{"id":707,"date":"2026-06-01T05:34:46","date_gmt":"2026-06-01T05:34:46","guid":{"rendered":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/?p=707"},"modified":"2026-06-01T05:34:46","modified_gmt":"2026-06-01T05:34:46","slug":"planetary-gearbox-semiconductor-wafer-handling-cleanroom","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/planetary-gearbox-semiconductor-wafer-handling-cleanroom\/","title":{"rendered":"Planetaire tandwielkast voor halfgeleiderapparatuur \u2014 Cleanroom en waferverwerking"},"content":{"rendered":"
\n

<\/p>\n

\"planetaire<\/p>\n
\n
Handleiding voor halfgeleidertoepassingen \u00b7 ISO 14644 \u00b7 Ontgassing \u00b7 Niet-magnetisch \u00b7 Samsung \/ SK Hynix<\/div>\n

Planetaire tandwielkast voor halfgeleiderapparatuur \u2014
\nCleanroom-, waferverwerkings- en low-outgassing-ontwerp<\/h1>\n

Elke beslissing over de selectie van een planetaire tandwielkast voor halfgeleiderapparatuur begint met \u00e9\u00e9n vraag die standaardcatalogi niet kunnen beantwoorden. Een standaard industri\u00eble planetaire tandwielkast die tien jaar lang feilloos functioneert op een Koreaanse verpakkingslijn, zal binnen enkele weken een cleanroom in een waferfabriek vervuilen \u2013 niet omdat de precisie onvoldoende is, maar omdat het smeermiddel bij 20 \u00b0C vluchtige organische stoffen (VOC's) afgeeft die zich afzetten op de oppervlakken van 300 mm siliciumwafers, de stalen behuizing ferromagnetische deeltjes loslaat die tijdens transport magnetiseren, en de standaard coating van de behuizing microdeeltjes vrijgeeft die de concentratielimieten van ISO Klasse 5 overschrijden. Deze gids behandelt elke specificatie die de verschillende planetaire tandwielkasten van elkaar onderscheidt. cleanroom-compatibele tandwielkasten<\/strong> afkomstig van standaard industri\u00eble eenheden.<\/p>\n

Bekijk de EP-AFHK Ultra-Precision-serie \u2192
\n<\/a><\/p>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Koreaanse halfgeleiderproductie \u2014 Waarom de specificaties van versnellingsbakken zo veeleisend zijn<\/h2>\n

Korea beschikt over de hoogste productiecapaciteit voor halfgeleiders ter wereld. De fabriek van Samsung in Pyeongtaek (fasen P3 en P4) en de M15X-faciliteit van SK Hynix in Cheongju produceren samen het grootste deel van 's werelds DRAM- en NAND-flashgeheugen. Deze faciliteiten verwerken siliciumwafers van 300 mm door middel van 400 tot 600 stappen, zoals fotolithografie, depositie, etsen en CMP, in cleanrooms die voldoen aan ISO-klasse 3-5 (10-100 deeltjes \u22650,1 \u03bcm per kubieke meter lucht).<\/p>\n

De tandwielkasten die in deze omgeving worden gebruikt \u2013 in FOUP-transport-AGV's, rotatieassen van waferhandlers, uitlijningssystemen voor laadpoorten, reticle-systemen voor fotolithografie en aandrijvingen voor de rotatie van CMP-koppen \u2013 worden blootgesteld aan dezelfde cleanroomspecificaties als alle andere componenten. Een tandwielkast die deeltjes vrijgeeft, chemicali\u00ebn uitstoot of magnetische velden genereert die de uitlijningssystemen kunnen verstoren, is geen tandwielkast van \"lagere kwaliteit\" \u2013 het is simpelweg een tandwielkast die is ontworpen voor een andere omgeving en in de verkeerde omgeving is geplaatst.<\/p>\n

\"Planar<\/p>\n

Inzicht in de cleanroomspecificaties voor planetaire tandwielkasten in de halfgeleiderindustrie stelt Koreaanse leveranciers van apparatuur aan de halfgeleiderindustrie in staat om vanaf het begin de juiste tandwielkastconfiguratie te specificeren. Dit voorkomt dat incompatibiliteiten worden ontdekt tijdens klantacceptatietests, wat het meest kostbare moment is om een \u200b\u200bfout in de componentspecificatie te corrigeren.<\/p>\n

<\/p>\n

\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Koreaanse Fab Zone<\/th>\nISO-klasse<\/th>\nMaximaal aantal deeltjes \u22650,1 \u03bcm per m\u00b3<\/th>\nTemperatuur \/ Luchtvochtigheid<\/th>\nVersnellingsbakgebruik<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Fotolithografie-ruimte<\/td>\nISO 3<\/td>\n10<\/td>\n20\u00b0C \u00b10,1\u00b0C \/ 40% RH<\/td>\nReticle-stage, waferlader \u2014 meest veeleisende<\/td>\n<\/tr>\n
Afzettings-\/etsruimtes<\/td>\nISO 4\u20135<\/td>\n100\u20131.000<\/td>\n20\u201322 \u00b0C \/ 40\u201350 TP3T RH<\/td>\nApparatuurbehandelaars, transport over de kop<\/td>\n<\/tr>\n
CMP \/ verpakkingsruimtes<\/td>\nISO 6\u20137<\/td>\n10.000\u2013100.000<\/td>\n20\u201323 \u00b0C \/ 40\u201360 TP3T RH<\/td>\nFOUP-transport, materiaalbehandeling AGV<\/td>\n<\/tr>\n
Fantastische ondersteuningscorridor<\/td>\nISO 8<\/td>\n3,520,000<\/td>\nOmgevingstemperatuur \u00b12\u00b0C<\/td>\nStandaard EP-AB is acceptabel in deze zone.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

