e4ikesehammasratas) j\u00e4\u00e4vad terasest \u2013 see on t\u00e4ppishammasrataste tootmisel v\u00e4ltimatu. Terasest hammasratta elemendid tekitavad palju v\u00e4iksema magnetilise signatuuri kui korpus, kuna need p\u00f6\u00f6rlevad kiirusel (v\u00e4hendades staatilise v\u00e4lja netopanust) ja on v\u00e4limise korpuse poolt oluliselt varjestatud. T\u00e4ielikult mittemagnetiline konstruktsioon (sh keraamilised v\u00f5i titaanist hammasratta elemendid) on eritellimusel valmistatud insenerit\u00f6\u00f6, mis ulatub kaugemale mis tahes tootja standardsetest kataloogitoodetest.<\/p>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Samsungi ja SK Hynixi tarneahel \u2013 seadmete kvalifitseerimise dokumentatsioonin\u00f5uded<\/h2>\n

Samsungile (Pyeongtaek, Hwaseong, Giheung) ja SK Hynixile (Cheongju, Icheon) pakkumisi tegevad Korea pooljuhtseadmete tarnijad peavad oma seadmed kvalifitseerima mitmeastmelise tarnija vastuv\u00f5tuprotsessi kaudu. Ajamikomponentide \u2013 sealhulgas k\u00e4igukastide \u2013 komponenditasandi dokumentatsioon on tavaliselt n\u00f5utav IQ (paigalduskvalifitseerimise) etapis. N\u00f5utav dokumentide pakett varieerub protsessi tsooni puhasruumi klassi ja seadme t\u00fc\u00fcbi j\u00e4rgi, kuid ISO klassi 4\u20135 tsoonide t\u00e4ppis-ajamikomponentide standardpakett sisaldab j\u00e4rgmisi punkte.<\/p>\n

\n
\n
\u2460 Puhasruumi materjalide sertifitseerimine<\/div>\n

Tootja kirjalik kinnitus, et k\u00f5ik materjalid (korpus, tihendid, m\u00e4\u00e4rdeaine) vastavad tehase materjalispetsifikatsioonidele. PFPE m\u00e4\u00e4rdeaine puhul: lisage PFPE klass ja tarnija nimi. FFKM tihendite puhul: kinnitage fluoros\u00fcsinikpol\u00fcmeeri spetsifikatsioon. Korea Ever-Power esitab selle koreakeelse kirjaliku kinnitusena.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2461 Gaasieralduse katseandmed<\/div>\n

M\u00e4\u00e4rdeaine ja tihendusmaterjalide ASTM E1603 v\u00f5i samav\u00e4\u00e4rsete gaaside eraldumise testi tulemused temperatuuril 20\u201325 \u00b0C. N\u00e4itab kogumassi kadu (TML) ja kogunenud lenduvate kondenseeruvate materjalide hulka (CVCM). PFPE m\u00e4\u00e4rde puhul on need v\u00e4\u00e4rtused tavaliselt <0,01% TML ja <0,001% CVCM \u2013 see on tehase standardsete piiride piires.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2462 L\u00f5tku m\u00f5\u00f5tmise sertifikaat<\/div>\n

Seadmespetsiifiline m\u00f5\u00f5detud l\u00f5tkuv\u00e4\u00e4rtus (mitte ainult klassi vastavusdeklaratsioon). Korea Ever-Power pakub seda k\u00f5igile EP-AFH seadmetele ja EP-AB\/AF jaoks P0 ja P1 klasside puhul. N\u00f5utav positsioneerimise seisukohalt kriitiliste ajamitelgede IQ-dokumentatsiooni jaoks.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2463 RoHS-i ja REACH-i vastavusdeklaratsioon<\/div>\n

Kirjalik kinnitus, et k\u00e4igukast ei sisalda EL RoHS 2 (2011\/65\/EL uuesti s\u00f5nastatud) ja REACH (E\u00dc 1907\/2006) SVHC-loendites keelatud aineid. N\u00f5utav rahvusvahelistele tehaseoperaatoritele m\u00fc\u00fcdavate seadmete puhul. Korea Ever-Power esitab selle standarddokumendina koos puhasruumide tellimustega.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2464 M\u00f5\u00f5tmejoonis (PDF, korea + inglise keeles)<\/div>\n

