{"id":707,"date":"2026-06-01T05:34:46","date_gmt":"2026-06-01T05:34:46","guid":{"rendered":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/?p=707"},"modified":"2026-06-01T05:34:46","modified_gmt":"2026-06-01T05:34:46","slug":"planetary-gearbox-semiconductor-wafer-handling-cleanroom","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/planetary-gearbox-semiconductor-wafer-handling-cleanroom\/","title":{"rendered":"R\u00e9ducteur plan\u00e9taire pour \u00e9quipements semi-conducteurs \u2014 Salles blanches et manutention de plaquettes"},"content":{"rendered":"
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\"r\u00e9ducteur<\/p>\n
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Guide d'application des semi-conducteurs \u00b7 ISO 14644 \u00b7 D\u00e9gazage \u00b7 Non magn\u00e9tique \u00b7 Samsung \/ SK Hynix<\/div>\n

R\u00e9ducteur plan\u00e9taire pour \u00e9quipements semi-conducteurs \u2014
\nConception de salles blanches, de manipulation de plaquettes et de syst\u00e8mes \u00e0 faible d\u00e9gazage<\/h1>\n

Le choix d'un r\u00e9ducteur plan\u00e9taire pour l'industrie des semi-conducteurs commence toujours par une question \u00e0 laquelle les catalogues standards ne peuvent r\u00e9pondre. Un r\u00e9ducteur plan\u00e9taire industriel standard, parfaitement fonctionnel pendant dix ans sur une ligne de conditionnement cor\u00e9enne, contaminera une salle blanche de fabrication de plaquettes en quelques semaines seulement. Non pas par manque de pr\u00e9cision, mais parce que son lubrifiant d\u00e9gage des COV \u00e0 20 \u00b0C qui se d\u00e9posent sur les plaquettes de silicium de 300 mm, que son carter en acier lib\u00e8re des particules ferromagn\u00e9tiques qui se magn\u00e9tisent pendant le transport, et que son rev\u00eatement standard lib\u00e8re des microparticules d\u00e9passant les limites de concentration de la classe ISO 5. Ce guide couvre toutes les sp\u00e9cifications qui permettent de distinguer les diff\u00e9rents r\u00e9ducteurs. r\u00e9ducteurs compatibles avec les salles blanches<\/strong> \u00e0 partir d'unit\u00e9s industrielles standard.<\/p>\n

Voir la s\u00e9rie EP-AFHK Ultra-Pr\u00e9cision \u2192
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Fabrication de semi-conducteurs en Cor\u00e9e\u00a0: pourquoi les sp\u00e9cifications des bo\u00eetes de vitesses sont particuli\u00e8rement exigeantes<\/h2>\n

La Cor\u00e9e poss\u00e8de la plus forte densit\u00e9 de production de semi-conducteurs au monde. Les usines de Samsung \u00e0 Pyeongtaek (phases P3 et P4) et de SK Hynix \u00e0 Cheongju (M15X) produisent conjointement la majorit\u00e9 des m\u00e9moires DRAM et NAND flash mondiales. Ces installations traitent des plaquettes de silicium de 300 mm en 400 \u00e0 600 \u00e9tapes de photolithographie, de d\u00e9p\u00f4t, de gravure et de polissage chimico-m\u00e9canique (CMP) dans des salles blanches de classe ISO 3 \u00e0 5 (10 \u00e0 100 particules \u2265 0,1 \u00b5m par m\u00e8tre cube d'air).<\/p>\n

Les r\u00e9ducteurs utilis\u00e9s dans cet environnement \u2014 dans les AGV de transport FOUP, les axes de rotation des manipulateurs de plaquettes, les platines d'alignement des ports de chargement, les platines de r\u00e9ticule de photolithographie et les entra\u00eenements de rotation des t\u00eates CMP \u2014 sont soumis aux m\u00eames exigences de salle blanche que tous les autres composants. Un r\u00e9ducteur qui lib\u00e8re des particules, d\u00e9gage des gaz chimiques ou g\u00e9n\u00e8re des champs magn\u00e9tiques susceptibles de perturber les syst\u00e8mes d'alignement n'est pas un r\u00e9ducteur de \u00ab\u00a0qualit\u00e9 inf\u00e9rieure\u00a0\u00bb\u00a0; c'est simplement un r\u00e9ducteur con\u00e7u pour un environnement diff\u00e9rent et install\u00e9 dans un environnement inadapt\u00e9.<\/p>\n

\"R\u00e9ducteurs<\/p>\n

La compr\u00e9hension des sp\u00e9cifications des salles blanches pour semi-conducteurs \u00e0 r\u00e9ducteur plan\u00e9taire permet aux fournisseurs cor\u00e9ens d'\u00e9quipements pour l'industrie des semi-conducteurs de sp\u00e9cifier la configuration correcte du r\u00e9ducteur d\u00e8s le d\u00e9part, plut\u00f4t que de d\u00e9couvrir des incompatibilit\u00e9s lors des tests d'acceptation par le client, qui constituent le moment le plus co\u00fbteux pour r\u00e9soudre une erreur de sp\u00e9cification de composant.<\/p>\n

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Zone de fabrication cor\u00e9enne<\/th>\nClasse ISO<\/th>\nNombre maximal de particules \u2265 0,1 \u03bcm par m\u00b3<\/th>\nTemp\u00e9rature \/ Humidit\u00e9<\/th>\nUtilisation de la bo\u00eete de vitesses<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
baie de photolithographie<\/td>\nISO 3<\/td>\n10<\/td>\n20 \u00b0C \u00b10,1 \u00b0C \/ 40% HR<\/td>\nPlatine \u00e0 r\u00e9ticule, chargeur de plaquettes \u2014 les plus exigeants<\/td>\n<\/tr>\n
Baies de d\u00e9p\u00f4t\/gravure<\/td>\nISO 4\u20135<\/td>\n100 \u00e0 1 000<\/td>\n20\u201322 \u00b0C \/ 40\u2013501 TP3T HR<\/td>\nManutentionnaires d'\u00e9quipement, transport a\u00e9rien<\/td>\n<\/tr>\n
Baies CMP \/ d'emballage<\/td>\nISO 6\u20137<\/td>\n10 000 \u00e0 100 000<\/td>\n20\u201323 \u00b0C \/ 40\u2013601 TP3T HR<\/td>\nTransport FOUP, AGV de manutention<\/td>\n<\/tr>\n
Couloir de soutien Fab<\/td>\nISO 8<\/td>\n3,520,000<\/td>\nTemp\u00e9rature ambiante \u00b12\u00b0C<\/td>\nLa norme EP-AB est acceptable dans cette zone.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

Classification de propret\u00e9 ISO 14644-1:2015. Zones de fabrication de semi-conducteurs cor\u00e9ennes selon les sp\u00e9cifications des \u00e9quipements Samsung\/SK Hynix. Toutes les zones de fabrication maintiennent une temp\u00e9rature d'environ 20 \u00e0 22 \u00b0C toute l'ann\u00e9e\u00a0; la temp\u00e9rature minimale de 0 \u00b0C requise pour les semi-conducteurs hypoides de la s\u00e9rie EP-KF\/KH n'est pas un probl\u00e8me pour les installations en int\u00e9rieur.<\/p>\n<\/section>\n