ISO 14644-1:2015 reinheidsclassificaties. Koreaanse halfgeleiderfabriekszones volgens de specificaties van Samsung\/SK Hynix-apparatuur. Alle fabrieksgebieden handhaven het hele jaar door een temperatuur van ongeveer 20-22 \u00b0C \u2014 de minimale temperatuur van 0 \u00b0C van de EP-KF\/KH hypoidserie is geen probleem voor welke binneninstallatie in een halfgeleiderfabriek dan ook.<\/p>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Vier manieren waarop een standaard versnellingsbak een halfgeleiderfabriek vervuilt<\/h2>\n

De incompatibiliteit van standaard tandwielkasten met cleanroom-omstandigheden ontstaat door vier onafhankelijke mechanismen. Elk mechanisme moet afzonderlijk worden aangepakt; het elimineren van \u00e9\u00e9n mechanisme lost de problemen met de andere niet op.<\/p>\n

\n
\n
\n
1<\/div>\n
\n
Ontgassing van smeermiddelen \u2014 de onzichtbare verontreiniging<\/div>\n

Standaard afgedichte smeermiddelen gebruiken minerale olie of PAO (polyalfaolefine) basisoli\u00ebn met amine- of calciumhoudende verdikkingsmiddelen. Bij kamertemperatuur in een cleanroom komen uit deze verbindingen vluchtige organische stoffen (VOC's) vrij door dampdruk \u2013 een proces dat ontgassing wordt genoemd. De vrijgekomen VOC's zijn onzichtbaar op moleculair niveau, maar ze slaan neer op nabijgelegen oppervlakken, waaronder siliciumwafels en retikelglas.<\/p>\n

Mechanisme:<\/strong> Bij 20 \u00b0C kan een standaard minerale olie een dampdruk hebben van 10\u207b\u2074 tot 10\u207b\u00b3 Pa. De afzettingssnelheid op nabijgelegen oppervlakken bedraagt \u200b\u200bongeveer 0,1\u20131 ng\/cm\u00b2\/uur. Op een wafer van 300 mm, geplaatst op 500 mm afstand van een vervuilende tandwielkast, wordt gedurende een continue bedrijfsperiode van 24 uur een organische film afgezet die de bevochtigbaarheid en hechtingseigenschappen van de fotolak verandert, waardoor defecten ontstaan \u200b\u200bin de daaropvolgende lithografiestappen.<\/p>\n

Oplossing:<\/strong> PFPE (perfluorpolyether) vet. Dampdruk bij 20 \u00b0C: <10\u207b\u00b9\u2070 Pa \u2014 zeven of meer ordes van grootte lager dan minerale olie. PFPE-vet is chemisch inert, reageert niet met procesgassen en produceert geen meetbare organische afzetting op nabijgelegen oppervlakken. Korea Ever-Power EP-serie tandwielkasten met cleanroom-kwaliteit PFPE-vet zijn op speciale bestelling verkrijgbaar \u2014 geef bij uw bestelling aan dat het om een \u200b\u200b"halfgeleider cleanroom PFPE-smeermiddel" gaat.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

\n
\n
2<\/div>\n
\n
Deeltjesvorming door slijtage van tandwieloverbrengingen<\/div>\n

Elke planetaire tandwielkast genereert submicron metaalslijtagepartikels in het contactgebied van de tandwielen \u2013 een onvermijdelijk gevolg van de glijdende en rollende beweging op het tandoppervlak. In industri\u00eble omgevingen worden deze deeltjes door de smeerlaag in de afgesloten behuizing vastgehouden. In een cleanroom-tandwielkast is het van belang dat elke mogelijkheid voor deeltjes om te ontsnappen wordt uitgesloten: de asafdichting moet voorkomen dat deeltjes zich langs het asoppervlak verplaatsen, en de behuizing mag geen microspleten bevatten waardoor met deeltjes beladen lucht kan worden aangevoerd door de thermische ademhalingscyclus van de tandwielkast.<\/p>\n

Mechanisme:<\/strong> Wanneer een versnellingsbak opwarmt van koude start tot bedrijfstemperatuur, zet de lucht in de behuizing uit en probeert deze te ontsnappen via de weg met de minste weerstand \u2013 meestal langs de rand van de asafdichting. Bij afkoeling wordt buitenlucht (en alle daarin aanwezige deeltjes) weer aangezogen. Dit \"ademhalingseffect\" kan deeltjes in beide richtingen transporteren. Oplossing:<\/strong> Volledig afgedichte behuizing zonder thermische ontluchtingsmogelijkheid \u2014 dit wordt bereikt door het weglaten van ontluchtingsopeningen en het specificeren van FFKM (perfluorelastomeer) asafdichtingen die een strakker lipcontact behouden over het volledige bedrijfstemperatuurbereik dan standaard NBR- of FKM-afdichtingen.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
\n
3<\/div>\n
\n
ontgassing en deeltjesvorming van de oppervlaktecoating van de behuizing<\/div>\n

Standaard industri\u00eble tandwielkastbehuizingen zijn voorzien van coatings op olie- of acrylbasis die uitharden bij kamertemperatuur. Deze coatings blijven maanden na het aanbrengen oplosmiddelresten (VOS) afgeven en laten microdeeltjes los naarmate het oppervlak van de coating verweert. In een cleanroom van ISO-klasse 3-5 kan zelfs een kleine deeltjesbron de toegestane deeltjesconcentratielimiet in de directe omgeving van de tandwielkast overschrijden.<\/p>\n

