{"id":707,"date":"2026-06-01T05:34:46","date_gmt":"2026-06-01T05:34:46","guid":{"rendered":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/?p=707"},"modified":"2026-06-01T05:34:46","modified_gmt":"2026-06-01T05:34:46","slug":"planetary-gearbox-semiconductor-wafer-handling-cleanroom","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/planetary-gearbox-semiconductor-wafer-handling-cleanroom\/","title":{"rendered":"Planeettavaihteisto puolijohdelaitteille \u2014 puhdastila ja kiekkojen k\u00e4sittely"},"content":{"rendered":"
\n

<\/p>\n

\"planeettavaihteisto<\/p>\n
\n
Puolijohdesovellusopas \u00b7 ISO 14644 \u00b7 Kaasunpoisto \u00b7 Ei-magneettinen \u00b7 Samsung \/ SK Hynix<\/div>\n

Puolijohdelaitteisiin tarkoitettu planeettavaihteisto \u2014
\nPuhdastila, kiekkojen k\u00e4sittely ja v\u00e4h\u00e4kaasuinen suunnittelu<\/h1>\n

Jokainen planeettavaihteiston puolijohdelaitteiston valintap\u00e4\u00e4t\u00f6s alkaa yhdest\u00e4 kysymyksest\u00e4, johon standardiluettelot eiv\u00e4t pysty vastaamaan. Tavallinen teollisuusplaneettavaihteisto, joka toimii moitteettomasti kymmenen vuotta korealaisella pakkauslinjalla, saastuttaa kiekkotehtaan puhdastilan viikoissa \u2013 ei siksi, ett\u00e4 sen tarkkuus olisi riitt\u00e4m\u00e4t\u00f6n, vaan koska sen voiteluaine vapauttaa 20 \u00b0C:ssa VOC-yhdisteit\u00e4, jotka kerrostuvat 300 mm:n piikiekkojen pinnoille, sen ter\u00e4skotelo irrottaa ferromagneettisia hiukkasia, jotka magnetoituvat kuljetuksen aikana, ja sen vakiokotelon pinnoite vapauttaa mikrohiukkasia, jotka ylitt\u00e4v\u00e4t ISO-luokan 5 pitoisuusrajat. T\u00e4m\u00e4 opas kattaa kaikki erittelymitat, jotka erottavat puhdastilayhteensopivat vaihteistot<\/strong> tavallisista teollisuusyksik\u00f6ist\u00e4.<\/p>\n

N\u00e4yt\u00e4 EP-AFHK Ultra-Precision -sarja \u2192
\n<\/a><\/p>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Korealainen puolijohdevalmistus \u2013 miksi vaihdelaatikoiden tekniset tiedot ovat ainutlaatuisen vaativia<\/h2>\n

Korealla on maailman tihein puolijohdevalmistuskapasiteetti. Samsungin Pyeongtaekin tehdas (P3- ja P4-vaiheet) ja SK Hynixin Cheongjun M15X-laitos tuottavat yhdess\u00e4 suurimman osan maailman DRAM- ja NAND-flash-muisteista. N\u00e4m\u00e4 laitokset k\u00e4sittelev\u00e4t 300 mm:n piikiekkoja 400\u2013600 fotolitografia-, pinnoitus-, etsaus- ja CMP-prosessivaiheessa puhdastiloissa, joiden standardit t\u00e4ytt\u00e4v\u00e4t ISO-luokan 3\u20135 vaatimukset (10\u2013100 hiukkasta \u22650,1 \u03bcm kuutiometri\u00e4 ilmaa kohden).<\/p>\n

T\u00e4ss\u00e4 ymp\u00e4rist\u00f6ss\u00e4 k\u00e4ytett\u00e4v\u00e4t vaihteistot \u2013 FOUP-kuljetusajoneuvoissa, kiekkojen k\u00e4sittelyn kiertoakseleissa, lastausporttien kohdistusvaiheissa, fotolitografian ristikkovaiheissa ja CMP-p\u00e4\u00e4n kiertok\u00e4yt\u00f6iss\u00e4 \u2013 altistuvat samoille puhdastilavaatimuksille kuin kaikki muutkin komponentit. Vaihteisto, joka vapauttaa hiukkasia, kaasuttaa kemikaaleja tai tuottaa magneettikentti\u00e4, jotka voivat h\u00e4irit\u00e4 kohdistusj\u00e4rjestelmi\u00e4, ei ole \"heikkolaatuinen\" vaihteisto \u2013 se on yksinkertaisesti eri ymp\u00e4rist\u00f6\u00f6n suunniteltu vaihteisto, joka on sijoitettu v\u00e4\u00e4r\u00e4\u00e4n paikkaan.<\/p>\n

\"Planeary-vaihteistot\"<\/p>\n

Planeettavaihteiston puolijohdepuhdastilan spesifikaatioiden ymm\u00e4rt\u00e4minen antaa korealaisille puolijohdeteollisuuden laitetoimittajille mahdollisuuden m\u00e4\u00e4ritt\u00e4\u00e4 oikean vaihteiston kokoonpanon alusta alkaen \u2013 sen sijaan, ett\u00e4 yhteensopimattomuuksia havaittaisiin asiakkaan hyv\u00e4ksynt\u00e4testauksen aikana, mik\u00e4 on kallein vaihe komponenttispesifikaatiovirheen ratkaisemiseksi.<\/p>\n

<\/p>\n

\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Korealainen tehdasalue<\/th>\nISO-luokka<\/th>\nHiukkasten enimm\u00e4ism\u00e4\u00e4r\u00e4 \u22650,1 \u03bcm \/ m\u00b3<\/th>\nL\u00e4mp\u00f6tila \/ kosteus<\/th>\nVaihteiston k\u00e4ytt\u00f6<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Fotolitografia-alue<\/td>\nISO 3<\/td>\n10<\/td>\n20 \u00b0C \u00b10,1 \u00b0C \/ 40% suhteellinen kosteus<\/td>\nRistikkovaihe, kiekkojen lataaja \u2014 vaativimmat<\/td>\n<\/tr>\n
Laskeutumis-\/etsauspaikat<\/td>\nISO 4\u20135<\/td>\n100\u20131 000<\/td>\n20\u201322 \u00b0C \/ 40\u201350% suhteellinen kosteus<\/td>\nLaitteiden k\u00e4sittelykoneet, yl\u00e4puoliset kuljetukset<\/td>\n<\/tr>\n
CMP \/ pakkauspaikat<\/td>\nISO 6\u20137<\/td>\n10 000\u2013100 000<\/td>\n20\u201323 \u00b0C \/ 40\u201360% suhteellinen kosteus<\/td>\nFOUP-kuljetus, materiaalink\u00e4sittelyyn tarkoitettu AGV<\/td>\n<\/tr>\n
Fab-tukik\u00e4yt\u00e4v\u00e4<\/td>\nISO 8<\/td>\n3,520,000<\/td>\nYmp\u00e4rist\u00f6n l\u00e4mp\u00f6tila \u00b12 \u00b0C<\/td>\nStandardi EP-AB hyv\u00e4ksyt\u00e4\u00e4n t\u00e4ll\u00e4 vy\u00f6hykkeell\u00e4<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