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Quatre fa\u00e7ons dont une bo\u00eete de vitesses standard contamine une usine de semi-conducteurs<\/h2>\n

L'incompatibilit\u00e9 des r\u00e9ducteurs standard avec les salles blanches r\u00e9sulte de quatre m\u00e9canismes ind\u00e9pendants. Chacun doit \u00eatre trait\u00e9 s\u00e9par\u00e9ment\u00a0; en \u00e9liminer un ne r\u00e9sout pas le probl\u00e8me des autres.<\/p>\n

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1<\/div>\n
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D\u00e9gazage des lubrifiants \u2014 la contamination invisible<\/div>\n

Les graisses scell\u00e9es standard utilisent des huiles de base min\u00e9rales ou PAO (polyalphaol\u00e9fines) avec des \u00e9paississants \u00e0 base d'amines ou de calcium. \u00c0 temp\u00e9rature ambiante, en salle blanche, ces compos\u00e9s lib\u00e8rent des compos\u00e9s organiques volatils (COV) par pression de vapeur, un ph\u00e9nom\u00e8ne appel\u00e9 d\u00e9gazage. Invisibles \u00e0 l'\u00e9chelle mol\u00e9culaire, les COV lib\u00e9r\u00e9s se d\u00e9posent n\u00e9anmoins sur les surfaces environnantes, notamment les plaquettes de silicium et le verre des r\u00e9ticules.<\/p>\n

M\u00e9canisme:<\/strong> \u00c0 20 \u00b0C, une graisse min\u00e9rale standard peut pr\u00e9senter une pression de vapeur de 10\u207b\u2074 \u00e0 10\u207b\u00b3 Pa. Le taux de d\u00e9p\u00f4t sur les surfaces avoisinantes est d'environ 0,1 \u00e0 1 ng\/cm\u00b2\/heure. Sur une plaquette de 300 mm situ\u00e9e \u00e0 500 mm d'une bo\u00eete de vitesses contaminante, et apr\u00e8s 24 heures de fonctionnement continu, il se forme un film organique qui modifie la mouillabilit\u00e9 et l'adh\u00e9rence de la r\u00e9sine photosensible, provoquant ainsi des d\u00e9fauts lors des \u00e9tapes de lithographie suivantes.<\/p>\n

Solution:<\/strong> Graisse PFPE (perfluoropoly\u00e9ther). Pression de vapeur \u00e0 20 \u00b0C\u00a0: <\u00a010\u207b\u00b9\u2070\u00a0Pa \u2014 sept ordres de grandeur, voire plus, inf\u00e9rieure \u00e0 celle de l\u2019huile min\u00e9rale. La graisse PFPE est chimiquement inerte, non r\u00e9active aux gaz de proc\u00e9d\u00e9 et ne produit aucun d\u00e9p\u00f4t organique mesurable sur les surfaces environnantes. Les r\u00e9ducteurs de la s\u00e9rie Korea Ever-Power EP, graiss\u00e9s avec une graisse PFPE de qualit\u00e9 salle blanche, sont disponibles sur commande sp\u00e9ciale\u00a0; veuillez pr\u00e9ciser \u00ab\u00a0lubrifiant PFPE pour salle blanche semi-conducteurs\u00a0\u00bb lors de votre commande.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

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2<\/div>\n
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G\u00e9n\u00e9ration de particules \u00e0 partir des d\u00e9bris d'usure des engrenages<\/div>\n

Chaque r\u00e9ducteur plan\u00e9taire g\u00e9n\u00e8re des particules d'usure m\u00e9talliques submicroniques au niveau de la zone de contact des engrenages\u00a0; ce ph\u00e9nom\u00e8ne est in\u00e9vitable en raison du mouvement de glissement et de roulement \u00e0 l'interface des dents. En milieu industriel, ces particules sont retenues \u00e0 l'int\u00e9rieur du carter \u00e9tanche par la graisse. Dans un r\u00e9ducteur destin\u00e9 aux salles blanches, il est imp\u00e9ratif d'\u00e9liminer toute voie d'\u00e9chappement possible\u00a0: le joint d'arbre doit emp\u00eacher la migration des particules le long de sa surface, et le carter ne doit pr\u00e9senter aucun micro-interstice par lequel l'air charg\u00e9 de particules pourrait \u00eatre aspir\u00e9 par le cycle de respiration thermique du r\u00e9ducteur.<\/p>\n

M\u00e9canisme:<\/strong> Lorsqu'une bo\u00eete de vitesses chauffe, passant du d\u00e9marrage \u00e0 froid \u00e0 sa temp\u00e9rature de fonctionnement, l'air contenu dans le carter se dilate et cherche \u00e0 s'\u00e9chapper par le chemin de moindre r\u00e9sistance, g\u00e9n\u00e9ralement le long du joint d'\u00e9tanch\u00e9it\u00e9 de l'arbre. Lors du refroidissement, l'air ext\u00e9rieur (et les particules qu'il contient) est aspir\u00e9. Cet effet de \u00ab\u00a0respiration\u00a0\u00bb peut transporter des particules dans les deux sens. Solution:<\/strong> Bo\u00eetier enti\u00e8rement \u00e9tanche sans passage de ventilation thermique \u2014 obtenu en \u00e9liminant les \u00e9vents de ventilation et en sp\u00e9cifiant des joints d'arbre en FFKM (perfluoro\u00e9lastom\u00e8re) qui maintiennent un contact plus \u00e9troit avec les l\u00e8vres sur toute la plage de temp\u00e9ratures de fonctionnement que les joints standard en NBR ou FKM.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
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3<\/div>\n
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d\u00e9gazage et particulation du rev\u00eatement de surface du bo\u00eetier<\/div>\n

Les carters de r\u00e9ducteurs industriels standard utilisent des peintures \u00e0 base d'huile ou acryliques qui durcissent \u00e0 temp\u00e9rature ambiante. Ces peintures continuent de lib\u00e9rer des r\u00e9sidus de solvants (COV) pendant plusieurs mois apr\u00e8s leur application et lib\u00e8rent des microparticules \u00e0 mesure que leur surface se d\u00e9t\u00e9riore. Dans une salle blanche de classe ISO 3 \u00e0 5, m\u00eame une source de particules de faible ampleur peut entra\u00eener un d\u00e9passement de la limite de concentration admissible \u00e0 proximit\u00e9 imm\u00e9diate du r\u00e9ducteur.<\/p>\n