Oplossing:<\/strong> Een onbewerkte geanodiseerde aluminium behuizing (zonder verflaag) of een chemisch vernikkelde behuizing met een VOC-gehalte van nul en een minimale deeltjesvorming. Sommige Koreaanse leveranciers van fabricageapparatuur gebruiken elektrolytisch gepolijste roestvrijstalen behuizingen voor de meest veeleisende ISO Klasse 3-toepassingen. Korea Ever-Power kan onbewerkte geanodiseerde behuizingen leveren voor EP-serie tandwielkasten voor cleanroomtoepassingen \u2013 geef dit aan bij uw bestelling.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
\n
4<\/div>\n
\n
Ferromagnetisch materiaal en strooimagnetische velden<\/div>\n

Standaardcomponenten van versnellingsbakken (behuizing, tandwielen, assen, planeetdragers) worden gemaakt van standaard koolstof- of gelegeerd staal \u2013 ferromagnetische materialen met een aanzienlijke magnetische permeabiliteit. In de meeste toepassingen is dit irrelevant. In Koreaanse MRAM-productiegebieden (Magnetic Random Access Memory) en in de buurt van apparatuur voor elektronenbundellithografie veroorzaken strooivelden van ferromagnetische componenten uitlijnfouten in de elektronenbundelkolom en kunnen ze de magnetische toestand van gedeeltelijk gefabriceerde MRAM-cellen veranderen.<\/p>\n

Mechanisme:<\/strong> Een standaard stalen tandwielkastbehuizing heeft een relatieve magnetische permeabiliteit \u03bc\u1d63 van 100\u20131000 (ferromagnetisch). Op een afstand van 300 mm wordt zelfs het omgevingsmagnetisch veld van de aarde door de behuizing vervormd. Elk strooiveld van motormagneten of voedingskabels die in de behuizing terechtkomen, produceert een in de tijd vari\u00ebrend veld dat de vereiste veldstabiliteit van 10 nT in sommige EUV-lithografiesystemen kan overschrijden. Oplossing:<\/strong> De behuizing van austenitisch roestvrij staal (SS316L, \u03bc\u1d63 \u2248 1,003) of aluminium (\u03bc\u1d63 \u2248 1,000006) elimineert het probleem van ferromagnetisme. Dit is een speciale bestelling \u2014 neem contact op met Korea Ever-Power application engineering voor uw specifieke fabriekszone en type apparatuur.<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

ISO 14644 Cleanroomklasse \u2192 Specificatie-eisen voor tandwielkasten<\/h2>\n

Niet elke halfgeleiderfabriek vereist het volledige cleanroom-tandwielkastspecificatiepakket. De eisen schalen mee met de cleanroomklasse: een materiaalbehandelingscorridor van ISO Klasse 7 stelt fundamenteel andere eisen dan een fotolithografie-ruimte van ISO Klasse 3. Overdimensionering van cleanroomfuncties leidt tot hogere kosten zonder functioneel voordeel; onderdimensionering vergroot het risico op besmetting in de fabriek.<\/p>\n

\n\n\n\n\n\n\n\n\n
ISO-klasse<\/th>\nSmeermiddel<\/th>\nAsafdichting<\/th>\nBehuizingscoating<\/th>\nNiet-magnetisch<\/th>\nKorea Ever-Power bestelnota<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
ISO 8 (ondersteuningscorridor)<\/td>\nStandaard vet \u2713<\/td>\nStandaard NBR \u2713<\/td>\nStandaardverf \u2713<\/td>\nNiet vereist<\/td>\nStandaard EP-AB-voorraad \u2014 geen speciale bestelling nodig<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 6\u20137 (CMP\/verpakking)<\/td>\nPFPE heeft de voorkeur<\/td>\nFKM of FFKM<\/td>\nLaag-VOC of geanodiseerd<\/td>\nBevestig per zone<\/td>\nGeef bij uw bestelling aan: \u201ccleanroomvet + FKM-afdichting\u201d.<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 4\u20135 (afzetting\/etsen)<\/td>\nPersoonlijke beschermingsmiddelen (PFPE) vereist<\/td>\nFFKM vereist<\/td>\nGeanodiseerd aluminium vereist<\/td>\nIndien MRAM\/EB-zone: ja<\/td>\nVolledige cleanroomspecificatiebestelling; levertijd 2-3 weken.<\/td>\n<\/tr>\n
ISO 3 (EUV-lithografieruimte)<\/td>\nPersoonlijke beschermingsmiddelen (PFPE) vereist<\/td>\nFFKM vereist<\/td>\nElektrolytisch gepolijst SS316L<\/td>\nVereist<\/td>\nMaatwerk is vereist \u2014 betrek het EverPower-applicatieteam in Korea al vroeg in de ontwerpfase.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

 <\/p>\n

Belangrijke bestelinstructie: <\/strong>
\nAlle cleanroom-specifieke opties \u2014 PFPE-vet, FFKM-afdichting, geanodiseerde behuizing, niet-magnetische constructie \u2014 moeten bij de bestelling worden gespecificeerd. Standaard EP-serie tandwielkasten worden geleverd met standaard mineraal\/PAO-vet, NBR-afdichtingen en een geverfde behuizing. Omzetting naar een andere locatie is niet mogelijk. Als u een standaardunit ontvangt en vervolgens ontdekt dat de productieomgeving PFPE-smeermiddel vereist, moet de tandwielkast worden geretourneerd en vervangen door een cleanroom-specifiek exemplaar. De levertijd voor cleanroom-opties bedraagt \u200b\u200b2-4 weken; houd hier rekening mee in uw planning voor de aanschaf van apparatuur.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Rotatieas van de waferhandler \u2014 Precisie-eisen en seriekeuze<\/h2>\n