T\u00e4ism\u00f5\u00f5tmeline joonis tolerantsm\u00f5\u00f5tudega paigalduskvalifikatsiooni jaoks. N\u00f5utav IQ\/OQ protokolli dokumentatsiooni jaoks. Korea Ever-Power esitab selle 3 t\u00f6\u00f6p\u00e4eva jooksul alates tellimuse esitamisest mis tahes EP-seeria mudeli puhul.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2465 Sobiva paari suhte sertifikaat (ainult AGV)<\/div>\n

Diferentsiaal\u00fclekandega FOUP AGV puhul: m\u00f5lema veoratta k\u00e4igukasti \u00fclekandearvu muutuse sertifikaat, mis kinnitab paari \u00fclekandearvu erinevust \u22640,01%. Korea Ever-Power pakub seda standardvarustusena sobitatud paariga AGV tellimuste puhul.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n

Korea tehaseseadmete projektide hanke ajastus: <\/strong>
\nSamsungi ja SK Hynixi seadmete kvalifitseerimists\u00fcklid kestavad tavaliselt 6\u201312 kuud alates seadme projekteerimise k\u00fclmutamisest kuni tehase heakskiitmiseni. K\u00e4igukasti dokumentatsioonipakett on n\u00f5utav IQ-etapis \u2013 tavaliselt 4\u20136 kuud kvalifitseerimists\u00fckli alguses. Puhasruumi spetsiifiliste k\u00e4igukastide (PFPE + FFKM, 2\u20134-n\u00e4dalane tarneaeg) puhul tuleks tellimus esitada hiljemalt 10 n\u00e4dalat enne IQ-dokumentatsiooni n\u00f5uet. V\u00f5tke Korea Ever-Poweriga \u00fchendust projekteerimisfaasis \u2013 mitte hankefaasis \u2013, et kinnitada dokumentide k\u00e4ttesaadavust ja tarneaega teie konkreetse tootmistsooni ja puhasruumi klassi jaoks.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Gaasiheite eelarve arvutamine \u2013 kuidas teha kindlaks, kas on vaja standardset v\u00f5i PFPE-m\u00e4\u00e4ret<\/h2>\n

Valik standardse suletud m\u00e4\u00e4rde ja PFPE puhasruumi m\u00e4\u00e4rdeaine vahel s\u00f5ltub k\u00e4igukasti poolt puhasruumi \u00f5hule tekitatavast gaasikoormusest ja selle l\u00e4hedusest kiibi avatud pindadele. J\u00e4rgnev arvutusmeetod v\u00f5imaldab Korea seadmete tarnijatel teha selle otsuse kvantitatiivselt, mitte konservatiivse vaikimisi, mis v\u00f5ib lisada tarbetuid kulusid.<\/p>\n

\n

GAASI EEMALDAMISE SAASTUMISE EELARVE \u2013 LIHTSUSTATUD MUDEL<\/p>\n

Sadestumiskiirus kiibil D (ng\/cm\u00b2\/h) \u00fchest k\u00e4igukastist:<\/p>\n

D \u2248 P_aurur\u00f5hk \u00d7 M_m\u00e4\u00e4re \u00d7 k_geomeetriline v\u00e4\u00e4rtus \/ (R \u00d7 T)<\/p>\n

kus:
\nP_vap = m\u00e4\u00e4rdeaine baas\u00f5li aurur\u00f5hk temperatuuril 20 \u00b0C (Pa)
\nM_m\u00e4\u00e4re = m\u00e4\u00e4rdega kokkupuutumatu pindala (cm\u00b2)
\nk_geom = geomeetriline tegur (s\u00f5ltub kaugusest ja nurgast, ~10\u207b\u2075 kuni 10\u207b\u00b3)
\nR, T = gaasikonstant, temperatuur<\/p>\n

Mineraal\u00f5li PAO (standard): P_vap \u2248 10\u207b\u00b3 Pa
\n\u2192 D \u2248 0,05\u20130,5 ng\/cm\u00b2\/h 300 mm kaugusel
\n\u2192 24 tunni jooksul: 1,2\u201312 ng\/cm\u00b2 akumuleerumine vahvlil \u2190 EI VASTA ISO 5 TESTIL<\/p>\n