Solution:<\/strong> Bo\u00eetier en aluminium anodis\u00e9 brut (sans peinture) ou nickelage chimique \u00e0 teneur nulle en COV et \u00e0 taux de particules minimal. Certains fournisseurs cor\u00e9ens d'\u00e9quipements de fabrication utilisent des bo\u00eetiers en acier inoxydable \u00e9lectropoli pour les applications les plus exigeantes de classe ISO 3. Korea Ever-Power propose des bo\u00eetiers en aluminium anodis\u00e9 brut pour les r\u00e9ducteurs de la s\u00e9rie EP destin\u00e9s aux salles blanches\u00a0; veuillez le pr\u00e9ciser lors de votre commande.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
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4<\/div>\n
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Mat\u00e9riaux ferromagn\u00e9tiques et champs magn\u00e9tiques parasites<\/div>\n

Les composants standard des bo\u00eetes de vitesses (carter, engrenages, arbres, porte-satellites) sont fabriqu\u00e9s en acier au carbone ou alli\u00e9 standard, des mat\u00e9riaux ferromagn\u00e9tiques \u00e0 perm\u00e9abilit\u00e9 magn\u00e9tique importante. Dans la plupart des applications, cela n'a pas d'incidence. Cependant, dans les zones de fabrication de MRAM (m\u00e9moire vive magn\u00e9tique) en Cor\u00e9e et \u00e0 proximit\u00e9 des \u00e9quipements de lithographie par faisceau d'\u00e9lectrons, les champs magn\u00e9tiques parasites \u00e9mis par les composants ferromagn\u00e9tiques provoquent des erreurs d'alignement dans la colonne du faisceau d'\u00e9lectrons et peuvent alt\u00e9rer l'\u00e9tat magn\u00e9tique des cellules MRAM partiellement fabriqu\u00e9es.<\/p>\n

M\u00e9canisme:<\/strong> Un carter de bo\u00eete de vitesses standard en acier poss\u00e8de une perm\u00e9abilit\u00e9 magn\u00e9tique relative \u03bc\u1d63 de 100 \u00e0 1\u00a0000 (ferromagn\u00e9tique). \u00c0 une distance de 300 mm, m\u00eame le champ magn\u00e9tique ambiant terrestre est perturb\u00e9 par le carter\u00a0; de plus, tout champ parasite provenant des aimants du moteur ou des c\u00e2bles d\u2019alimentation connect\u00e9s au carter g\u00e9n\u00e8re un champ variable dans le temps susceptible de d\u00e9passer l\u2019exigence de stabilit\u00e9 de champ de 10 nT requise par certains syst\u00e8mes de lithographie EUV. Solution:<\/strong> La construction du bo\u00eetier en acier inoxydable aust\u00e9nitique (SS316L, \u03bc\u1d63 \u2248 1,003) ou en aluminium (\u03bc\u1d63 \u2248 1,000006) \u00e9limine tout risque de ferromagn\u00e9tisme. Cette exigence fait l'objet d'une commande sp\u00e9ciale\u00a0; veuillez vous renseigner aupr\u00e8s du service d'ing\u00e9nierie d'application de Korea Ever-Power pour conna\u00eetre les sp\u00e9cificit\u00e9s de votre zone de fabrication et de votre \u00e9quipement.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/section>\n

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Exigences de sp\u00e9cification des bo\u00eetes de vitesses pour les salles blanches ISO 14644<\/h2>\n

Toutes les zones de fabrication de semi-conducteurs ne n\u00e9cessitent pas l'ensemble des sp\u00e9cifications des bo\u00eetes de vitesses pour salles blanches. Les exigences varient selon la classe de salle blanche\u00a0: un couloir de manutention de classe ISO\u00a07 a des exigences fondamentalement diff\u00e9rentes de celles d'une baie de photolithographie de classe ISO\u00a03. Surdimensionner les \u00e9quipements de salle blanche engendre des co\u00fbts suppl\u00e9mentaires sans avantage fonctionnel\u00a0; sous-dimensionner les \u00e9quipements expose \u00e0 des risques de contamination.<\/p>\n

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Classe ISO<\/th>\nLubrifiant<\/th>\nJoint d'arbre<\/th>\nRev\u00eatement du bo\u00eetier<\/th>\nNon magn\u00e9tique<\/th>\nNote de commande Korea Ever-Power<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
ISO 8 (couloir de support)<\/td>\nGraisse standard \u2713<\/td>\nNorme NBR \u2713<\/td>\nPeinture standard \u2713<\/td>\nNon requis<\/td>\nStock standard EP-AB \u2014 aucune commande sp\u00e9ciale n\u00e9cessaire<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 6\u20137 (CMP\/emballage)<\/td>\nPFPE pr\u00e9f\u00e9r\u00e9<\/td>\nFKM ou FFKM<\/td>\n\u00e0 faible teneur en COV ou anodis\u00e9<\/td>\nConfirmer par zone<\/td>\nPr\u00e9cisez \u00ab graisse pour salle blanche + joint FKM \u00bb lors de votre commande.<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 4\u20135 (d\u00e9p\u00f4t\/gravure)<\/td>\n\u00c9quipement de protection individuelle (EPI) requis<\/td>\nFFKM requis<\/td>\nAl anodis\u00e9 requis<\/td>\nSi zone MRAM\/EB : oui<\/td>\nCommande compl\u00e8te de salle blanche\u00a0; d\u00e9lai de livraison\u00a0: 2 \u00e0 3 semaines<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 3 (baie de lithographie EUV)<\/td>\n\u00c9quipement de protection individuelle (EPI) requis<\/td>\nFFKM requis<\/td>\nAcier inoxydable 316L \u00e9lectropoli<\/td>\nRequis<\/td>\nIng\u00e9nierie sur mesure requise \u2014 faites appel \u00e0 l'\u00e9quipe d'application Korea Ever-Power d\u00e8s les premi\u00e8res \u00e9tapes de la conception.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

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Consignes de commande essentielles\u00a0: <\/strong>
\nToutes les options sp\u00e9cifiques aux salles blanches (graisse PFPE, joint FFKM, carter anodis\u00e9, construction non magn\u00e9tique) doivent \u00eatre sp\u00e9cifi\u00e9es lors de la commande. Les r\u00e9ducteurs standard de la s\u00e9rie EP sont livr\u00e9s avec une graisse min\u00e9rale\/PAO standard, des joints NBR et un carter peint. Aucune conversion sur site n'est possible. Si vous recevez un mod\u00e8le standard et que vous constatez par la suite que la zone de fabrication requiert un lubrifiant PFPE, le r\u00e9ducteur doit \u00eatre retourn\u00e9 et remplac\u00e9 par un mod\u00e8le sp\u00e9cifique aux salles blanches. Le d\u00e9lai de livraison pour les options salles blanches est de 2 \u00e0 4 semaines\u00a0; veuillez en tenir compte dans votre calendrier d'approvisionnement.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

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Axe de rotation du manipulateur de plaquettes\u00a0\u2014 Exigences de pr\u00e9cision et s\u00e9lection de la s\u00e9rie<\/h2>\n