ISO 14644-1:2015 -puhtausluokitukset. Korealaisten puolijohdetehtaiden alueet Samsungin\/SK Hynixin laitespesifikaatioiden mukaisesti. Kaikkien tuotantoalueiden l\u00e4mp\u00f6tila on noin 20\u201322 \u00b0C ymp\u00e4ri vuoden \u2013 EP-KF\/KH-hypoidisarjan 0 \u00b0C:n v\u00e4himm\u00e4isl\u00e4mp\u00f6tila ei ole huolenaihe sis\u00e4tiloissa teht\u00e4viss\u00e4 tehdasasennuksissa.<\/p>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Nelj\u00e4 tapaa, joilla vakiovaihteisto saastuttaa puolijohdetehtaan<\/h2>\n

Puhdastilan yhteensopimattomuus vakiovaihteistoissa johtuu nelj\u00e4st\u00e4 toisistaan \u200b\u200briippumattomasta mekanismista. Jokainen mekanismi on ratkaistava erikseen \u2013 yhden poistaminen ei ratkaise muita.<\/p>\n

\n
\n
\n
1<\/div>\n
\n
Voiteluaineen kaasun poistuminen \u2013 n\u00e4kym\u00e4t\u00f6n ep\u00e4puhtaus<\/div>\n

Tavallisissa tiivistetyiss\u00e4 rasvoissa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n mineraali\u00f6ljy- tai PAO (polyalfaolefiini) -perus\u00f6ljyj\u00e4 ja amiini- tai kalsiumpohjaisia \u200b\u200bsakeuttamisaineita. Huoneenl\u00e4mm\u00f6ss\u00e4 puhdastilassa n\u00e4m\u00e4 yhdisteet vapauttavat haihtuvia orgaanisia yhdisteit\u00e4 (VOC) h\u00f6yrynpaineen kautta \u2013 prosessia, jota kutsutaan kaasunpoistoksi. Vapautuneet VOC-yhdisteet ovat n\u00e4kym\u00e4tt\u00f6mi\u00e4 molekyylitasolla, mutta ne kerrostuvat l\u00e4hell\u00e4 oleville pinnoille, kuten piikiekkojen pinnoille ja ristikkolasille.<\/p>\n

Mekanismi:<\/strong> 20 \u00b0C:ssa tavallisen mineraali\u00f6ljyrasvan h\u00f6yrynpaine voi olla 10\u207b\u2074 - 10\u207b\u00b3 Pa. Laskeutumisnopeus l\u00e4hell\u00e4 oleville pinnoille: noin 0,1\u20131 ng\/cm\u00b2\/tunti. 300 mm:n kiekolle, joka on sijoitettu 500 mm:n p\u00e4\u00e4h\u00e4n saastuneesta vaihteistosta, t\u00e4m\u00e4 laskee orgaanisen kalvon 24 tunnin jatkuvan k\u00e4yt\u00f6n aikana, joka muuttaa fotoresistin pinnan kostuvuutta ja tarttuvuusominaisuuksia aiheuttaen vikoja seuraavissa litografiavaiheissa.<\/p>\n

Ratkaisu:<\/strong> PFPE-rasva (perfluoropolyeetteri). H\u00f6yrynpaine 20 \u00b0C:ssa: <10\u207b\u00b9\u2070 Pa \u2013 seitsem\u00e4n tai useampia kertaluokkaa alhaisempi kuin mineraali\u00f6ljyll\u00e4. PFPE-rasva on kemiallisesti inertti, ei reagoi prosessikaasujen kanssa eik\u00e4 tuota mitattavissa olevaa orgaanista laskeumaa l\u00e4hell\u00e4 oleville pinnoille. Korea Ever-Power EP -sarjan vaihteistoja, joissa on puhdastilak\u00e4ytt\u00f6\u00f6n tarkoitettu PFPE-rasva, on saatavilla erikoistilauksesta \u2013 mainitse tilauksen yhteydess\u00e4 "puolijohteiden puhdastilak\u00e4ytt\u00f6\u00f6n tarkoitettu PFPE-voiteluaine".<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

\n
\n
2<\/div>\n
\n
Hiukkasten muodostuminen hammaspy\u00f6r\u00e4verkon kulumisj\u00e4tteest\u00e4<\/div>\n

Jokainen planeettavaihteisto tuottaa alle mikronin kokoisia metallisia kulumishiukkasia hammaspy\u00f6r\u00e4n kosketusalueella \u2013 v\u00e4ist\u00e4m\u00e4t\u00f6n seuraus hampaan rajapinnan liukuvasta ja vieriv\u00e4st\u00e4 liikkeest\u00e4. Teollisuusymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4 n\u00e4m\u00e4 hiukkaset pysyv\u00e4t tiivistetyn kotelon sis\u00e4ll\u00e4 rasvarakenteen ansiosta. Puhdastilavaihteistossa huolenaiheena on, ett\u00e4 kaikki hiukkasten p\u00e4\u00e4syreitit on poistettava: akselitiivisteen on estett\u00e4v\u00e4 hiukkasten kulkeutuminen akselin pintaa pitkin, eik\u00e4 kotelossa saa olla mikroskooppisia rakoja, joiden l\u00e4pi hiukkasilla kuormitettua ilmaa voi pumpata vaihteiston l\u00e4mp\u00f6hengityssyklin avulla.<\/p>\n

Mekanismi:<\/strong> Kun vaihteisto l\u00e4mpenee kylm\u00e4k\u00e4ynnistyksest\u00e4 k\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tilaan, kotelon sis\u00e4ll\u00e4 oleva ilma laajenee ja pyrkii poistumaan pienimm\u00e4n vastuksen omaavaa reitti\u00e4 pitkin \u2013 tyypillisesti akselin tiivisteen huulta pitkin. J\u00e4\u00e4htyess\u00e4\u00e4n ulkoilma (ja sen sis\u00e4lt\u00e4m\u00e4t hiukkaset) imeytyy takaisin sis\u00e4\u00e4n. T\u00e4m\u00e4 \"hengitys\"vaikutus voi kuljettaa hiukkasia molempiin suuntiin. Ratkaisu:<\/strong> T\u00e4ysin suljettu kotelo ilman l\u00e4mp\u00f6hengitysreitti\u00e4 \u2013 saavutetaan poistamalla huohottimet ja k\u00e4ytt\u00e4m\u00e4ll\u00e4 FFKM (perfluoroelastomeeri) -akselitiivisteit\u00e4, jotka s\u00e4ilytt\u00e4v\u00e4t tiiviimm\u00e4n huulikontaktin koko k\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tila-alueella kuin tavalliset NBR- tai FKM-tiivisteet.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
\n
3<\/div>\n
\n
Kotelon pinnoitteen kaasunpoisto ja hiukkasmuodostus<\/div>\n

Tavallisissa teollisuusvaihteiston koteloissa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n \u00f6ljypohjaisia \u200b\u200btai akryylimaalipinnoitteita, jotka kovettuvat huoneenl\u00e4mm\u00f6ss\u00e4. N\u00e4m\u00e4 pinnoitteet vapauttavat liuotinj\u00e4\u00e4mi\u00e4 (VOC) viel\u00e4 kuukausia levitt\u00e4misen j\u00e4lkeen ja irrottavat mikrohiukkasia pinnoitteen pinnan s\u00e4\u00e4n muuttuessa. ISO-luokan 3\u20135 puhdastilassa jopa pieni hiukkasl\u00e4hde voi ylitt\u00e4\u00e4 sallitun hiukkaspitoisuusrajan vaihteiston v\u00e4litt\u00f6m\u00e4ss\u00e4 l\u00e4heisyydess\u00e4.<\/p>\n