Planetaire tandwielkasten voor de aandrijving van halfgeleiderwafers vereisen een precisie die de meeste industri\u00eble servo-toepassingen overtreft. Robotische waferhandlers \u2013 de apparatuur die 300 mm siliciumwafers tussen FOUP's, proceskamers en uitlijners transporteert \u2013 gebruiken twee rotatieassen: een theta (\u03b8) rotatieas die de gehele armconstructie roteert om uit te lijnen met de doelsleuven, en een extensie-as die de eindeffector radiaal uitschuift en intrekt. De positioneringsnauwkeurigheid van de theta-as bepaalt of de wafer binnen de middentolerantie van de eindeffector wordt geplaatst; de extensie-as bepaalt de radiale positioneringsnauwkeurigheid.<\/p>\n

\"pls-high-precision-planetary-gearbox-application\"<\/p>\n

De kritische positioneringseis voor de theta-as: het wafercentrum moet zich binnen \u00b10,5 mm van de doelpositie bevinden bij een nominale waferradius van 300 mm (150 mm vanaf het wafercentrum). Dit vereist dat de hoekfout van de theta-as als volgt is:<\/p>\n

\n

THETA-AS BACKSLASH VEREISTE \u2014 WAFERHANDLEIDER<\/p>\n

Vereist: positiefout \u2264 \u00b10,5 mm bij een armstraal van r = 300 mm<\/p>\n

Hoekfout \u03b8_max = \u0394x \/ r = 0,5 \/ 300 = 0,00167 rad
\n= 0,00167 \u00d7 (180 \u00d7 60 \/ \u03c0) = 5,7 boogminuten maximum<\/span><\/p>\n

Budget voor speling in de versnellingsbak (40% totale foutmarge):
\n\u03b8_versnellingsbak \u2264 5,7 \u00d7 0,40 = 2,3 boogmin<\/p>\n

\u2192 Vereist een speling van \u2264 2,3 boogminuten bij de uitgaande as
\n\u2192 P1 (\u22643\u2032) is marginaal \u2014 kan in het slechtste geval het budget overschrijden
\n\u2192 P0 (\u22641\u2032) biedt een marge van 2,3\u00d7 \u2014 correcte specificatie
\n\u2192 EP-AFH (\u22641\u2032 standaard) elimineert de stap van kwaliteitsspecificatie<\/p><\/div>\n<\/div>\n

Voor Koreaanse OEM's van waferhandlers geldt het volgende: EP-AFH ultraprecisie-serie<\/a> Dit is de standaardaanbeveling voor de theta-as. Elke EP-AFH-eenheid wordt geleverd met een nauwkeurigheid van \u22641 boogminuut als standaardspecificatie \u2014 geen selectie van een kwaliteitsklasse, geen variabiliteit in metingen tussen eenheden binnen de kwaliteitsklasse. Het leveringscertificaat bevestigt de gemeten waarde voor elke eenheid. Voor de extensie- (radiale) as is de precisie-eis lager (\u00b11 mm tolerantie aan de punt van de effector) en is P0 of P1 geschikt, afhankelijk van de armgeometrie.<\/p>\n

Temperatuurstabiliteit en thermische positioneringsafwijking: <\/strong>
\nDe cleanrooms van Koreaanse waferfabrieken handhaven een temperatuurstabiliteit van 20 \u00b0C \u00b1 0,1 \u00b0C. Deze nauwkeurige temperatuurregeling is specifiek bedoeld om te voorkomen dat thermische uitzetting van apparatuur positioneringsafwijkingen veroorzaakt. Een cleanroom-tandwielkast in een thermisch stabiele omgeving bereikt een positioneringsnauwkeurigheid die wordt beperkt door speling en encoderresolutie \u2013 niet door thermische uitzetting. De zeer stabiele cleanroomtemperatuur is op zichzelf een ontwerpvoordeel: thermische afwijking van de tandwielkast, een belangrijk aandachtspunt in standaard industri\u00eble toepassingen, is in een goed gecontroleerde fabrieksomgeving vrijwel nul.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

FOUP Transport AGV \u2014 Specificaties aandrijfwiel voor gebruik op de productievloer<\/h2>\n

In Koreaanse halfgeleiderfabrieken wordt bij het transport van Front Opening Unified Pods (FOUP's) gebruikgemaakt van bovenloopkranen (OHT) op rails aan het plafond als primair middel voor het verplaatsen van FOUP's van de fabriek naar de productielijn, en van AGV's op vloerniveau voor het transport van FOUP's van de productielijn naar de apparatuur in zones met minder verkeer. De aandrijfwielen van de AGV's op vloerniveau werken in dezelfde cleanroomomgeving als de procesapparatuur.<\/p>\n

De eisen voor de AGV-versnellingsbak van FOUP combineren de cleanroomspecificaties uit modules 2-3 met de AGV-specifieke eisen uit Art12: differentieel aandrijfsnelheidssynchronisatie (matched pair, certificaat voor verhoudingsvariatie \u22640,01%), laag bedrijfsgeluid (akoestische trillingen die de uitlijning van nabijgelegen lithografie in aangrenzende bays kunnen verstoren, moeten lager zijn dan 55 dB(A) op de baygrens) en een onderhoudsvrije, afgedichte constructie.<\/p>\n