Les entra\u00eenements \u00e0 r\u00e9ducteur plan\u00e9taire des manipulateurs de plaquettes de semi-conducteurs exigent une pr\u00e9cision sup\u00e9rieure \u00e0 celle de la plupart des applications servo industrielles. Les manipulateurs de plaquettes robotis\u00e9s \u2013 qui transf\u00e8rent des plaquettes de silicium de 300 mm entre les unit\u00e9s de traitement, les chambres de fabrication et les aligneurs \u2013 utilisent deux axes de rotation\u00a0: un axe de rotation th\u00eata (\u03b8) qui fait pivoter l\u2019ensemble du bras pour l\u2019aligner avec les emplacements cibles, et un axe d\u2019extension qui \u00e9tend et r\u00e9tracte radialement l\u2019effecteur. La pr\u00e9cision de positionnement selon l\u2019axe th\u00eata d\u00e9termine si la plaquette est plac\u00e9e dans la tol\u00e9rance de centrage de l\u2019effecteur\u00a0; l\u2019axe d\u2019extension d\u00e9termine la pr\u00e9cision de positionnement radial.<\/p>\n

\"application<\/p>\n

Exigence de positionnement critique pour l'axe th\u00eata\u00a0: le centre de la plaquette doit se situer \u00e0 \u00b10,5\u00a0mm de la position cible, pour un rayon nominal de 300\u00a0mm (\u00e0 150\u00a0mm du centre de la plaquette). L'erreur angulaire de l'axe th\u00eata doit donc \u00eatre\u00a0:<\/p>\n

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EXIGENCE DE JEU SUR L'AXE THETA \u2014 MANIPULATEUR DE PLAQUETTES<\/p>\n

Exigence : erreur de position \u2264 \u00b10,5 mm \u00e0 un rayon de bras r = 300 mm<\/p>\n

Erreur angulaire \u03b8_max = \u0394x \/ r = 0,5 \/ 300 = 0,00167 rad
\n= 0,00167 \u00d7 (180 \u00d7 60 \/ \u03c0) = 5,7 minutes d'arc maximum<\/span><\/p>\n

Budget de jeu de la bo\u00eete de vitesses (40% d'erreur totale)\u00a0:
\n\u03b8_gearbox \u2264 5,7 \u00d7 0,40 = 2,3 arcmin<\/p>\n

\u2192 N\u00e9cessite un jeu angulaire \u2264 2,3 minutes d'arc \u00e0 l'arbre de sortie
\n\u2192 P1 (\u22643\u2032) est marginal \u2014 peut d\u00e9passer le budget dans le pire des cas
\n\u2192 P0 (\u22641\u2032) offre une marge de 2,3\u00d7 \u2014 sp\u00e9cification correcte
\n\u2192 La norme EP-AFH (\u22641\u2032) \u00e9limine l'\u00e9tape de sp\u00e9cification de la qualit\u00e9<\/p><\/div>\n<\/div>\n

Pour les fabricants cor\u00e9ens de syst\u00e8mes de manipulation de plaquettes, S\u00e9rie ultra-pr\u00e9cise EP-AFH<\/a> La pr\u00e9cision standard recommand\u00e9e pour l'axe th\u00eata est de \u2264 1 minute d'arc. Chaque unit\u00e9 EP-AFH est livr\u00e9e avec une pr\u00e9cision standard de \u2264 1 minute d'arc\u00a0; aucun code de qualit\u00e9 n'est requis et aucune variabilit\u00e9 de mesure n'est constat\u00e9e entre les unit\u00e9s au sein de la m\u00eame plage de qualit\u00e9. Le certificat de livraison confirme la valeur mesur\u00e9e sur chaque unit\u00e9. Pour l'axe d'extension (radial), la pr\u00e9cision requise est moindre (tol\u00e9rance de \u00b1 1 mm \u00e0 l'extr\u00e9mit\u00e9 de l'effecteur) et les valeurs P0 ou P1 sont appropri\u00e9es selon la g\u00e9om\u00e9trie du bras.<\/p>\n

Stabilit\u00e9 de la temp\u00e9rature et d\u00e9rive du positionnement thermique\u00a0: <\/strong>
\nLes salles blanches des usines de fabrication de semi-conducteurs cor\u00e9ennes maintiennent une temp\u00e9rature stable de 20 \u00b0C \u00b10,1 \u00b0C. Ce contr\u00f4le pr\u00e9cis de la temp\u00e9rature est essentiel pour \u00e9viter que la dilatation thermique des \u00e9quipements n'entra\u00eene une d\u00e9rive de positionnement. Dans un environnement thermiquement stable, un r\u00e9ducteur en salle blanche atteint une r\u00e9p\u00e9tabilit\u00e9 de positionnement limit\u00e9e par le jeu et la r\u00e9solution de l'encodeur, et non par la dilatation thermique. La grande stabilit\u00e9 de la temp\u00e9rature en salle blanche est en elle-m\u00eame un atout majeur\u00a0: la d\u00e9rive thermique du r\u00e9ducteur, un probl\u00e8me important dans les applications industrielles classiques, est pratiquement nulle dans un environnement de salle blanche correctement contr\u00f4l\u00e9.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

AGV de transport FOUP \u2014 Sp\u00e9cifications des roues motrices pour les op\u00e9rations en salle blanche<\/h2>\n

Dans les usines de semi-conducteurs cor\u00e9ennes, le transport des modules FOUP (Front Opening Unified Pod) s'effectue principalement par des syst\u00e8mes de levage a\u00e9riens (OHT) sur rails de plafond, pour le d\u00e9placement des modules entre l'usine et les baies de production. Dans les zones \u00e0 faible trafic, des AGV (v\u00e9hicules \u00e0 guidage automatique) au niveau du sol assurent le transfert des modules entre les baies et les \u00e9quipements. Les r\u00e9ducteurs des roues motrices des AGV fonctionnent dans la m\u00eame salle blanche que les \u00e9quipements de production.<\/p>\n

Les exigences relatives aux bo\u00eetes de vitesses des AGV de transport FOUP combinent les sp\u00e9cifications de salle blanche des modules 2 et 3 avec les exigences sp\u00e9cifiques aux AGV de l'article 12\u00a0: synchronisation de la vitesse d'entra\u00eenement diff\u00e9rentiel (paire appari\u00e9e, certificat de variation de rapport \u2264\u00a00,01%), faible bruit de fonctionnement (les vibrations acoustiques susceptibles de perturber l'alignement de la lithographie \u00e0 proximit\u00e9 dans les baies adjacentes doivent \u00eatre inf\u00e9rieures \u00e0 55\u00a0dB(A) \u00e0 la limite de la baie) et construction \u00e9tanche sans entretien.<\/p>\n