Ratkaisu:<\/strong> Paljas anodisoitu alumiinikotelo (ei maalipinnoitetta) tai kemiallisesti nikkel\u00f6ity kotelo, jossa ei ole VOC-yhdisteit\u00e4 ja jonka hiukkasp\u00e4\u00e4st\u00f6t ovat minimaaliset. Jotkut korealaiset tehdaslaitteiden toimittajat k\u00e4ytt\u00e4v\u00e4t s\u00e4hk\u00f6kiillotettuja ruostumattomasta ter\u00e4ksest\u00e4 valmistettuja koteloita vaativimpiin ISO-luokan 3 sovelluksiin. Korea Ever-Power voi tilata paljaan anodisoidun kotelon EP-sarjan vaihteistoihin puhdastilasovelluksiin \u2013 ilmoita tilauksen yhteydess\u00e4.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
\n
4<\/div>\n
\n
Ferromagneettinen materiaali ja hajamagneettiset kent\u00e4t<\/div>\n

Vaihteiston vakiokomponentit (kotelo, hammaspy\u00f6r\u00e4t, akselit, planeettojen kannattimet) on valmistettu vakiohiili- tai seoster\u00e4ksest\u00e4 \u2013 ferromagneettisista materiaaleista, joilla on merkitt\u00e4v\u00e4 magneettinen permeabiliteetti. Useimmissa sovelluksissa t\u00e4ll\u00e4 ei ole merkityst\u00e4. Korealaisilla MRAM-muistien (magneettinen RAM-muisti) valmistusalueilla ja elektronisuihkulitografialaitteiden l\u00e4heisyydess\u00e4 ferromagneettisista komponenteista l\u00e4htev\u00e4t hajamagneettikent\u00e4t aiheuttavat kohdistusvirheit\u00e4 elektronisuihkukolonnissa ja voivat muuttaa osittain valmistettujen MRAM-kennojen magneettista tilaa.<\/p>\n

Mekanismi:<\/strong> Tavallisen ter\u00e4ksisen vaihdelaatikkokotelon suhteellinen magneettinen permeabiliteetti on 100\u20131 000 (ferromagneettinen). 300 mm:n et\u00e4isyydell\u00e4 kotelo v\u00e4\u00e4rist\u00e4\u00e4 jopa Maan ymp\u00e4r\u00f6iv\u00e4\u00e4 magneettikentt\u00e4\u00e4 \u2013 ja kaikki koteloon kytkeytyvien moottorimagneettien tai virtakaapeleiden hajakent\u00e4t tuottavat ajassa muuttuvan kent\u00e4n, joka voi ylitt\u00e4\u00e4 joissakin EUV-litografiaj\u00e4rjestelmiss\u00e4 vaadittavan 10 nT:n kent\u00e4nvakausvaatimuksen. Ratkaisu:<\/strong> Austeniittinen ruostumattomasta ter\u00e4ksest\u00e4 (SS316L, \u03bc\u1d63 \u2248 1,003) tai alumiinista (\u03bc\u1d63 \u2248 1,000006) valmistettu kotelorakenne poistaa ferromagneettisuuden ongelman. T\u00e4m\u00e4 on erikoistilausvaatimus \u2013 varmista asia Korea Ever-Powerin sovellussuunnittelulta juuri sinun tuotantoalueesi ja laitetyyppisi mukaan.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

ISO 14644 Puhdastilaluokka \u2192 Vaihteiston erittelyvaatimukset<\/h2>\n

Kaikki puolijohdetehtaat eiv\u00e4t vaadi t\u00e4ytt\u00e4 puhdastilan vaihdelaatikoiden spesifikaatiopakettia. Vaatimukset skaalautuvat puhdastilan luokan mukaan \u2013 ISO-luokan 7 materiaalink\u00e4sittelyk\u00e4yt\u00e4v\u00e4ll\u00e4 on perustavanlaatuisesti erilaiset vaatimukset kuin ISO-luokan 3 fotolitografiaosastolla. Puhdastilan ominaisuuksien liiallinen m\u00e4\u00e4rittely lis\u00e4\u00e4 kustannuksia ilman toiminnallista hy\u00f6ty\u00e4, kun taas aliarviointi lis\u00e4\u00e4 tehtaan kontaminaatioriski\u00e4.<\/p>\n

\n\n\n\n\n\n\n\n\n
ISO-luokka<\/th>\nVoiteluaine<\/th>\nAkselitiiviste<\/th>\nKotelon pinnoite<\/th>\nEi-magneettinen<\/th>\nKorea Ever-Power -tilausviesti<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
ISO 8 (tukik\u00e4yt\u00e4v\u00e4)<\/td>\nVakiorasva \u2713<\/td>\nStandardi NBR \u2713<\/td>\nVakiomaali \u2713<\/td>\nEi vaadittu<\/td>\nStandardi EP-AB-varasto \u2013 ei erikoistilausta tarvita<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 6\u20137 (CMP\/pakkaus)<\/td>\nPFPE-suositus<\/td>\nFKM tai FFKM<\/td>\nV\u00e4h\u00e4haihtuvia orgaanisia yhdisteit\u00e4 sis\u00e4lt\u00e4v\u00e4 tai anodisoitu<\/td>\nVahvista vy\u00f6hykekohtaisesti<\/td>\nM\u00e4\u00e4rit\u00e4 tilauksen yhteydess\u00e4 \u201dpuhdastilarasva + FKM-tiiviste\u201d<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 4\u20135 (laskeuma\/etsaus)<\/td>\nHenkil\u00f6kohtainen suojavaruste vaaditaan<\/td>\nFFKM vaaditaan<\/td>\nAnodisoitu alumiini vaaditaan<\/td>\nJos MRAM\/EB-vy\u00f6hyke: kyll\u00e4<\/td>\nT\u00e4ydellinen puhdastilan erikoistilaus; toimitusaika 2\u20133 viikkoa<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 3 (EUV-litografia-alue)<\/td>\nHenkil\u00f6kohtainen suojavaruste vaaditaan<\/td>\nFFKM vaaditaan<\/td>\nS\u00e4hk\u00f6kiillotettu SS316L<\/td>\nPakollinen<\/td>\nR\u00e4\u00e4t\u00e4l\u00f6ity\u00e4 suunnittelua tarvitaan \u2013 ota Korea Ever-Powerin sovellustiimi mukaan suunnitteluvaiheen alkuvaiheessa<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

 <\/p>\n

Kriittinen tilausohje: <\/strong>
\nKaikki puhdastilakohtaiset vaihtoehdot \u2013 PFPE-rasva, FFKM-tiiviste, anodisoitu kotelo, ei-magneettinen rakenne \u2013 on m\u00e4\u00e4ritett\u00e4v\u00e4 tilauksen yhteydess\u00e4. Vakiomalliset EP-sarjan vaihteistot toimitetaan vakiomineraali-\/PAO-rasvalla, NBR-tiivisteill\u00e4 ja maalatulla kotelolla. Kentt\u00e4muutos ei ole mahdollinen. Jos saat vakioyksik\u00f6n ja huomaat my\u00f6hemmin, ett\u00e4 tuotantoalue vaatii PFPE-voiteluainetta, vaihteisto on palautettava ja vaihdettava puhdastilak\u00e4ytt\u00f6\u00f6n tarkoitettuun yksikk\u00f6\u00f6n. Puhdastilavaihtoehtojen toimitusaika on 2\u20134 viikkoa; suunnittele t\u00e4m\u00e4 laitteiden hankinta-aikataulussa.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Kiekkojen k\u00e4sittelij\u00e4n py\u00f6rimisakseli \u2014 tarkkuusvaatimukset ja sarjan valinta<\/h2>\n