De EP-KF\/KH hypoidserie<\/a> is geschikt voor de aandrijfwielen van AGV's die in Koreaanse fabrieken worden geproduceerd \u2014 de fabrieksomgeving handhaaft een constante temperatuur van 20 \u00b0C, ruim boven de minimale bedrijfstemperatuur van 0 \u00b0C van KF\/KH. De hypoid-tandwielcontactgeometrie produceert een circa 6-8 dB(A) lager bedrijfsgeluid dan standaard planetaire tandwielen bij een equivalent koppel, wat van belang is in de akoestisch gevoelige fabrieksomgeving. Voor FOUP-transport-AGV's dient u naast het certificaat voor snelheidsynchronisatie van het matched pair ook de optie voor cleanroom-smeermiddel (PFPE) en FFKM-asafdichtingen te specificeren.<\/p>\n

\"Korea<\/p>\n

\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Aandrijving van halfgeleiderapparatuur<\/th>\nTerugslag vereist.<\/th>\nSpecificaties van een cleanroom<\/th>\nKorea Ever-Power-serie<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Waferhandler \u03b8-as (ISO 4\u20135)<\/td>\n\u22641 boogminuut<\/td>\nPFPE + FFKM + geanodiseerd<\/td>\nEP-AFH<\/a> + cleanroom specificaties<\/td>\n<\/tr>\n
Verlengingsas van de waferhandler (ISO 4\u20135)<\/td>\n\u22643 boogminuten<\/td>\nPFPE + FFKM<\/td>\nEP-AB P0\/P1<\/a> + cleanroom specificaties<\/td>\n<\/tr>\n
FOUP AGV-aandrijfwiel (ISO 6\u20137)<\/td>\nRatio-overeenkomst \u22640,01%<\/td>\nPFPE + FKM-afdichting<\/td>\nEP-KF gematcht paar<\/a> + cleanroom specificaties<\/td>\n<\/tr>\n
CMP-koprotatie (ISO 6)<\/td>\n\u22641 boogminuut<\/td>\nPFPE + FFKM + geanodiseerd<\/td>\nEP-AFH + cleanroomspecificaties<\/td>\n<\/tr>\n
Uitlijningsfase laadpoort (ISO 5)<\/td>\n\u22641 boogminuut<\/td>\nPFPE + FFKM + geanodiseerd<\/td>\nEP-ABR P0<\/a> of EP-AFH + cleanroomspecificatie<\/td>\n<\/tr>\n
Fab-ondersteunings-\/hulpprogramma-drives (ISO 8)<\/td>\nP2 adequaat<\/td>\nStandaardvoorraad<\/td>\nEP-AB P2 standaard \u2014 geen speciale bestelling nodig<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

MRAM-fabricage en EUV-lithografie \u2014 Specificatie voor niet-magnetische constructie<\/h2>\n

De fabricage van magnetisch RAM (MRAM) en spin-transfer torque RAM (STT-RAM) \u2013 een opkomende geavanceerde procestechnologie bij Samsung en SK Hynix \u2013 vereist gecontroleerde magnetische omstandigheden gedurende de depositieprocessen die de magnetische tunneljunctie (MTJ)-laagstructuur defini\u00ebren. De co\u00ebrciviteit van deze lagen ligt tussen de 5 en 50 Oersted; een strooiveld van zelfs maar 1 Oersted afkomstig van nabijgelegen apparatuur tijdens de depositie kan de beoogde ori\u00ebntatie van het magnetische moment in de MTJ-laag veranderen.<\/p>\n

\"Doorsnedetekening<\/p>\n

EUV-lithografiesystemen (Extreme Ultraviolet) \u2013 die sinds 2019 in gebruik zijn bij de Samsung-fabrieken in Hwaseong en Pyeongtaek \u2013 maken gebruik van elektronoptische kolommen die gevoelig zijn voor strooimagnetische velden op sub-nanoschaalniveau. Een standaard stalen tandwielkast op 500 mm afstand van de elektronoptische as produceert een strooiveld van ongeveer 100-500 nT \u2013 twee tot vier ordes van grootte boven de vereiste veldstabiliteit van het systeem.<\/p>\n

\n
Vergelijking van magnetische permeabiliteit \u2014 materialen voor versnellingsbakbehuizingen<\/div>\n
\n
\n
Standaard koolstofstaal (ferromagnetisch)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 100\u20131.000 \u2014 NIET voor magnetisch gevoelige zones<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Gelegeerd staal (lagerstaal)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 50\u2013200 \u2014 NIET geschikt voor magnetisch gevoelige zones<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
Austenitisch SS316L (niet-magnetisch roestvrij staal)<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 1,003 \u2014 acceptabel voor de meeste fab-zones<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n
6061-T6 Aluminium<\/span>
\n\u03bc\u1d63 \u2248 1,000006 \u2014 verwaarloosbare magnetische signatuur<\/span><\/div>\n
\n
<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

Relatieve magnetische permeabiliteit \u03bc\u1d63. Een lagere waarde betekent een lagere magnetische signatuur. Standaard stalen tandwielkasten produceren strooivelden die ongeveer 1000 keer hoger zijn dan die van aluminium exemplaren op dezelfde afstand.<\/p>\n<\/div>\n

Voor Koreaanse leveranciers van apparatuur die actief zijn in de MRAM- en EUV-zones, waaronder diegenen die compacte staging-systemen ontwerpen met de EP-ADS compacte serie<\/a>De Ever-Power EP-serie tandwielkasten uit Korea kunnen worden geleverd met aluminium behuizingen voor zowel de behuizing als de planeetwielcomponenten. Houd er rekening mee dat de interne stalen tandwielelementen (planeetwielen, ringtandwiel, zonnewiel) van staal blijven \u2013 dit is onvermijdelijk bij de productie van precisietandwielen. De stalen tandwielelementen produceren een veel kleinere magnetische signatuur dan de behuizing, omdat ze met hoge snelheid roteren (waardoor de netto statische veldbijdrage wordt verminderd) en grotendeels worden afgeschermd door de buitenbehuizing. Een volledig niet-magnetische constructie (inclusief keramische of titanium tandwielelementen) is een maatwerkoplossing die niet mogelijk is met standaard catalogusproducten van welke fabrikant dan ook.<\/p>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Samsung en SK Hynix Supply Chain \u2014 Documentatievereisten voor apparatuurkwalificatie<\/h2>\n