Le S\u00e9rie hypoide EP-KF\/KH<\/a> Ce syst\u00e8me est adapt\u00e9 aux roues motrices des AGV des usines cor\u00e9ennes\u00a0: la temp\u00e9rature y est maintenue \u00e0 20\u00a0\u00b0C, bien au-dessus de la temp\u00e9rature minimale de fonctionnement de 0\u00a0\u00b0C requise par KF\/KH. La g\u00e9om\u00e9trie de contact de l\u2019engrenage hypo\u00efde g\u00e9n\u00e8re un niveau sonore inf\u00e9rieur d\u2019environ 6 \u00e0 8\u00a0dB(A) \u00e0 celui d\u2019un engrenage plan\u00e9taire standard \u00e0 couple \u00e9quivalent, ce qui est significatif dans un environnement d\u2019usine aussi sensible au bruit. Pour les AGV de transport FOUP, il est recommand\u00e9 de sp\u00e9cifier l\u2019option de lubrification pour salle blanche (PFPE) et les joints d\u2019arbre en FFKM, ainsi que le certificat de synchronisation de vitesse par paire appari\u00e9e.<\/p>\n

\"R\u00e9ducteur<\/p>\n

\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Entra\u00eenement d'\u00e9quipement semi-conducteur<\/th>\nRecul requis.<\/th>\nSp\u00e9cifications de salle blanche<\/th>\nS\u00e9rie Korea Ever-Power<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Axe \u03b8 du gestionnaire de plaquettes (ISO 4\u20135)<\/td>\n\u22641 arcmin<\/td>\nPFPE + FFKM + anodis\u00e9<\/td>\nEP-AFH<\/a> + sp\u00e9cifications de salle blanche<\/td>\n<\/tr>\n
Axe d'extension du manipulateur de plaquettes (ISO 4\u20135)<\/td>\n\u22643 minutes d'arc<\/td>\nPFPE + FFKM<\/td>\nEP-AB P0\/P1<\/a> + sp\u00e9cifications de salle blanche<\/td>\n<\/tr>\n
Roue motrice AGV FOUP (ISO 6\u20137)<\/td>\nCorrespondance du ratio \u2264 0,01%<\/td>\nJoint PFPE + FKM<\/td>\npaire appari\u00e9e EP-KF<\/a> + sp\u00e9cifications de salle blanche<\/td>\n<\/tr>\n
Rotation de la t\u00eate CMP (ISO 6)<\/td>\n\u22641 arcmin<\/td>\nPFPE + FFKM + anodis\u00e9<\/td>\nSp\u00e9cifications EP-AFH + salle blanche<\/td>\n<\/tr>\n
\u00c9tape d'alignement du port de charge (ISO 5)<\/td>\n\u22641 arcmin<\/td>\nPFPE + FFKM + anodis\u00e9<\/td>\nEP-ABR P0<\/a> ou EP-AFH + sp\u00e9cifications salle blanche<\/td>\n<\/tr>\n
Lecteurs de support\/utilitaires de fabrication (ISO 8)<\/td>\nP2 ad\u00e9quat<\/td>\nStock standard<\/td>\nNorme EP-AB P2 \u2014 aucune commande sp\u00e9ciale<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Sp\u00e9cifications de fabrication MRAM et de lithographie EUV pour la construction non magn\u00e9tique<\/h2>\n

La fabrication des m\u00e9moires MRAM (m\u00e9moire vive magn\u00e9tique) et STT-RAM (m\u00e9moire vive \u00e0 transfert de spin), une technologie de pointe \u00e9mergente d\u00e9velopp\u00e9e par Samsung et SK Hynix, exige un contr\u00f4le pr\u00e9cis de l'environnement magn\u00e9tique tout au long des \u00e9tapes de d\u00e9p\u00f4t qui d\u00e9finissent l'empilement des couches de la jonction tunnel magn\u00e9tique (MTJ). La coercivit\u00e9 de ces couches se situe entre 5 et 50 oersteds\u00a0; un champ magn\u00e9tique parasite, m\u00eame de 1 oersted, provenant d'\u00e9quipements situ\u00e9s \u00e0 proximit\u00e9 pendant l'\u00e9tape de d\u00e9p\u00f4t, peut alt\u00e9rer l'orientation du moment magn\u00e9tique dans la couche MTJ.<\/p>\n

\"Dessin<\/p>\n

Les syst\u00e8mes de lithographie EUV (ultraviolet extr\u00eame) d\u00e9ploy\u00e9s dans les usines Samsung de Hwaseong et Pyeongtaek depuis 2019 utilisent des colonnes \u00e9lectro-optiques sensibles aux champs magn\u00e9tiques parasites de l'ordre du sub-nanotesla. Un r\u00e9ducteur en acier standard, situ\u00e9 \u00e0 500 mm de l'axe \u00e9lectro-optique, g\u00e9n\u00e8re un champ parasite d'environ 100 \u00e0 500 nT, soit deux \u00e0 quatre ordres de grandeur sup\u00e9rieurs \u00e0 la limite de stabilit\u00e9 du syst\u00e8me.<\/p>\n

\n
Comparaison de la perm\u00e9abilit\u00e9 magn\u00e9tique \u2014 mat\u00e9riaux de carter de bo\u00eete de vitesses<\/div>\n
\n
\n
Acier au carbone standard (ferromagn\u00e9tique)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 100\u20131\u00a0000 \u2014 NE CONVIENT PAS aux zones sensibles au magn\u00e9tisme<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Acier alli\u00e9 (acier \u00e0 roulement)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 50\u2013200 \u2014 NE CONVIENT PAS aux zones sensibles au magn\u00e9tisme<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Acier inoxydable aust\u00e9nitique SS316L (acier inoxydable non magn\u00e9tique)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 1,003 \u2014 acceptable pour la plupart des zones de fabrication<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Aluminium 6061-T6<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 1,000006 \u2014 signature magn\u00e9tique n\u00e9gligeable<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

Perm\u00e9abilit\u00e9 magn\u00e9tique relative \u03bc\u1d63. Plus sa valeur est faible, plus la signature magn\u00e9tique est faible. \u00c0 distance \u00e9gale, les r\u00e9ducteurs en acier standard produisent des champs parasites environ 1\u00a0000 fois sup\u00e9rieurs \u00e0 ceux des r\u00e9ducteurs \u00e9quivalents en aluminium.<\/p>\n<\/div>\n

Pour les fournisseurs d'\u00e9quipements cor\u00e9ens travaillant dans les domaines MRAM et EUV, y compris ceux qui con\u00e7oivent des syst\u00e8mes de traitement compacts avec S\u00e9rie compacte EP-ADS<\/a>Les r\u00e9ducteurs de la s\u00e9rie EP d'Ever-Power (Cor\u00e9e) peuvent \u00eatre command\u00e9s avec un carter en aluminium, tant pour le carter que pour les porte-satellites. Il est important de noter que les engrenages internes (satellites, couronne, plan\u00e9taire) restent en acier\u00a0; ce choix est indispensable pour la fabrication d'engrenages de pr\u00e9cision. Ces engrenages en acier g\u00e9n\u00e8rent une signature magn\u00e9tique bien plus faible que le carter, car ils tournent \u00e0 grande vitesse (r\u00e9duisant ainsi la contribution au champ statique net) et sont efficacement prot\u00e9g\u00e9s par le carter ext\u00e9rieur. Une construction enti\u00e8rement amagn\u00e9tique (avec des engrenages en c\u00e9ramique ou en titane) n\u00e9cessite une ing\u00e9nierie sur mesure, au-del\u00e0 des produits standard propos\u00e9s par les fabricants.<\/p>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Cha\u00eene d'approvisionnement de Samsung et SK Hynix \u2014 Exigences documentaires pour la qualification des \u00e9quipements<\/h2>\n