Planeettavaihteiston puolijohdekiekkojen k\u00e4sittelylaitteet vaativat tarkkuutta, joka ylitt\u00e4\u00e4 useimmat teolliset servosovellukset. Robottikiekkok\u00e4sittelij\u00e4t \u2013 laitteet, jotka siirt\u00e4v\u00e4t 300 mm:n piikiekkoja FOUP-yksik\u00f6iden, prosessikammioiden ja kohdistuslaitteiden v\u00e4lill\u00e4 \u2013 k\u00e4ytt\u00e4v\u00e4t kahta py\u00f6rimisakselia: theta (\u03b8) -py\u00f6rimisakselia, joka py\u00f6ritt\u00e4\u00e4 koko varsikokoonpanoa kohdeurien linjaamiseksi, ja jatkoakselia, joka pident\u00e4\u00e4 ja vet\u00e4\u00e4 efektoria s\u00e4teitt\u00e4isesti. Theta-akselin paikannustarkkuus m\u00e4\u00e4ritt\u00e4\u00e4, onko kiekko efektorin keskitoleranssin sis\u00e4ll\u00e4; jatkoakseli m\u00e4\u00e4ritt\u00e4\u00e4 s\u00e4teitt\u00e4isen paikannustarkkuuden.<\/p>\n

\"pls-korkean<\/p>\n

Theta-akselin kriittinen paikannusvaatimus: kiekon keskipisteen on oltava \u00b10,5 mm:n sis\u00e4ll\u00e4 kohdeasemasta nimellisell\u00e4 300 mm:n kiekkos\u00e4teell\u00e4 (150 mm kiekon keskipisteest\u00e4). T\u00e4m\u00e4 edellytt\u00e4\u00e4, ett\u00e4 theta-akselin kulmavirhe on:<\/p>\n

\n

THETA-AKSELIN V\u00c4LYKSEN VAATIMUS \u2014 KIEKON K\u00c4SITTELIJ\u00c4<\/p>\n

Vaadittu: sijaintivirhe \u2264 \u00b10,5 mm, kun r = 300 mm varren s\u00e4de<\/p>\n

Kulmavirhe \u03b8_max = \u0394x \/ r = 0,5 \/ 300 = 0,00167 rad
\n= 0,00167 \u00d7 (180 \u00d7 60 \/ \u03c0) = 5,7 kaariminuuttia enint\u00e4\u00e4n<\/span><\/p>\n

Vaihteiston v\u00e4lysbudjetti (kokonaisvirheest\u00e4 40%):
\n\u03b8_vaihteisto \u2264 5,7 \u00d7 0,40 = 2,3 kaariminuuttia<\/p>\n

\u2192 Vaatii \u2264 2,3 kaariminuutin v\u00e4lyksen l\u00e4ht\u00f6akselilla
\n\u2192 P1 (\u22643\u2032) on marginaalinen \u2014 voi pahimmassa tapauksessa ylitt\u00e4\u00e4 budjetin
\n\u2192 P0 (\u22641\u2032) antaa 2,3\u00d7 marginaalin \u2013 oikea m\u00e4\u00e4ritys
\n\u2192 EP-AFH (\u22641\u2032 standardi) poistaa laatum\u00e4\u00e4rittelyn porrastuksen<\/p><\/div>\n<\/div>\n

Korealaisille kiekkojen k\u00e4sittelij\u00f6iden OEM-valmistajille EP-AFH-ultratarkkuussarja<\/a> on theta-akselin vakiosuositus. Jokaisen EP-AFH-yksik\u00f6n vakiospesifikaatio on \u22641 kaariminuutti \u2013 ei luokkakoodin valintaa eik\u00e4 yksik\u00f6iden v\u00e4list\u00e4 mittausvaihtelua luokka-alueen sis\u00e4ll\u00e4. Toimitustodistus vahvistaa kunkin yksik\u00f6n mitatun arvon. Jatkoakselin (s\u00e4teitt\u00e4isen) osalta tarkkuusvaatimus on alhaisempi (\u00b11 mm:n toleranssi efektorin k\u00e4rjess\u00e4) ja P0 tai P1 on sopiva arvo varren geometriasta riippuen.<\/p>\n

L\u00e4mp\u00f6tilan vakaus ja terminen paikannuksen ajautuminen: <\/strong>
\nKorealaisten kiekkovalmistajien puhdastiloissa l\u00e4mp\u00f6tila pysyy vakaana 20 \u00b0C \u00b10,1 \u00b0C. T\u00e4t\u00e4 tarkkaa l\u00e4mp\u00f6tilan s\u00e4\u00e4t\u00f6\u00e4 yll\u00e4pidet\u00e4\u00e4n erityisesti est\u00e4m\u00e4\u00e4n laitteiden l\u00e4mp\u00f6laajenemisen aiheuttama paikannusvirhe. L\u00e4mp\u00f6tilaltaan vakaassa ymp\u00e4rist\u00f6ss\u00e4 oleva puhdastilan vaihteisto saavuttaa paikannuksen toistettavuuden, jota rajoittavat v\u00e4lys ja kooderin resoluutio \u2013 ei l\u00e4mp\u00f6laajeneminen. Eritt\u00e4in vakaa puhdastilan l\u00e4mp\u00f6tila on itsess\u00e4\u00e4n suunnittelun mahdollistava tekij\u00e4: vaihteiston l\u00e4mp\u00f6virhe, joka on merkitt\u00e4v\u00e4 huolenaihe tavanomaisissa teollisuussovelluksissa, on k\u00e4yt\u00e4nn\u00f6ss\u00e4 nolla asianmukaisesti valvotussa valmistusymp\u00e4rist\u00f6ss\u00e4.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

FOUP Transport AGV - Vetopy\u00f6r\u00e4n eritelm\u00e4 tehtaan lattiak\u00e4ytt\u00f6\u00e4 varten<\/h2>\n

Korealaisissa puolijohdetehtaissa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n etupuolelta avautuvaa yhten\u00e4ist\u00e4 lokeroa (FOUP) hy\u00f6dynt\u00e4v\u00e4\u00e4 FOUP-kuljetusta, jossa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n kattokiskoilla olevia nostolaitteita (OHT) ensisijaisena kuljetustapana tehtaalta laituriin. Harvemmin liikenn\u00f6idyill\u00e4 alueilla laitteita siirret\u00e4\u00e4n laiturilta laitteisiin lattiatasolla, ja AGV-ajoneuvojen vetopy\u00f6r\u00e4vaihteistot toimivat samassa puhdastilaymp\u00e4rist\u00f6ss\u00e4 kuin prosessilaitteet.<\/p>\n

FOUP-kuljetusajoneuvojen vaihteistovaatimukset yhdist\u00e4v\u00e4t moduulien 2\u20133 puhdastilan vaatimukset Art12:n AGV-kohtaisiin vaatimuksiin: differentiaalisen ajonopeuden synkronointi (sovitettu pari, \u22640,01%-suhteen vaihtelutodistus), alhainen k\u00e4ytt\u00f6melu (viereisten lokaatioiden l\u00e4hell\u00e4 olevien litografian kohdistusta h\u00e4iritsev\u00e4n akustisen t\u00e4rin\u00e4n on oltava alle 55 dB(A) lokaatioalueen rajalla) ja huoltovapaa suljettu rakenne.<\/p>\n