PFPE (puhasruumi klass): P_vap \u2248 10\u207b\u00b9\u2070 Pa
\n\u2192 D < 10\u207b\u2077 ng\/cm\u00b2\/h \u2014 7 suurusj\u00e4rku madalam
\n\u2192 Standardsete anal\u00fc\u00fctiliste meetoditega m\u00f5\u00f5tmatu \u2713<\/p><\/div>\n<\/div>\n

Arvutus n\u00e4itab, miks PFPE-d on vaja, mitte ainult eelistatud iga k\u00e4igukasti puhul, mis asub avatud kiipide vaatev\u00e4ljas: standardse m\u00e4\u00e4rde aurur\u00f5hk on seitse suurusj\u00e4rku k\u00f5rgem kui PFPE-l. \u00dckski geomeetriline tegur ega kauguse paigutus ei kompenseeri seda olulist erinevust. Iga k\u00e4igukasti puhul ISO klassi 3\u20136 tsoonides, kus kiivid v\u00f5ivad atmosf\u00e4\u00e4riga kokku puutuda, on PFPE-m\u00e4\u00e4re binaarne n\u00f5ue, mitte eelistus.<\/p>\n

\"planetaarse<\/p>\n

Kui pooljuhtide tehases on standardm\u00e4\u00e4re vastuv\u00f5etav: <\/strong>
\nK\u00e4igukastid, mis on paigaldatud ISO 8. v\u00f5i madalama klassi aladele (tehase tugikoridorid, abiruumid, seadmete alusp\u00f5randad), kus kiibid kunagi ei asu, ei vaja PFPE m\u00e4\u00e4rdeainet. Nende tsoonide jaoks on \u00f5ige ja k\u00f5ige kulut\u00f5husam spetsifikatsiooniga EP-AB v\u00f5i EP-BPG seeria koos standardm\u00e4\u00e4rdega. PFPE lisatasu (tavaliselt 30\u201350% k\u00f5rgem \u00fchikuhind) on \u00f5igustatud ainult siis, kui k\u00e4igukast asub tsoonis, kus kiibid on avatud. Puhasruumi spetsifikatsiooni rakendamine k\u00f5igile tehase k\u00e4igukastidele, olenemata tsoonist, suurendab asjatult materjalide spetsifikatsiooni maksumust ilma funktsionaalse kasuta.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Korduma kippuvad k\u00fcsimused \u2014 planetaark\u00e4igukastid Korea pooljuhtseadmetes<\/h2>\n
\n
\n

K<\/span>
\nMeie Korea seadmete klient (Samsungile seadmete tootmiseks m\u00f5eldud OEM-tootja) n\u00f5uab \u201eosakestevaba\u201c k\u00e4igukasti spetsifikatsiooni. Mida see praktikas t\u00e4pselt t\u00e4hendab?<\/h3>\n

Korea tehase hanketerminoloogias t\u00e4hendab \u201eosakestevaba\u201d tavaliselt, et k\u00e4igukast ei tohi puhasruumi atmosf\u00e4\u00e4ri eraldada kindlaksm\u00e4\u00e4ratud suurusest ja loenduskiirusest suuremaid osakesi \u2013 mitte et see tekitaks s\u00f5na otseses m\u00f5ttes nulli osakesi. Praktiline spetsifikatsioon v\u00e4ljendatakse tavaliselt maksimaalse osakeste tekkimise kiirusena kindlaksm\u00e4\u00e4ratud kaugusel ja \u00f5huvoolu tingimustes v\u00f5i materjali \u00fchilduvuse avaldusena, mis n\u00e4itab, et korpus ja tihendid ei eralda \u00fcle 0,1 \u03bcm suuruseid osakesi kiirusel, mis \u00fcletab puhasruumi osakeste kontsentratsioonieelarvet selle paigaldise jaoks. Korea Ever-Power lahendab selle j\u00e4rgmise abil: (1) suletud konstruktsiooniga PFPE m\u00e4\u00e4rdeaine, mis hoiab \u00e4ra rasvaosakeste migratsiooni, (2) FFKM v\u00f5llitihendid, mis s\u00e4ilitavad positiivse ohjeldamise kogu t\u00f6\u00f6temperatuuri vahemikus, ja (3) anodeeritud alumiiniumkorpus, mis ei eralda v\u00e4rviosakesi. T\u00e4ieliku osakeste tekkimise testi s\u00fcsteemi tasandil (k\u00e4igukast paigaldatud seadmesse, t\u00f6\u00f6tades puhasruumi tingimustes) viib tavaliselt l\u00e4bi Korea seadmete originaalvaruosade tootja, mitte k\u00e4igukasti tarnija.<\/p>\n<\/div>\n