Les fournisseurs cor\u00e9ens d'\u00e9quipements pour semi-conducteurs qui soumissionnent aupr\u00e8s de Samsung (Pyeongtaek, Hwaseong, Giheung) et de SK Hynix (Cheongju, Icheon) doivent qualifier leurs \u00e9quipements au terme d'un processus d'acceptation des fournisseurs en plusieurs \u00e9tapes. La documentation relative aux composants d'entra\u00eenement, notamment les r\u00e9ducteurs, est g\u00e9n\u00e9ralement exig\u00e9e lors de la qualification d'installation (QI). Le dossier documentaire requis varie selon la classe de salle blanche de la zone de traitement et le type d'\u00e9quipement, mais un dossier standard pour les composants d'entra\u00eenement de pr\u00e9cision en zones ISO 4 et 5 comprend les \u00e9l\u00e9ments suivants.<\/p>\n

\n
\n
\u2460 Certification des mat\u00e9riaux pour salles blanches<\/div>\n

D\u00e9claration \u00e9crite du fabricant attestant que tous les mat\u00e9riaux (bo\u00eetier, joints, lubrifiant) sont conformes aux sp\u00e9cifications de l'usine. Pour le lubrifiant PFPE\u00a0: indiquer la qualit\u00e9 du PFPE et le nom du fournisseur. Pour les joints FFKM\u00a0: confirmer la sp\u00e9cification du polym\u00e8re fluorocarbon\u00e9. Korea Ever-Power fournit cette d\u00e9claration \u00e9crite en cor\u00e9en.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2461 Donn\u00e9es du test de d\u00e9gazage<\/div>\n

R\u00e9sultats des tests de d\u00e9gazage ASTM E1603 ou \u00e9quivalent pour le lubrifiant et les mat\u00e9riaux d'\u00e9tanch\u00e9it\u00e9 \u00e0 20\u201325 \u00b0C. Indique la perte de masse totale (TML) et la quantit\u00e9 de compos\u00e9s volatils condensables recueillis (CVCM). Pour la graisse PFPE, ces valeurs sont g\u00e9n\u00e9ralement inf\u00e9rieures \u00e0 0,011 TP3T pour la TML et \u00e0 0,0011 TP3T pour la CVCM, largement inf\u00e9rieures aux limites standard de fabrication.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2462 Certificat de mesure du jeu<\/div>\n

Valeur de jeu mesur\u00e9e sp\u00e9cifique \u00e0 l'unit\u00e9 (et non une simple d\u00e9claration de conformit\u00e9). Korea Ever-Power fournit cette valeur pour toutes les unit\u00e9s EP-AFH et pour les unit\u00e9s EP-AB\/AF de qualit\u00e9 P0 et P1. Elle est requise pour la documentation IQ des axes d'entra\u00eenement critiques en mati\u00e8re de positionnement.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2463 D\u00e9claration de conformit\u00e9 RoHS et REACH<\/div>\n

Confirmation \u00e9crite attestant que la bo\u00eete de vitesses ne contient aucune substance interdite selon les listes SVHC des directives europ\u00e9ennes RoHS 2 (refonte de la directive 2011\/65\/UE) et REACH (r\u00e8glement CE 1907\/2006). Ce document est requis pour les \u00e9quipements vendus aux op\u00e9rateurs multinationaux de salles blanches. Korea Ever-Power le fournit syst\u00e9matiquement avec les commandes de salles blanches.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2464 Dessin dimensionnel (PDF, cor\u00e9en + anglais)<\/div>\n

Plan cot\u00e9 complet avec tol\u00e9rances pour la qualification d'installation. Requis pour la documentation du protocole IQ\/OQ. Korea Ever-Power le fournit sous 3 jours ouvr\u00e9s apr\u00e8s la commande pour tout mod\u00e8le de la s\u00e9rie EP.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2465 Certificat de taux de paires appari\u00e9es (AGV uniquement)<\/div>\n

Pour les AGV FOUP \u00e0 entra\u00eenement diff\u00e9rentiel\u00a0: certificat de variation de rapport pour les deux r\u00e9ducteurs de roues motrices, confirmant une diff\u00e9rence de rapport \u2264\u00a00,01% entre les deux. Korea Ever-Power propose cette option de s\u00e9rie pour les commandes d\u2019AGV appari\u00e9s.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n

Calendrier d'approvisionnement pour les projets d'\u00e9quipements de fabrication cor\u00e9ens\u00a0: <\/strong>
\nLes cycles de qualification des \u00e9quipements Samsung et SK Hynix durent g\u00e9n\u00e9ralement de 6 \u00e0 12 mois, de la finalisation de la conception \u00e0 la r\u00e9ception en salle blanche. Le dossier de documentation du r\u00e9ducteur est requis lors de la phase de qualification initiale (QI), g\u00e9n\u00e9ralement 4 \u00e0 6 mois apr\u00e8s le d\u00e9but du cycle. Pour les r\u00e9ducteurs destin\u00e9s aux salles blanches (PFPE + FFKM, d\u00e9lai de livraison de 2 \u00e0 4 semaines), la commande doit \u00eatre pass\u00e9e au plus tard 10 semaines avant la date limite de d\u00e9p\u00f4t de la documentation QI. Veuillez contacter Korea Ever-Power d\u00e8s la phase de conception (et non lors de la phase d'approvisionnement) afin de confirmer la disponibilit\u00e9 des documents et les d\u00e9lais de livraison pour votre zone de production et votre classe de salle blanche.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Calcul du budget de d\u00e9gazage \u2014 Comment d\u00e9terminer si une graisse standard ou une graisse PFPE est n\u00e9cessaire<\/h2>\n

Le choix entre une graisse \u00e9tanche standard et un lubrifiant pour salle blanche en PFPE d\u00e9pend de la charge de d\u00e9gazage g\u00e9n\u00e9r\u00e9e par le r\u00e9ducteur dans l'air de la salle blanche et de sa proximit\u00e9 avec les surfaces expos\u00e9es des plaquettes. La m\u00e9thode de calcul suivante permet aux fournisseurs d'\u00e9quipements cor\u00e9ens de prendre cette d\u00e9cision de mani\u00e8re quantitative plut\u00f4t que par une valeur par d\u00e9faut prudente susceptible d'engendrer des co\u00fbts inutiles.<\/p>\n

\n

BUDGET DE CONTAMINATION PAR D\u00c9GAZAGE \u2014 MOD\u00c8LE SIMPLIFI\u00c9<\/p>\n

Taux de d\u00e9p\u00f4t sur la plaquette D (ng\/cm\u00b2\/h) \u00e0 partir d'une seule bo\u00eete de vitesses\u00a0:<\/p>\n