Koreaanse leveranciers van halfgeleiderapparatuur die meedingen naar opdrachten van Samsung (Pyeongtaek, Hwaseong, Giheung) en SK Hynix (Cheongju, Icheon) moeten hun apparatuur kwalificeren via een meerfasig leveranciersacceptatieproces. Documentatie op componentniveau voor aandrijfcomponenten \u2013 inclusief tandwielkasten \u2013 is doorgaans vereist in de IQ-fase (Installation Qualification). Het vereiste documentatiepakket varieert per cleanroomklasse en per type apparatuur, maar een standaardpakket voor precisie-aandrijfcomponenten in ISO-klasse 4-5 zones omvat de volgende items.<\/p>\n

\n
\n
\u2460 Certificering van cleanroommaterialen<\/div>\n

Schriftelijke verklaring van de fabrikant dat alle materialen (behuizing, afdichtingen, smeermiddel) voldoen aan de materiaalspecificaties van de fabriek. Voor PFPE-smeermiddel: vermeld de PFPE-kwaliteit en de naam van de leverancier. Voor FFKM-afdichtingen: bevestig de specificatie van het fluorkoolstofpolymeer. Korea Ever-Power levert dit als een schriftelijke verklaring in het Koreaans.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2461 Gegevens van de ontgassingstest<\/div>\n

Testresultaten volgens ASTM E1603 of een gelijkwaardige test voor de ontgassing van het smeermiddel en de afdichtingsmaterialen bij 20\u201325 \u00b0C. Toont het totale massaverlies (TML) en het opgevangen vluchtige condenseerbare materiaal (CVCM). Voor PFPE-vet zijn deze waarden doorgaans <0,01% TML en <0,001% CVCM \u2014 ruim binnen de standaard fabriekslimieten.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2462 Certificaat voor spelingmeting<\/div>\n

Eenheidsspecifieke gemeten spelingwaarde (niet alleen een conformiteitsverklaring). Korea Ever-Power levert deze waarde voor alle EP-AFH-eenheden en voor EP-AB\/AF-eenheden van de P0- en P1-kwaliteit. Vereist voor IQ-documentatie van positioneringskritische aandrijfassen.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2463 Verklaring van naleving van RoHS en REACH<\/div>\n

Schriftelijke bevestiging dat de versnellingsbak geen verboden stoffen bevat volgens de EU RoHS 2 (2011\/65\/EU herzien) en de REACH (EG 1907\/2006) SVHC-lijsten. Vereist voor apparatuur die wordt verkocht aan multinationale fabriekseigenaren. Korea Ever-Power levert dit als standaarddocument bij cleanroombestellingen.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2464 Maattekening (PDF, Koreaans + Engels)<\/div>\n

Volledige maattekening met toleranties voor installatiekwalificatie. Vereist voor IQ\/OQ-protocoldocumentatie. Korea Ever-Power levert deze binnen 3 werkdagen na bestelling voor elk model uit de EP-serie.<\/p>\n<\/div>\n

\n
\u2465 Certificaat voor de verhouding tussen overeenkomende paren (alleen AGV)<\/div>\n

Voor AGV's met differentieelaandrijving (FOUP): certificaat voor de overbrengingsverhouding van beide aandrijfwielversnellingsbakken, waaruit blijkt dat het verschil in overbrengingsverhouding tussen de twee wielen \u22640,01% mag zijn. Korea Ever-Power levert dit als standaardoptie bij bestellingen van AGV's die aan elkaar gekoppeld zijn.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n

Tijdschema voor de aanschaf van apparatuur voor Koreaanse fabrieken: <\/strong>
\nDe kwalificatiecycli voor apparatuur van Samsung en SK Hynix duren doorgaans 6 tot 12 maanden, van het moment dat het ontwerp definitief vastligt tot de acceptatie in de fabriek. Het documentatiepakket voor de versnellingsbak is vereist in de IQ-fase, meestal 4 tot 6 maanden na aanvang van de kwalificatiecyclus. Voor versnellingsbakken die specifiek voor cleanrooms zijn ontworpen (PFPE + FFKM, levertijd 2 tot 4 weken) dient de bestelling uiterlijk 10 weken v\u00f3\u00f3r de vereiste IQ-documentatie te worden geplaatst. Neem in de ontwerpfase \u2013 en niet in de inkoopfase \u2013 contact op met Korea Ever-Power om de beschikbaarheid van de documenten en de levertijd voor uw specifieke fabriekszone en cleanroomklasse te bevestigen.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Berekening van het ontgassingsbudget \u2014 Hoe bepaal je of standaardvet of PFPE-vet nodig is?<\/h2>\n

De keuze tussen standaard afgedicht vet en PFPE-cleanroomsmeermiddel hangt af van de hoeveelheid gas die de versnellingsbak afgeeft aan de cleanroomlucht en de nabijheid ervan tot blootgestelde waferoppervlakken. De volgende berekeningsmethode stelt Koreaanse leveranciers van apparatuur in staat deze beslissing kwantitatief te nemen in plaats van op basis van een conservatieve standaardwaarde die onnodige kosten met zich mee kan brengen.<\/p>\n