The EP-KF\/KH hypoidisarja<\/a> sopii korealaisvalmisteisille AGV-vetopy\u00f6rille \u2013 tehdasymp\u00e4rist\u00f6n l\u00e4mp\u00f6tila pysyy vakiona 20 \u00b0C:ssa, mik\u00e4 on selv\u00e4sti KF\/KH-asetuksen 0 \u00b0C:n v\u00e4himm\u00e4isk\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tilan yl\u00e4puolella. Hypoidivaihteiston kosketusgeometria tuottaa noin 6\u20138 dB(A) alhaisemman k\u00e4ytt\u00f6melun kuin tavallinen planeettapy\u00f6r\u00e4st\u00f6 vastaavalla v\u00e4\u00e4nt\u00f6momentilla, mik\u00e4 on t\u00e4rke\u00e4\u00e4 akustisesti herk\u00e4ss\u00e4 tehdasymp\u00e4rist\u00f6ss\u00e4. FOUP-kuljetus-AGV:lle on m\u00e4\u00e4ritett\u00e4v\u00e4 puhdastilan voiteluainevaihtoehto (PFPE) ja FFKM-akselitiivisteet sovitetun parin nopeussynkronointitodistuksen lis\u00e4ksi.<\/p>\n

\"Korea<\/p>\n

\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Puolijohdelaitteiden k\u00e4ytt\u00f6<\/th>\nV\u00e4lyksen tarve<\/th>\nPuhdastilan tekniset tiedot<\/th>\nKorea Ever-Power -sarja<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Kiekkok\u00e4sittelij\u00e4n \u03b8-akseli (ISO 4\u20135)<\/td>\n\u22641 kaariminuuttia<\/td>\nPFPE + FFKM + anodisoitu<\/td>\nEP-AFH<\/a> + puhdastilan tekniset tiedot<\/td>\n<\/tr>\n
Kiekkojen k\u00e4sittelylaitteen jatkoakseli (ISO 4\u20135)<\/td>\n\u22643 kaariminuuttia<\/td>\nPFPE + FFKM<\/td>\nEP-AB P0\/P1<\/a> + puhdastilan tekniset tiedot<\/td>\n<\/tr>\n
FOUP AGV -vetopy\u00f6r\u00e4 (ISO 6\u20137)<\/td>\nSuhde vastaa \u22640.01%<\/td>\nPFPE + FKM-tiiviste<\/td>\nEP-KF-pari<\/a> + puhdastilan tekniset tiedot<\/td>\n<\/tr>\n
CMP-p\u00e4\u00e4n py\u00f6ritys (ISO 6)<\/td>\n\u22641 kaariminuuttia<\/td>\nPFPE + FFKM + anodisoitu<\/td>\nEP-AFH + puhdastilan tiedot<\/td>\n<\/tr>\n
Kuormaportin kohdistusvaihe (ISO 5)<\/td>\n\u22641 kaariminuuttia<\/td>\nPFPE + FFKM + anodisoitu<\/td>\nEP-ABR P0<\/a> tai EP-AFH + puhdastilan spesifikaatio<\/td>\n<\/tr>\n
Valmistajan tuki \/ apuohjelmat (ISO 8)<\/td>\nP2 riitt\u00e4v\u00e4<\/td>\nVakiovarasto<\/td>\nEP-AB P2 -standardi \u2014 ei erikoistilausta<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

MRAM-valmistus ja EUV-litografia \u2014 ei-magneettisen rakenteen erittely<\/h2>\n

Magneettisen RAM-muistin (MRAM) ja spin-transfer torque RAM -muistin (STT-RAM) valmistus \u2013 Samsungin ja SK Hynixin kehittynyt prosessiteknologia \u2013 vaatii kontrolloituja magneettisia ymp\u00e4rist\u00f6j\u00e4 kaikissa pinnoitusvaiheissa, jotka m\u00e4\u00e4rittelev\u00e4t magneettisen tunneliliitoksen (MTJ) kerrospinon. N\u00e4iden kerrosten koersitiivisuus on 5\u201350 \u00f8rstedin v\u00e4lill\u00e4; jopa 1 \u00f8rstedin hajamagneettikentt\u00e4 l\u00e4hell\u00e4 olevista laitteista pinnoitusvaiheen aikana voi muuttaa aiottua magneettisen momentin suuntaa MTJ-kerroksessa.<\/p>\n

\"Planary-vaihteiston<\/p>\n

Samsungin Hwaseongin ja Pyeongtaekin tehtailla vuodesta 2019 l\u00e4htien k\u00e4yt\u00f6ss\u00e4 olleissa EUV (Extreme Ultraviolet) -litografiaj\u00e4rjestelmiss\u00e4 k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n elektronioptisia kolonneja, jotka ovat herkki\u00e4 nanotetrasin alapuolella oleville hajamagneettikentille. 500 mm:n et\u00e4isyydell\u00e4 elektronioptisesta akselista sijaitseva standardi ter\u00e4ksinen vaihteisto tuottaa noin 100\u2013500 nT:n hajakent\u00e4n \u2013 kaksi tai nelj\u00e4 kertaluokkaa j\u00e4rjestelm\u00e4n kent\u00e4nvakausvaatimusta korkeamman.<\/p>\n

\n
Magneettisen permeabiliteetin vertailu \u2014 vaihdelaatikon kotelomateriaalit<\/div>\n
\n
\n
Standardi hiiliter\u00e4s (ferromagneettinen)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 100\u20131 000 \u2014 EI magneettisesti herkille alueille<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Seoster\u00e4s (laakeriter\u00e4s)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 50\u2013200 \u2014 EI magneettisesti herkille alueille<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Austeniittinen SS316L (ei-magneettinen ruostumaton ter\u00e4s)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 1,003 \u2014 hyv\u00e4ksytt\u00e4v\u00e4 useimmille tuotantoalueille<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
6061-T6 alumiini<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 1,000006 \u2014 merkitykset\u00f6n magneettinen signaali<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

Suhteellinen magneettinen permeabiliteetti \u03bc\u1d63. Pienempi arvo = heikompi magneettinen profiili. Tavalliset ter\u00e4ksiset vaihteistot tuottavat noin 1 000 kertaa voimakkaampia hajakentti\u00e4 kuin alumiinikoteloiset vastaavat vaihteistot samalla et\u00e4isyydell\u00e4.<\/p>\n<\/div>\n