D \u2248 P_vap \u00d7 M_graase \u00d7 k_geom \/ (R \u00d7 T)<\/p>\n

o\u00f9:
\nP_vap = pression de vapeur de l'huile de base lubrifiante \u00e0 20\u00b0C (Pa)
\nM_graisse = surface de graisse expos\u00e9e (cm\u00b2)
\nk_geom = facteur g\u00e9om\u00e9trique (d\u00e9pend de la distance et de l'angle, ~10\u207b\u2075 \u00e0 10\u207b\u00b3)
\nR, T = constante des gaz parfaits, temp\u00e9rature<\/p>\n

Huile min\u00e9rale PAO (standard) : P_vap \u2248 10\u207b\u00b3 Pa
\n\u2192 D \u2248 0,05\u20130,5 ng\/cm\u00b2\/h \u00e0 300 mm de distance
\n\u2192 Sur 24 h\u00a0: accumulation de 1,2 \u00e0 12 ng\/cm\u00b2 sur la plaquette \u2190 NON CONFORME \u00c0 LA NORME ISO 5<\/p>\n

PFPE (qualit\u00e9 salle blanche) : P_vap \u2248 10\u207b\u00b9\u2070 Pa
\n\u2192 D < 10\u207b\u2077 ng\/cm\u00b2\/h \u2014 7 ordres de grandeur inf\u00e9rieurs
\n\u2192 Non mesurable par les m\u00e9thodes analytiques standard \u2713<\/p><\/div>\n<\/div>\n

Le calcul d\u00e9montre pourquoi l'utilisation de graisse PFPE est obligatoire et non simplement recommand\u00e9e pour toute bo\u00eete de vitesses situ\u00e9e \u00e0 proximit\u00e9 de plaquettes expos\u00e9es\u00a0: la pression de vapeur d'une graisse standard est sept ordres de grandeur sup\u00e9rieure \u00e0 celle de la PFPE. Aucun facteur g\u00e9om\u00e9trique ni aucune disposition des distances ne peut compenser cette diff\u00e9rence fondamentale. Pour toute bo\u00eete de vitesses situ\u00e9e dans les zones ISO 3 \u00e0 6 o\u00f9 des plaquettes peuvent \u00eatre expos\u00e9es \u00e0 l'atmosph\u00e8re, l'utilisation de graisse PFPE est une exigence absolue, et non une option.<\/p>\n

\"d\u00e9tails<\/p>\n

O\u00f9 la graisse standard est acceptable dans une installation de semi-conducteurs\u00a0: <\/strong>
\nLes r\u00e9ducteurs install\u00e9s dans les zones de classe ISO 8 ou inf\u00e9rieure (couloirs de support, locaux techniques, sous-sols d'\u00e9quipements) o\u00f9 les plaquettes ne sont jamais pr\u00e9sentes ne n\u00e9cessitent pas de lubrifiant PFPE. Les s\u00e9ries EP-AB ou EP-BPG standard avec graisse standard constituent la sp\u00e9cification appropri\u00e9e et la plus \u00e9conomique pour ces zones. Le surco\u00fbt li\u00e9 au PFPE (g\u00e9n\u00e9ralement de 30 \u00e0 50%) n'est justifi\u00e9 que si le r\u00e9ducteur se trouve dans une zone o\u00f9 un contact avec des plaquettes est possible. Appliquer les sp\u00e9cifications salle blanche \u00e0 tous les r\u00e9ducteurs d'une usine, quelle que soit la zone, augmente inutilement le co\u00fbt de la nomenclature sans apporter de b\u00e9n\u00e9fice fonctionnel.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Questions fr\u00e9quentes \u2014 R\u00e9ducteurs plan\u00e9taires dans les \u00e9quipements semi-conducteurs cor\u00e9ens<\/h2>\n
\n
\n

Q<\/span>
\nNotre client cor\u00e9en (un fabricant d'\u00e9quipements industriels fournissant Samsung) exige une bo\u00eete de vitesses \u00ab sans particules \u00bb. Qu'est-ce que cela signifie concr\u00e8tement\u00a0?<\/h3>\n

Dans le jargon des achats des usines cor\u00e9ennes, l'expression \u00ab sans particules \u00bb signifie g\u00e9n\u00e9ralement que le r\u00e9ducteur ne doit pas lib\u00e9rer de particules d'une taille et d'un taux sp\u00e9cifi\u00e9s dans l'atmosph\u00e8re de la salle blanche, et non qu'il n'en g\u00e9n\u00e8re absolument aucune. Concr\u00e8tement, cette sp\u00e9cification est g\u00e9n\u00e9ralement exprim\u00e9e en taux maximal de g\u00e9n\u00e9ration de particules \u00e0 une distance et dans des conditions de flux d'air donn\u00e9es, ou par une d\u00e9claration de compatibilit\u00e9 des mat\u00e9riaux stipulant que le carter et les joints ne lib\u00e9reront pas de particules sup\u00e9rieures \u00e0 0,1 \u00b5m \u00e0 un taux d\u00e9passant le seuil de concentration de particules autoris\u00e9 dans la salle blanche pour cette installation. Korea Ever-Power r\u00e9pond \u00e0 cette exigence gr\u00e2ce \u00e0\u00a0: (1) un lubrifiant PFPE \u00e0 construction \u00e9tanche qui emp\u00eache la migration des particules de graisse, (2) des joints d'arbre en FFKM assurant une \u00e9tanch\u00e9it\u00e9 parfaite sur toute la plage de temp\u00e9ratures de fonctionnement, et (3) un carter en aluminium anodis\u00e9 qui ne lib\u00e8re pas de particules de peinture. Un test complet de g\u00e9n\u00e9ration de particules au niveau du syst\u00e8me (r\u00e9ducteur install\u00e9 dans l'\u00e9quipement, fonctionnant en salle blanche) est g\u00e9n\u00e9ralement r\u00e9alis\u00e9 par le constructeur cor\u00e9en de l'\u00e9quipement, et non par le fournisseur du r\u00e9ducteur.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nNous concevons un syst\u00e8me d'entra\u00eenement pour la rotation de la t\u00eate de polissage chimico-m\u00e9canique (CMP) d'une usine de fabrication de plaquettes cor\u00e9enne. Quelle est la configuration sp\u00e9cifique du r\u00e9ducteur\u00a0?<\/h3>\n