\n

Budget voor gasverontreiniging \u2014 Vereenvoudigd model<\/p>\n

Afzettingssnelheid op wafer D (ng\/cm\u00b2\/uur) vanuit \u00e9\u00e9n enkele versnellingsbak:<\/p>\n

D \u2248 P_vap \u00d7 M_grease \u00d7 k_geom \/ (R \u00d7 T)<\/p>\n

waar:
\nP_vap = dampdruk van smeeroliebasis bij 20\u00b0C (Pa)
\nM_grease = blootgesteld vetoppervlak (cm\u00b2)
\nk_geom = geometrische factor (afhankelijk van afstand en hoek, ~10\u207b\u2075 tot 10\u207b\u00b3)
\nR, T = gasconstante, temperatuur<\/p>\n

Minerale olie PAO (standaard): P_vap \u2248 10\u207b\u00b3 Pa
\n\u2192 D \u2248 0,05\u20130,5 ng\/cm\u00b2\/uur op 300 mm afstand
\n\u2192 Meer dan 24 uur: accumulatie van 1,2\u201312 ng\/cm\u00b2 op wafer \u2190 Voldoet niet aan ISO 5<\/p>\n

PFPE (cleanroomkwaliteit): P_vap \u2248 10\u207b\u00b9\u2070 Pa
\n\u2192 D < 10\u207b\u2077 ng\/cm\u00b2\/uur \u2014 7 ordes van grootte lager
\n\u2192 Niet meetbaar met standaard analytische methoden \u2713<\/p><\/div>\n<\/div>\n

De berekening laat zien waarom PFPE vereist is en niet slechts de voorkeur geniet voor elke versnellingsbak die zich binnen het zichtveld van blootgestelde wafers bevindt: de dampdruk van standaardvet is zeven ordes van grootte hoger dan die van PFPE. Geen enkele geometrische factor of afstandsregeling compenseert dit fundamentele verschil. Voor elke versnellingsbak in ISO-klasse 3-6 zones waar wafers aan de atmosfeer kunnen worden blootgesteld, is PFPE-vet een absolute vereiste, geen voorkeur.<\/p>\n

\"verwerkingsdetails<\/p>\n

Waar standaard smeervet acceptabel is in een halfgeleiderfabriek: <\/strong>
\nVersnellingsbakken die ge\u00efnstalleerd zijn in ISO-klasse 8 of lagere zones (fabricage-ondersteuningsgangen, technische ruimtes, apparatuurruimtes) waar nooit wafers aanwezig zijn, vereisen geen PFPE-smeermiddel. Standaard EP-AB- of EP-BPG-series met standaardvet zijn de juiste en meest kosteneffectieve specificatie voor deze zones. De meerprijs voor PFPE (doorgaans 30\u2013501 TP3T hogere eenheidskosten) is alleen gerechtvaardigd wanneer de versnellingsbak zich in een zone bevindt waar blootstelling aan wafers mogelijk is. Het toepassen van cleanroomspecificaties op alle versnellingsbakken in een fabriek, ongeacht de zone, verhoogt de materiaalkosten onnodig zonder functioneel voordeel.<\/span><\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Veelgestelde vragen \u2014 Planetaire tandwielkasten in Koreaanse halfgeleiderapparatuur<\/h2>\n
\n
\n

Q<\/span>
\nOnze Koreaanse klant (een OEM-fabrikant van fabricageapparatuur die aan Samsung levert) vereist een specificatie voor een \"deeltjesvrije\" tandwielkast. Wat betekent dit precies in de praktijk?<\/h3>\n

In de Koreaanse inkoopterminologie voor fabricage betekent \"deeltjesvrij\" doorgaans dat de versnellingsbak geen deeltjes boven een bepaalde grootte en hoeveelheid in de cleanroomatmosfeer mag afgeven \u2013 niet dat er letterlijk nul deeltjes worden gegenereerd. De praktische specificatie wordt meestal uitgedrukt als een maximale deeltjesgeneratiesnelheid op een bepaalde afstand en onder bepaalde luchtstroomomstandigheden, of als een materiaalcompatibiliteitsverklaring dat de behuizing en afdichtingen geen deeltjes groter dan 0,1 \u03bcm afgeven met een snelheid die het deeltjesconcentratiebudget van de cleanroom voor die installatie overschrijdt. Korea Ever-Power pakt dit aan door: (1) PFPE-smeermiddel met een afgedichte constructie die migratie van vetdeeltjes voorkomt, (2) FFKM-asafdichtingen die een positieve afdichting garanderen over het gehele bedrijfstemperatuurbereik, en (3) een geanodiseerde aluminium behuizing die geen verfdeeltjes afgeeft. Een volledige deeltjesgeneratietest op systeemniveau (versnellingsbak ge\u00efnstalleerd in apparatuur, werkend onder cleanroomomstandigheden) wordt doorgaans uitgevoerd door de Koreaanse OEM van de apparatuur, niet door de leverancier van de versnellingsbak.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nWe ontwerpen een aandrijving voor de rotatie van de CMP-kop (Chemical Mechanical Planarisation) van een Koreaanse waferfabriek. Wat is de specifieke configuratie van de tandwielkast?<\/h3>\n