\n

K<\/span>
\nMe projekteerime Korea kiipide tehase CMP (keemilise mehaanilise tasandamise) pea p\u00f6\u00f6rlemisajamit. Milline on konkreetne k\u00e4igukasti konfiguratsioon?<\/h3>\n

CMP-pea p\u00f6\u00f6rlemisajam positsioneerib poleerimispea plaadi kohale ja p\u00f6\u00f6rleb seda poleerimisprotsessi ajal. Ajami n\u00f5uded: m\u00f5\u00f5dukas kiirus (30\u2013150 p\/min), m\u00f5\u00f5dukas p\u00f6\u00f6rdemoment (50\u2013300 N\u00b7m, olenevalt pea suurusest ja suspensiooni t\u00fc\u00fcbist), \u22641 kaareminuti pikkune positsioneerimine pea indekspositsioneerimiseks ja puhasruumi \u00fchilduvus (pea t\u00f6\u00f6tab poleerimise ajal avatud kiibipindade kohal). EP-AFH seeria on standardne soovitus \u2013 \u22641 kaareminuti pikkune standardspetsifikatsioon, kompaktne suletud konstruktsioon, saadaval PFPE-m\u00e4\u00e4rde ja FFKM-tihenditega ISO klassi 5\u20136 CMP-lahtri n\u00f5uete t\u00e4itmiseks. T\u00e4psemalt p\u00f6\u00f6rlemistelje osas eelistatakse EP-AFH ridaseeriat t\u00e4isnurga konfiguratsioonidele, kuna kompaktne aksiaalne pikkus v\u00e4hendab moment\u00f5lga, mida pea kaal k\u00e4igukasti v\u00e4ljundlaagrile avaldab.<\/p>\n<\/div>\n

\n

K<\/span>
\nMeie praegune k\u00e4igukast kasutab standardset hermeetiliselt m\u00e4\u00e4rdeainet ja on olnud Korea tehases 18 kuud ilma m\u00e4rgitud saastumisjuhtumiteta. Kas peaksime \u00fcle minema PFPE-le?<\/h3>\n

Tuvastatud saastumisjuhtumi puudumine ei kinnita saastumise puudumist \u2013 puhasruumi keemiline saastumine k\u00e4igukasti gaaside eraldumisest tuvastatakse tavaliselt kuid p\u00e4rast saastumisjuhtumit saagikuse anal\u00fc\u00fcsi abil, mitte reaalajas. Tehas, mis saavutab 95% fotolitograafia saagise, v\u00f5ib orgaanilise pinna saastumise t\u00f5ttu kaotada 2\u20133% saagist, ilma et seda konkreetse allikani oleks v\u00f5imalik j\u00e4lgida. Kui teie k\u00e4igukast asub ISO klassi 5 v\u00f5i parema tsoonis 1\u20132 meetri raadiuses paljastatud kiibi pindadest, kehtib mooduli 8 gaaside eraldumise arvutus \u2013 standardse mineraal\u00f5li m\u00e4\u00e4rde sadestumise kiirus on f\u00fc\u00fcsiliselt m\u00f5\u00f5detav ja \u00fcletab puhasruumi piire. See, kas see sadestumise kiirus on teie konkreetses paigaldises kindlaks tehtud, s\u00f5ltub tehase saagikuse j\u00e4lgimiss\u00fcsteemist. Korea Ever-Power soovitab tungivalt PFPE m\u00e4\u00e4rdeainet igale k\u00e4igukastile ISO klassi 5 v\u00f5i parema tsooni l\u00e4hedal paljastatud kiipide l\u00e4hedal, olenemata sellest, kas saastumisjuhtum on ametlikult tuvastatud.<\/p>\n<\/div>\n