Un syst\u00e8me d'entra\u00eenement pour la rotation de la t\u00eate de polissage CMP positionne cette derni\u00e8re au-dessus du plateau et la fait tourner pendant le polissage. Ce syst\u00e8me doit pr\u00e9senter les caract\u00e9ristiques suivantes\u00a0: vitesse mod\u00e9r\u00e9e (30 \u00e0 150\u00a0tr\/min), couple mod\u00e9r\u00e9 (50 \u00e0 300\u00a0N\u00b7m selon la taille de la t\u00eate et le type de suspension abrasive), pr\u00e9cision de positionnement \u2264\u00a01\u00a0minute d'arc pour l'indexation de la t\u00eate et compatibilit\u00e9 avec les salles blanches (la t\u00eate op\u00e9rant au-dessus des surfaces expos\u00e9es des plaquettes pendant le polissage). La s\u00e9rie EP-AFH est la r\u00e9f\u00e9rence\u00a0: pr\u00e9cision standard \u2264\u00a01\u00a0minute d'arc, construction compacte et \u00e9tanche, disponible avec graisse PFPE et joints FFKM pour les salles blanches de classe ISO\u00a05 \u00e0\u00a06. Concernant l'axe de rotation, la s\u00e9rie EP-AFH en ligne est pr\u00e9f\u00e9rable aux configurations \u00e0 angle droit, car sa longueur axiale r\u00e9duite diminue le bras de levier exerc\u00e9 par le poids de la t\u00eate sur le palier de sortie du r\u00e9ducteur.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nNotre bo\u00eete de vitesses actuelle utilise une graisse scell\u00e9e standard et est fabriqu\u00e9e en Cor\u00e9e depuis 18 mois sans incident de contamination constat\u00e9. Devons-nous passer \u00e0 une graisse PFPE\u00a0?<\/h3>\n

L'absence de d\u00e9tection d'un \u00e9v\u00e9nement de contamination ne confirme pas l'absence de contamination. La contamination chimique des salles blanches due au d\u00e9gazage des bo\u00eetes de vitesses est g\u00e9n\u00e9ralement d\u00e9tect\u00e9e plusieurs mois apr\u00e8s l'\u00e9v\u00e9nement contaminant, par le biais d'analyses de rendement, et non en temps r\u00e9el. Une usine atteignant un rendement de photolithographie de 95% peut subir une perte de rendement de 2 \u00e0 3% due \u00e0 une contamination organique de surface, sans qu'une source sp\u00e9cifique soit identifi\u00e9e. Si votre bo\u00eete de vitesses se trouve dans une zone de classe ISO 5 ou sup\u00e9rieure, \u00e0 1 ou 2 m\u00e8tres des surfaces de plaquettes expos\u00e9es, le calcul du d\u00e9gazage du module 8 s'applique\u00a0: le taux de d\u00e9p\u00f4t de la graisse min\u00e9rale standard est mesurable et sup\u00e9rieur aux limites des salles blanches. La tra\u00e7abilit\u00e9 de ce taux de d\u00e9p\u00f4t dans votre installation d\u00e9pend du syst\u00e8me de suivi du rendement de l'usine. Korea Ever-Power recommande fortement l'utilisation d'un lubrifiant PFPE pour toute bo\u00eete de vitesses situ\u00e9e dans une zone de classe ISO 5 ou sup\u00e9rieure \u00e0 proximit\u00e9 de plaquettes expos\u00e9es, qu'un \u00e9v\u00e9nement de contamination ait \u00e9t\u00e9 formellement identifi\u00e9 ou non.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nPour les \u00e9quipements d'automatisation agricole cor\u00e9ens qui partagent une installation avec une zone de support de semi-conducteurs, les sp\u00e9cifications des bo\u00eetes de vitesses pour salles blanches s'appliquent-elles\u00a0?<\/h3>\n

Non \u2014 les \u00e9quipements d'automatisation agricole et l'automatisation des installations de semi-conducteurs constituent des cat\u00e9gories d'application totalement distinctes. Les installations de transformation agricole cor\u00e9ennes (c\u00e9r\u00e9ales, l\u00e9gumes, produits alimentaires) ne sont pas soumises aux exigences de la norme ISO 14644 pour les salles blanches. Les sp\u00e9cifications des r\u00e9ducteurs pour l'automatisation agricole cor\u00e9enne suivent les exigences d'hygi\u00e8ne alimentaire d\u00e9crites \u00e0 l'article 9 (IP67, conformit\u00e9 KFDA, graisse \u00e9tanche) et non les sp\u00e9cifications des salles blanches pour semi-conducteurs. Si une installation cor\u00e9enne combine transformation agricole et conditionnement de semi-conducteurs (par exemple, un fournisseur de films sp\u00e9ciaux ou d'emballages pour une usine de semi-conducteurs), les sp\u00e9cifications appropri\u00e9es pour chaque zone correspondent aux exigences r\u00e9elles de cette zone\u00a0: les zones de transformation agricole utilisent des r\u00e9ducteurs de qualit\u00e9 alimentaire, et si une zone de l'installation est d\u00e9sign\u00e9e comme salle blanche pour semi-conducteurs, les r\u00e9ducteurs de cette zone sont conformes aux exigences de la norme ISO 14644. Pour la distribution d'\u00e9nergie multi-sorties vers les t\u00eates de transformation agricole, r\u00e9ducteurs \u00e0 engrenages coniques agricoles<\/a> La distribution de la sortie plan\u00e9taire EP vers les t\u00eates de traitement individuelles est appropri\u00e9e dans les zones non-salles blanches de ces installations.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/section>\n

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\n

Sp\u00e9cifiez vos r\u00e9ducteurs pour \u00e9quipements semi-conducteurs avec Korea Ever-Power<\/h2>\n

Korea Ever-Power fournit des r\u00e9ducteurs de la s\u00e9rie EP, conformes aux sp\u00e9cifications des salles blanches, avec lubrifiant PFPE, joints FFKM, carter anodis\u00e9 et documentation compl\u00e8te Samsung\/SK Hynix IQ (en cor\u00e9en), sous un d\u00e9lai de livraison de 2 \u00e0 4 semaines. Pour un r\u00e9sultat optimal, il est recommand\u00e9 de faire appel \u00e0 nos services d\u00e8s la phase de conception.<\/p>\n

EP-AFH ultra-pr\u00e9cision (manipulateur de plaquettes) \u2192
\n<\/a>
\nEP-KF\/KH Faible bruit (Fab AGV) \u2192
\n<\/a><\/div>\n<\/section>\n<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Guide d'application des semi-conducteurs \u00b7 ISO 14644 \u00b7 D\u00e9gazage \u00b7 Non magn\u00e9tique \u00b7 R\u00e9ducteur plan\u00e9taire Samsung \/ SK Hynix pour \u00e9quipements semi-conducteurs \u2014 Conception pour salles blanches, manipulation de plaquettes et faible d\u00e9gazage. Le choix d'un r\u00e9ducteur plan\u00e9taire pour \u00e9quipements semi-conducteurs commence toujours par une question \u00e0 laquelle les catalogues standards ne peuvent r\u00e9pondre. Un r\u00e9ducteur plan\u00e9taire industriel standard fonctionnant parfaitement pendant dix ans [\u2026]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_et_pb_use_builder":"","_et_pb_old_content":"","_et_gb_content_width":"","footnotes":""},"categories":[965],"tags":[],"class_list":["post-707","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-application-and-technical-guid"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=707"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":708,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707\/revisions\/708"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=707"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=707"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=707"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}