Een CMP-koprotatieaandrijving positioneert de polijstkop boven de plaat en roteert deze tijdens het polijstproces. De aandrijving moet voldoen aan de volgende eisen: een gematigde snelheid (30\u2013150 tpm), een gematigd koppel (50\u2013300 N\u00b7m, afhankelijk van de kopgrootte en het type slurry), een positioneringsnauwkeurigheid van \u22641 boogminuut voor de kopindexering en compatibiliteit met cleanrooms (de kop werkt tijdens het polijsten boven blootgestelde waferoppervlakken). De EP-AFH-serie is de standaard aanbeveling: een standaardspecificatie van \u22641 boogminuut, een compacte, afgedichte constructie en is verkrijgbaar met PFPE-vet en FFKM-afdichtingen voor ISO Klasse 5\u20136 CMP-bays. Specifiek voor de rotatieas heeft de EP-AFH inline-serie de voorkeur boven haakse configuraties, omdat de compacte axiale lengte de hefboomwerking die het kopgewicht op het uitgaande lager van de versnellingsbak uitoefent, vermindert.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nOnze huidige versnellingsbak gebruikt standaard afgedicht vet en bevindt zich al 18 maanden in een Koreaanse fabriek zonder noemenswaardige verontreiniging. Moeten we overstappen op PFPE?<\/h3>\n

De afwezigheid van een gedetecteerde contaminatiegebeurtenis bevestigt niet de afwezigheid van contaminatie. Chemische contaminatie in cleanrooms door ontgassing van de tandwielkast wordt doorgaans pas maanden na de contaminatiegebeurtenis vastgesteld via opbrengstanalyse, niet in realtime. Een fabriek die een fotolithografie-opbrengst van 95% behaalt, kan 2\u20133% aan opbrengst verliezen door organische oppervlakteverontreiniging zonder dat de bron hiervan kan worden herleid. Als uw tandwielkast zich in een ISO Klasse 5-zone of beter bevindt, binnen 1\u20132 meter van blootgestelde waferoppervlakken, is de ontgassingsberekening in Module 8 van toepassing. De afzettingssnelheid van standaard minerale olie is fysiek meetbaar en ligt boven de cleanroomlimieten. Of deze afzettingssnelheid in uw specifieke installatie is getraceerd, hangt af van het opbrengstvolgsysteem van de fabriek. Korea Ever-Power raadt PFPE-smeermiddel ten zeerste aan voor elke tandwielkast in ISO Klasse 5-zones of beter in de buurt van blootgestelde wafers, ongeacht of er formeel een contaminatiegebeurtenis is vastgesteld.<\/p>\n<\/div>\n

\n

Q<\/span>
\nGelden de specificaties voor cleanroom-versnellingsbakken voor Koreaanse landbouwautomatiseringsapparatuur die zich in dezelfde faciliteit bevindt als een halfgeleiderondersteuningszone?<\/h3>\n

Nee, automatiseringsapparatuur voor de landbouw en automatiseringsapparatuur voor halfgeleiderfabrieken zijn volledig gescheiden toepassingscategorie\u00ebn. Koreaanse landbouwverwerkingsbedrijven (graan, groenten, voedselverwerking) hebben geen ISO 14644 cleanroomvereisten. De specificaties voor tandwielkasten in Koreaanse landbouwautomatisering volgen de hygi\u00ebne-eisen voor voedselverwerking zoals beschreven in artikel 9 (IP67, KFDA-conformiteit, afgedicht vet) in plaats van de cleanroomspecificaties voor halfgeleiders. Als een Koreaanse fabriek landbouwverwerking combineert met halfgeleiderverpakking (bijvoorbeeld een leverancier van speciale folie of verpakkingen aan een halfgeleiderfabriek), volgen de specificaties voor elke zone de feitelijke eisen van die zone. Landbouwverwerkingsgebieden gebruiken voedselveilige tandwielkasten en als een zone binnen de fabriek is aangewezen volgens de cleanroomstandaard voor halfgeleiders, voldoen de tandwielkasten in die zone aan de ISO 14644-vereisten. Voor stroomdistributie met meerdere uitgangen naar landbouwverwerkingskoppen, landbouwkegeloverbrengingen<\/a> Het distribueren van de output van een EP-planetaire processor naar individuele verwerkingskoppen is geschikt voor de niet-cleanroomzones van dergelijke installaties.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/section>\n

<\/p>\n

\n

Specificeer uw halfgeleiderapparatuur-tandwielkasten met Korea Ever-Power.<\/h2>\n

Korea Ever-Power levert EP-serie tandwielkasten die geschikt zijn voor cleanrooms, met PFPE-smeermiddel, FFKM-afdichtingen, een geanodiseerde behuizing en het complete Samsung\/SK Hynix IQ-documentatiepakket \u2013 in het Koreaans, met een levertijd van 2-4 weken. Betrek ons \u200b\u200bal in de ontwerpfase voor de beste resultaten.<\/p>\n

EP-AFH Ultraprecisie (waferhandler) \u2192
\n<\/a>
\nEP-KF\/KH Geluidsarm (Fab AGV) \u2192
\n<\/a><\/div>\n<\/section>\n<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Semiconductor Application Guide \u00b7 ISO 14644 \u00b7 Outgassing \u00b7 Non-Magnetic \u00b7 Samsung \/ SK Hynix Planetary Gearbox for Semiconductor Equipment \u2014 Cleanroom, Wafer Handling, and Low-Outgassing Design Every planetary gearbox semiconductor equipment selection decision starts with one question standard catalogues cannot answer. A standard industrial planetary gearbox that performs flawlessly for ten years on a […]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_et_pb_use_builder":"","_et_pb_old_content":"","_et_gb_content_width":"","footnotes":""},"categories":[965],"tags":[],"class_list":["post-707","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-application-and-technical-guid"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=707"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":708,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/707\/revisions\/708"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=707"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=707"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/planetary-gearboxes.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=707"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}