Korealaisille laitetoimittajille, jotka ty\u00f6skentelev\u00e4t MRAM- ja EUV-alueilla, mukaan lukien ne, jotka suunnittelevat kompakteja lavastusj\u00e4rjestelmi\u00e4 EP-ADS-kompaktisarja<\/a>Korea Ever-Power EP -sarjan vaihteistot voidaan varustaa alumiinirunkoisilla varianteilla sek\u00e4 rungon ett\u00e4 planeettapy\u00f6r\u00e4st\u00f6n kantoaineiden osalta. Huomaa, ett\u00e4 sis\u00e4iset ter\u00e4ksiset hammaspy\u00f6r\u00e4elementit (planeettapy\u00f6r\u00e4t, keh\u00e4py\u00f6r\u00e4t, aurinkopy\u00f6r\u00e4t) ovat edelleen ter\u00e4st\u00e4 \u2013 t\u00e4m\u00e4 on v\u00e4ist\u00e4m\u00e4t\u00f6nt\u00e4 tarkkuusvaihteiden valmistuksessa. Ter\u00e4ksiset hammaspy\u00f6r\u00e4elementit tuottavat paljon pienemm\u00e4n magneettisen signaalin kuin rungon, koska ne py\u00f6riv\u00e4t nopeasti (v\u00e4hent\u00e4\u00e4kseen staattisen kent\u00e4n nettovaikutusta) ja ulkokotelo suojaa niit\u00e4 olennaisesti. T\u00e4ysin ei-magneettinen rakenne (mukaan lukien keraamiset tai titaaniset hammaspy\u00f6r\u00e4elementit) on r\u00e4\u00e4t\u00e4l\u00f6ity suunnitteluprojekti, joka ylitt\u00e4\u00e4 mink\u00e4 tahansa valmistajan vakiotuotteiden valikoiman.<\/p>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Samsungin ja SK Hynixin toimitusketju \u2013 Laitteiden kelpuutusta koskevat dokumentaatiovaatimukset<\/h2>\n

Samsungille (Pyeongtaek, Hwaseong, Giheung) ja SK Hynixille (Cheongju, Icheon) tarjouksia tekevien korealaisten puolijohdelaitetoimittajien on hyv\u00e4ksytt\u00e4v\u00e4 laitteensa monivaiheisen toimittajan hyv\u00e4ksynt\u00e4prosessin kautta. K\u00e4ytt\u00f6komponenttien \u2013 mukaan lukien vaihteistojen \u2013 komponenttitason dokumentaatio vaaditaan tyypillisesti IQ-vaiheessa (Installation Qualification). Vaadittu asiakirjapaketti vaihtelee prosessivy\u00f6hykkeen puhdastilaluokan ja laitetyypin mukaan, mutta ISO-luokan 4\u20135 vy\u00f6hykkeiden tarkkuusk\u00e4ytt\u00f6komponenttien vakiopaketti sis\u00e4lt\u00e4\u00e4 seuraavat tuotteet.<\/p>\n

\n
\n
\u2460 Puhdastilan materiaalien sertifiointi<\/div>\n

Valmistajan kirjallinen vakuutus siit\u00e4, ett\u00e4 kaikki materiaalit (kotelo, tiivisteet, voiteluaine) t\u00e4ytt\u00e4v\u00e4t tehtaan materiaalispesifikaatiot. PFPE-voiteluaineen osalta: ilmoita PFPE-laatu ja toimittajan nimi. FFKM-tiivisteiden osalta: vahvista fluorihiilipolymeerispesifikaatio. Korea Ever-Power toimittaa t\u00e4m\u00e4n koreankielisen\u00e4 kirjallisena vakuutuksena.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2461 Kaasunpoistotestitiedot<\/div>\n

Voiteluaineen ja tiivistemateriaalien ASTM E1603- tai vastaavan kaasunpoistotestin tulokset 20\u201325 \u00b0C:ssa. N\u00e4ytt\u00e4\u00e4 kokonaismassah\u00e4vi\u00f6n (TML) ja ker\u00e4tyn haihtuvan tiivistyv\u00e4n materiaalin (CVCM). PFPE-rasvan tapauksessa n\u00e4m\u00e4 arvot ovat tyypillisesti <0,01% TML ja <0,001% CVCM \u2013 selv\u00e4sti tehtaan vakiorajojen sis\u00e4ll\u00e4.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2462 V\u00e4lyksen mittaustodistus<\/div>\n

Yksikk\u00f6kohtainen mitattu v\u00e4lysarvo (ei vain laadun vaatimustenmukaisuuslausunto). Korea Ever-Power toimittaa t\u00e4m\u00e4n kaikille EP-AFH-yksik\u00f6ille ja EP-AB\/AF-laitteille P0- ja P1-laaduilla. Vaaditaan paikannuksen kannalta kriittisten k\u00e4ytt\u00f6akseleiden IQ-dokumentointiin.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2463 RoHS- ja REACH-vaatimustenmukaisuusvakuutus<\/div>\n

Kirjallinen vahvistus siit\u00e4, ett\u00e4 vaihteisto ei sis\u00e4ll\u00e4 EU:n RoHS 2 (2011\/65\/EU uudelleenlaadittu) ja REACH (EY 1907\/2006) SVHC-listojen mukaisesti kiellettyj\u00e4 aineita. Vaaditaan monikansallisille tehtaille myyt\u00e4ville laitteille. Korea Ever-Power toimittaa t\u00e4m\u00e4n vakioasiakirjana puhdastilatilausten mukana.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2464 Mittapiirustus (PDF, korea + englanti)<\/div>\n

T\u00e4ydellinen mittapiirustus toleranssimittoineen asennuksen kelpoisuutta varten. Vaaditaan IQ\/OQ-protokollan dokumentointia varten. Korea Ever-Power toimittaa t\u00e4m\u00e4n 3 arkip\u00e4iv\u00e4n kuluessa tilauksesta kaikille EP-sarjan malleille.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2465 Vastaavan parin suhdeluvun todistus (vain AGV)<\/div>\n

Differentiaalik\u00e4ytt\u00f6isille FOUP-AGV:lle: v\u00e4lityssuhteen vaihtelutodistus molemmille vet\u00e4vien py\u00f6rien vaihteistoille, joka vahvistaa \u22640,01%-v\u00e4lityssuhteen eron parin v\u00e4lill\u00e4. Korea Ever-Power tarjoaa t\u00e4m\u00e4n vakiovarusteena, kun tilataan sovitettuja parik\u00e4ytt\u00f6isi\u00e4 AGV-ajoneuvoja.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n

Korealaisten tehdaslaitteiden hankinta-aikataulu: <\/strong>
\nSamsungin ja SK Hynixin laitteiden kelpoisuussyklit kest\u00e4v\u00e4t tyypillisesti 6\u201312 kuukautta laitteen suunnittelun j\u00e4\u00e4dytt\u00e4misest\u00e4 tehtaan hyv\u00e4ksynt\u00e4\u00e4n. Vaihteiston dokumentaatiopaketti vaaditaan IQ-vaiheessa \u2013 tyypillisesti 4\u20136 kuukauden kuluttua kelpoisuussyklin alkamisesta. Puhdastilaspesifikaatioiden mukaisten vaihteistojen (PFPE + FFKM, 2\u20134 viikon toimitusaika) osalta tilaus tulee tehd\u00e4 viimeist\u00e4\u00e4n 10 viikkoa ennen IQ-dokumentaation tarvetta. Ota yhteytt\u00e4 Korea Ever-Poweriin suunnitteluvaiheessa \u2013 ei hankintavaiheessa \u2013 varmistaaksesi dokumenttien saatavuuden ja toimitusajan tietylle tuotantoalueellesi ja puhdastilaluokallesi.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Kaasunpoistobudjetin laskeminen \u2014 Kuinka m\u00e4\u00e4ritt\u00e4\u00e4, tarvitaanko vakio- vai PFPE-rasvaa<\/h2>\n

Valinta standardin tiivistetyn rasvan ja PFPE-puhdastilavoiteluaineen v\u00e4lill\u00e4 riippuu vaihteiston puhdastilan ilmaan tuottamasta kaasusta ja sen et\u00e4isyydest\u00e4 paljaisiin kiekkopintoihin. Seuraava laskentatapa antaa korealaisille laitetoimittajille mahdollisuuden tehd\u00e4 t\u00e4m\u00e4 p\u00e4\u00e4t\u00f6s kvantitatiivisesti sen sijaan, ett\u00e4 k\u00e4ytett\u00e4isiin konservatiivista oletusarvoa, joka voi lis\u00e4t\u00e4 tarpeettomia kustannuksia.<\/p>\n