\n

K<\/span>
\nKas Korea p\u00f5llumajandusautomaatikaseadmete puhul, mis jagavad rajatist pooljuhtide tugitsooniga, kehtivad puhasruumi k\u00e4igukasti spetsifikatsioonid?<\/h3>\n

Ei \u2014 p\u00f5llumajandusautomaatika seadmed ja pooljuhtide tootmis\u00fcksuste automatiseerimine on t\u00e4iesti eraldi rakenduskategooriad. Korea p\u00f5llumajandust\u00f6\u00f6tlemisettev\u00f5tetel (teravilja-, k\u00f6\u00f6givilja- ja toiduainete t\u00f6\u00f6tlemine) ei ole ISO 14644 puhasruumi n\u00f5udeid. Korea p\u00f5llumajandusautomaatika k\u00e4igukasti spetsifikatsioon j\u00e4rgib artiklis 9 kirjeldatud toiduainete t\u00f6\u00f6tlemise h\u00fcgieenin\u00f5udeid (IP67, KFDA vastavus, suletud m\u00e4\u00e4re), mitte pooljuhtide puhasruumi spetsifikatsioone. Kui Korea ettev\u00f5te \u00fchendab p\u00f5llumajandusliku t\u00f6\u00f6tlemise ja pooljuhtide pakendamise (n\u00e4iteks spetsiaalkile v\u00f5i -pakendi tarnija pooljuhtide tehasele), j\u00e4rgib iga tsooni sobiv spetsifikatsioon selle tsooni tegelikke n\u00f5udeid \u2014 p\u00f5llumajanduslike t\u00f6\u00f6tlemispiirkondades kasutatakse toiduohutusega k\u00e4igukaste ja kui m\u00f5ni rajatise tsoon on m\u00e4\u00e4ratud pooljuhtide puhasruumi standardi j\u00e4rgi, vastavad selle tsooni k\u00e4igukastid ISO 14644 n\u00f5uetele. Mitme v\u00e4ljundiga v\u00f5imsuse jaotamiseks p\u00f5llumajanduslikele t\u00f6\u00f6tlemispeadele, p\u00f5llumajanduslikud koonilised k\u00e4igukastid<\/a> Selliste rajatiste mitte-puhasruumide tsoonides on sobiv EP planetaarsest v\u00e4ljundist individuaalsetele t\u00f6\u00f6tlemispeadele jaotamine.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

M\u00e4\u00e4rake oma pooljuhtseadmete k\u00e4igukastid Korea Ever-Poweriga<\/h2>\n

Korea Ever-Power pakub puhasruumi jaoks m\u00f5eldud EP-seeria k\u00e4igukaste PFPE m\u00e4\u00e4rdeainega, FFKM tihendite, anodeeritud korpuse ja t\u00e4ieliku Samsung\/SK Hynix IQ dokumentatsioonipaketiga \u2013 korea keeles, 2\u20134-n\u00e4dalase tarneajaga. Parima tulemuse saavutamiseks kaasake meid juba projekteerimisfaasis.<\/p>\n

EP-AFH Ultra-Precision (vahvelik\u00e4itleja) \u2192
\n<\/a>
\nEP-KF\/KH madala m\u00fcratasemega (Fab AGV) \u2192
\n<\/a><\/div>\n<\/section>\n<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Semiconductor Application Guide \u00b7 ISO 14644 \u00b7 Outgassing \u00b7 Non-Magnetic \u00b7 Samsung \/ SK Hynix Planetary Gearbox for Semiconductor Equipment \u2014 Cleanroom, Wafer Handling, and Low-Outgassing Design Every planetary gearbox semiconductor equipment selection decision starts with one question standard catalogues cannot answer. A standard industrial planetary gearbox that performs flawlessly for ten years on a […]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_et_pb_use_builder":"","_et_pb_old_content":"","_et_gb_content_width":"","footnotes":""},"categories":[965],"tags":[],"class_list":["post-707","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-application-and-technical-guid"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=707"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":708,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707\/revisions\/708"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=707"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=707"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/et\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=707"}],"curies":[{"name":"t\u00f6\u00f6leht","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}