\n

KAASUNPOISTON SAASTUMISBUDJETTI \u2013 YKSINKERTAISTETTU MALLI<\/p>\n

Yksitt\u00e4isest\u00e4 vaihteistosta per\u00e4isin oleva laskeutumisnopeus kiekolle D (ng\/cm\u00b2\/h):<\/p>\n

D \u2248 P_h\u00f6yry \u00d7 M_rasva \u00d7 k_geom \/ (R \u00d7 T)<\/p>\n

jossa:
\nP_vap = voiteluaineen perus\u00f6ljyn h\u00f6yrynpaine 20 \u00b0C:ssa (Pa)
\nM_rasva = paljaan rasvan pinta-ala (cm\u00b2)
\nk_geom = geometrinen tekij\u00e4 (riippuu et\u00e4isyydest\u00e4 ja kulmasta, ~10\u207b\u2075 - 10\u207b\u00b3)
\nR, T = kaasuvakio, l\u00e4mp\u00f6tila<\/p>\n

Mineraali\u00f6ljyn PAO (standardi): P_vap \u2248 10\u207b\u00b3 Pa
\n\u2192 D \u2248 0,05\u20130,5 ng\/cm\u00b2\/h 300 mm:n et\u00e4isyydell\u00e4
\n\u2192 24 tunnin aikana: 1,2\u201312 ng\/cm\u00b2 kertyminen kiekolle \u2190 HYL\u00c4TTY ISO 5 -testi<\/p>\n

PFPE (puhdastilalaatu): P_vap \u2248 10\u207b\u00b9\u2070 Pa
\n\u2192 D < 10\u207b\u2077 ng\/cm\u00b2\/h \u2014 7 kertaluokkaa pienempi
\n\u2192 Ei voida mitata standardianalyyttisill\u00e4 menetelmill\u00e4 \u2713<\/p><\/div>\n<\/div>\n

Laskelma osoittaa, miksi PFPE-rasvaa vaaditaan eik\u00e4 pelk\u00e4st\u00e4\u00e4n suositella kaikille vaihteistoille, jotka ovat n\u00e4kyviss\u00e4 olevien kiekkojen l\u00e4hell\u00e4: standardirasvan h\u00f6yrynpaine on seitsem\u00e4n kertaluokkaa korkeampi kuin PFPE:n. Mik\u00e4\u00e4n geometrinen tekij\u00e4 tai et\u00e4isyysj\u00e4rjestely ei kompensoi t\u00e4t\u00e4 perustavanlaatuista eroa. Kaikissa ISO-luokan 3\u20136 vy\u00f6hykkeill\u00e4, joissa kiekot voivat olla alttiina ilmakeh\u00e4lle, PFPE-rasva on ehdoton vaatimus, ei ensisijainen vaihtoehto.<\/p>\n

\"planeettavaihteiston<\/p>\n

Miss\u00e4 puolijohdetehtaassa voidaan k\u00e4ytt\u00e4\u00e4 vakiorasvaa: <\/strong>
\nVaihteistot, jotka on asennettu ISO-luokan 8 tai alemman luokan alueille (tehtaan tukik\u00e4yt\u00e4v\u00e4t, kodinhoitohuoneet, laitteiden aluslattiat), joissa kiekkoja ei koskaan ole, eiv\u00e4t vaadi PFPE-voiteluainetta. Vakiorasvalla varustetut EP-AB- tai EP-BPG-sarjan voiteluaineet ovat oikea ja kustannustehokkain spesifikaatio n\u00e4ille vy\u00f6hykkeille. PFPE-preemio (tyypillisesti 30\u201350% korkeampi yksikk\u00f6hinta) on perusteltu vain silloin, kun vaihteisto sijaitsee vy\u00f6hykkeell\u00e4, jossa kiekkojen altistuminen on mahdollista. Puhdastilaspesifikaation soveltaminen kaikkiin tehtaan vaihteistoihin vy\u00f6hykkeest\u00e4 riippumatta lis\u00e4\u00e4 tarpeettomasti osaluettelon kustannuksia ilman toiminnallista hy\u00f6ty\u00e4.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Usein kysytyt kysymykset \u2014 Planeettavaihteistot korealaisissa puolijohdelaitteissa<\/h2>\n
\n
\n

Q<\/span>
\nKorealainen laiteasiakkaamme (Samsungille toimittava tehdasvalmisteisten laitteiden valmistaja) vaatii \"hiukkasvapaan\" vaihteiston spesifikaation. Mit\u00e4 t\u00e4m\u00e4 tarkalleen ottaen tarkoittaa k\u00e4yt\u00e4nn\u00f6ss\u00e4?<\/h3>\n

\u201dHiukkaseton\u201d korealaisessa tehtaan hankintakieless\u00e4 tarkoittaa tyypillisesti, ett\u00e4 vaihteisto ei saa irrottaa puhdastilan ilmakeh\u00e4\u00e4n tietyn kokoisia ja hiukkasia, jotka ylitt\u00e4v\u00e4t tietyn lukum\u00e4\u00e4r\u00e4n \u2013 ei sit\u00e4, ett\u00e4 se kirjaimellisesti tuottaisi nolla hiukkasta. K\u00e4yt\u00e4nn\u00f6n spesifikaatio ilmaistaan \u200b\u200byleens\u00e4 hiukkasten enimm\u00e4istuotantonopeudena tietyll\u00e4 et\u00e4isyydell\u00e4 ja ilmavirtausolosuhteissa tai materiaaliyhteensopivuuslausuntona, jonka mukaan kotelo ja tiivisteet eiv\u00e4t irrota yli 0,1 \u03bcm:n kokoisia hiukkasia nopeudella, joka ylitt\u00e4\u00e4 puhdastilan hiukkaspitoisuusbudjetin kyseiselle asennukselle. Korea Ever-Power ratkaisee t\u00e4m\u00e4n: (1) suljetulla rakenteella varustetulla PFPE-voiteluaineella, joka est\u00e4\u00e4 rasvahiukkasten kulkeutumisen, (2) FFKM-akselitiivisteill\u00e4, jotka yll\u00e4pit\u00e4v\u00e4t positiivista eristyst\u00e4 koko k\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tila-alueella, ja (3) anodisoidulla alumiinikotelolla, joka ei irrota maalihiukkasia. T\u00e4ydellisen hiukkastuotantotestin j\u00e4rjestelm\u00e4tasolla (vaihteisto asennettuna laitteeseen, toimien puhdastilaolosuhteissa) suorittaa tyypillisesti korealainen laitevalmistaja, ei vaihteiston toimittaja.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nSuunnittelemme korealaista kiekkotehtaalle tarkoitettua CMP-p\u00e4\u00e4n py\u00f6rityslaitetta (Chemical Mechanical Planarisation). Mik\u00e4 on vaihteiston tarkka kokoonpano?<\/h3>\n

CMP-p\u00e4\u00e4n py\u00f6ritysk\u00e4ytt\u00f6 asettaa kiillotusp\u00e4\u00e4n levyn p\u00e4\u00e4lle ja py\u00f6ritt\u00e4\u00e4 sit\u00e4 kiillotusprosessin aikana. K\u00e4ytt\u00f6vaatimukset: kohtalainen nopeus (30\u2013150 rpm), kohtalainen v\u00e4\u00e4nt\u00f6momentti (50\u2013300 N\u00b7m p\u00e4\u00e4n koosta ja lietetyypist\u00e4 riippuen), \u22641 kaariminuutin asemointi p\u00e4\u00e4n indeksointia varten ja puhdastilayhteensopivuus (p\u00e4\u00e4 toimii paljaiden kiekkopintojen p\u00e4\u00e4ll\u00e4 kiillotuksen aikana). EP-AFH-sarja on vakiosuositus \u2013 \u22641 kaariminuutin vakiospesifikaatio, kompakti suljettu rakenne, saatavana PFPE-rasvalla ja FFKM-tiivisteill\u00e4 ISO-luokan 5\u20136 CMP-paikkavaatimuksia varten. Erityisesti py\u00f6rimisakselin osalta EP-AFH-linjasarja on parempi kuin suorakulmaiset kokoonpanot, koska kompakti aksiaalipituus v\u00e4hent\u00e4\u00e4 p\u00e4\u00e4n painon vaihteiston l\u00e4ht\u00f6laakerille aiheuttamaa momenttivartta.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nNykyinen vaihteistomme k\u00e4ytt\u00e4\u00e4 tavallista tiivisterasvaa ja on ollut korealaistehtaalla 18 kuukautta ilman havaittua kontaminaatiota. Pit\u00e4\u00e4k\u00f6 meid\u00e4n vaihtaa PFPE:hen?<\/h3>\n

Havaitun kontaminaatiotapahtuman puuttuminen ei vahvista kontaminaation puuttumista \u2013 puhdastilan kemiallinen kontaminaatio vaihteiston kaasunpoistosta havaitaan tyypillisesti kuukausia kontaminaatiotapahtuman j\u00e4lkeen saantoanalyysin avulla, ei reaaliajassa. Tehdas, joka saavuttaa 95%-fotolitografiassa saatavan saannon, saattaa menett\u00e4\u00e4 2\u20133%-saannon orgaanisen pintakontaminaation vuoksi ilman, ett\u00e4 sit\u00e4 voidaan j\u00e4ljitt\u00e4\u00e4 tiettyyn l\u00e4hteeseen. Jos vaihteistosi sijaitsee ISO-luokan 5 tai paremmassa vy\u00f6hykkeess\u00e4 1\u20132 metrin s\u00e4teell\u00e4 paljaista kiekkojen pinnoista, moduulin 8 kaasunpoistolaskentaa sovelletaan \u2013 standardin mineraali\u00f6ljyrasvan laskeumanopeus on fyysisesti mitattavissa ja ylitt\u00e4\u00e4 puhdastilan raja-arvot. Se, onko t\u00e4m\u00e4 laskeumanopeus j\u00e4ljitetty tietyss\u00e4 asennuksessasi, riippuu tehtaan saannonseurantaj\u00e4rjestelm\u00e4st\u00e4. Korea Ever-Power suosittelee vahvasti PFPE-voiteluaineen k\u00e4ytt\u00f6\u00e4 kaikille vaihteistoille ISO-luokan 5 tai paremmissa vy\u00f6hykkeiss\u00e4 paljaiden kiekkojen l\u00e4hell\u00e4 riippumatta siit\u00e4, onko kontaminaatiotapahtuma virallisesti tunnistettu.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nKoskeeko puhdastilan vaihdelaatikon erittely\u00e4 korealaisiin maatalouden automaatiolaitteisiin, jotka jakavat laitoksen puolijohdetuen vy\u00f6hykkeen kanssa?<\/h3>\n

Ei \u2013 maatalouden automaatiolaitteet ja puolijohdelaitosten automaatio ovat t\u00e4ysin erillisi\u00e4 sovellusluokkia. Korealaisilla maatalouden jalostuslaitoksilla (vilja, vihannekset, elintarvikkeiden jalostus) ei ole ISO 14644 -standardin mukaisia \u200b\u200bpuhdastilavaatimuksia. Korealaisen maatalousautomaation vaihteiston erittely noudattaa Art9:ss\u00e4 kuvattuja elintarvikkeiden jalostuksen hygieniavaatimuksia (IP67, KFDA-vaatimustenmukaisuus, suljettu rasva) puolijohdepuhdastilavaatimusten sijaan. Jos korealainen laitos yhdist\u00e4\u00e4 maatalouden jalostuksen ja puolijohdepakkaukset (esimerkiksi erikoiskalvo- tai pakkaustoimittaja puolijohdetehtaalle), kunkin vy\u00f6hykkeen asianmukainen erittely noudattaa kyseisen vy\u00f6hykkeen todellisia vaatimuksia \u2013 maatalouden jalostusalueilla k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n elintarviketurvallisia vaihteistoja, ja jos jokin laitoksen vy\u00f6hyke on nimetty puolijohdepuhdastilastandardin mukaiseksi, kyseisen vy\u00f6hykkeen vaihteistot noudattavat ISO 14644 -standardin vaatimuksia. Monil\u00e4ht\u00f6isen tehonjakelun osalta maatalouden jalostusp\u00e4ihin maatalouden kartiovaihteistot<\/a> EP-planeettayksik\u00f6n tuotoksesta yksitt\u00e4isiin k\u00e4sittelyp\u00e4ihin jakelu on sopivaa t\u00e4llaisten laitosten ei-puhdastilavy\u00f6hykkeill\u00e4.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

M\u00e4\u00e4rit\u00e4 puolijohdelaitteiden vaihteistot Korea Ever-Powerin avulla<\/h2>\n

Korea Ever-Power toimittaa puhdastilak\u00e4ytt\u00f6\u00f6n tarkoitettuja EP-sarjan vaihteistoja PFPE-voiteluaineella, FFKM-tiivisteill\u00e4, anodisoiduilla koteloilla ja t\u00e4ydellisell\u00e4 Samsung\/SK Hynix IQ -dokumentaatiopaketilla \u2013 koreaksi, 2\u20134 viikon toimitusajalla. Osallistu suunnitteluvaiheeseen parhaiden tulosten saavuttamiseksi.<\/p>\n

EP-AFH Ultra-Precision (kiekkok\u00e4sittelij\u00e4) \u2192
\n<\/a>
\nEP-KF\/KH hiljainen (Fab AGV) \u2192
\n<\/a><\/div>\n<\/section>\n<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Puolijohdesovellusopas \u00b7 ISO 14644 \u00b7 Kaasunpoisto \u00b7 Ei-magneettinen \u00b7 Samsungin \/ SK Hynixin planeettavaihteisto puolijohdelaitteille \u2014 puhdastila, kiekkojen k\u00e4sittely ja v\u00e4h\u00e4n kaasua vapauttava suunnittelu Jokainen planeettavaihteiston puolijohdelaitteen valintap\u00e4\u00e4t\u00f6s alkaa yhdest\u00e4 kysymyksest\u00e4, johon standardiluettelot eiv\u00e4t pysty vastaamaan. Tavallinen teollisuusplaneettavaihteisto, joka toimii moitteettomasti kymmenen vuotta [\u2026]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_et_pb_use_builder":"","_et_pb_old_content":"","_et_gb_content_width":"","footnotes":""},"categories":[965],"tags":[],"class_list":["post-707","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-application-and-technical-guid"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=707"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":708,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707\/revisions\/708"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=707"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=707"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=707"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}