Korea pooljuhtide tootmine – miks on käigukasti spetsifikatsioonid erakordselt nõudlikud
Korea haldab maailma suurima tihedusega pooljuhtide tootmisvõimsust. Samsungi Pyeongtaeki tehas (P3 ja P4 faasid) ja SK Hynixi Cheongju M15X tehas toodavad kokku suurema osa maailma DRAM- ja NAND-välkmälust. Need tehased töötlevad 300 mm räniplaate 400–600 fotolitograafia, sadestamise, söövitamise ja CMP protsessi etapis puhasruumides, mida hoitakse ISO klassi 3–5 (10–100 osakest ≥0,1 μm kuupmeetri õhu kohta) kohaselt.
Selles keskkonnas kasutatavad käigukastid – FOUP-transpordi AGV-d, kiipide käitlemise pöörlemistelged, laadimispordi joondamisastmed, fotolitograafia sihikuastmed ja CMP-pea pöörlemisajamid – puutuvad kokku samade puhasruumi spetsifikatsioonidega nagu kõik teised komponendid. Käigukast, mis eraldab osakesi, eraldab kemikaale või tekitab magnetvälju, mis võivad joondussüsteeme häirida, ei ole „madalama kvaliteediga“ käigukast – see on lihtsalt teistsuguse keskkonna jaoks loodud käigukast, mis on paigutatud valesse keskkonda.
Planetaarse käigukasti pooljuhtide puhasruumi spetsifikatsiooni mõistmine võimaldab Korea pooljuhtide tööstuse seadmete tarnijatel algusest peale määrata õige käigukasti konfiguratsiooni – selle asemel, et avastada ühildumatusi kliendi vastuvõtukatsete käigus, mis on komponendi spetsifikatsioonivea lahendamise kõige kulukam punkt.
| Korea tehase tsoon | ISO-klass | Maksimaalne osakeste arv ≥0,1 μm/m³ | Temperatuur / Niiskus | Käigukasti kasutamine |
|---|---|---|---|---|
| Fotolitograafia laht | ISO 3 | 10 | 20°C ±0,1°C / 40% suhteline õhuniiskus | Sihikuga aste, kiibilaadur – kõige nõudlikum |
| Sadestamis-/söövituslahtrid | ISO 4–5 | 100–1000 | 20–22 °C / 40–50% suhteline õhuniiskus | Seadmete käitlejad, õhuliinitransport |
| CMP / pakendamisalad | ISO 6–7 | 10 000–100 000 | 20–23 °C / 40–60% suhteline õhuniiskus | FOUP transport, materjalikäitlus AGV |
| Fab tugikoridor | ISO 8 | 3,520,000 | Ümbritseva õhu ±2°C | Selles tsoonis on vastuvõetav standard EP-AB |
ISO 14644-1:2015 puhtusklassifikatsioonid. Korea pooljuhtide tootmistsoonid Samsungi/SK Hynixi seadmete spetsifikatsioonide järgi. Kõikides tootmispiirkondades hoitakse aastaringselt ligikaudu 20–22 °C – EP-KF/KH hüpoidseeria 0 °C miinimum ei ole siseruumides paigaldamise puhul probleem.
Neli viisi, kuidas standardne käigukast saastab pooljuhtide tehast
Standardsete käigukastide puhasruumi ühildumatus tuleneb neljast sõltumatust mehhanismist. Igaüht neist tuleb käsitleda eraldi – ühe kõrvaldamine ei lahenda teisi.
Standardsetes tihendusmääretes kasutatakse mineraalõli või PAO (polüalfaolefiin) baasõlisid koos amiini- või kaltsiumipõhiste paksendajatega. Toatemperatuuril puhasruumis eraldavad need ühendid aururõhu kaudu lenduvaid orgaanilisi ühendeid (VOC) – seda protsessi nimetatakse gaaside eraldumiseks. Vabanenud VOC-d on molekulaarsel tasandil nähtamatud, kuid need ladestuvad lähedalasuvatele pindadele, sealhulgas räniplaatide pindadele ja sihikuklaasile.
Lahendus: PFPE (perfluoropolüeeter) määre. Aururõhk temperatuuril 20 °C: <10⁻¹⁰ Pa – seitse või enam suurusjärku madalam kui mineraalõlil. PFPE määre on keemiliselt inertne, ei reageeri protsessigaasidega ega tekita lähedalasuvatele pindadele mõõdetavat orgaanilist sadestist. Korea Ever-Power EP seeria käigukastid puhasruumiklassi PFPE määrdega on saadaval eritellimusel – tellimuse ajal märkige „pooljuhtide puhasruumi PFPE määrdeaine”.
Iga planetaarne käigukast tekitab hammasratta kokkupuutetsoonis submikronilisi metallilisi kulumisosakesi – see on hammaste liidese libisemis- ja veeremisliikumise vältimatu tagajärg. Tööstuskeskkonnas jäävad need osakesed määrdestruktuuri abil suletud korpusesse kinni. Puhasruumi käigukasti puhul on mureks see, et kõik osakeste väljapääsuteed tuleb kõrvaldada: võlli tihend peab takistama osakeste migratsiooni mööda võlli pinda ja korpuses ei tohi olla mikropilusid, mille kaudu käigukasti termiline hingamistsükkel saaks osakestega koormatud õhku pumbata.
Standardsete tööstuslike käigukasti korpuste puhul kasutatakse õlipõhiseid või akrüülvärve, mis kõvenevad toatemperatuuril. Need katted eraldavad lahustijääke (LOÜ-sid) veel kuid pärast pealekandmist ja eraldavad mikroosakesi kattepinna ilmastiku mõjul. ISO klassi 3–5 puhasruumis võib isegi väike osakeste allikas ületada lubatud osakeste kontsentratsiooni piirnormi käigukasti vahetus läheduses.
Standardsed käigukasti komponendid (korpus, hammasrattad, võllid, planeedikandjad) on valmistatud standardsest süsinik- või legeerterasest – ferromagnetilistest materjalidest, millel on märkimisväärne magnetiline läbitavus. Enamasti pole see oluline. Korea MRAM-i (magnetilise muutmälu) tootmispiirkondades ja elektronkiirlitograafiaseadmete läheduses põhjustavad ferromagnetilistest komponentidest pärinevad hajuvad magnetväljad elektronkiire kolonnis joondusvigu ja võivad muuta osaliselt valmistatud MRAM-elementide magnetilist olekut.
ISO 14644 puhasruumi klass → Käigukasti spetsifikatsiooni nõuded
Mitte iga pooljuhtide tootmistsoon ei vaja täielikku puhasruumi käigukasti spetsifikatsioonipaketti. Nõuded skaleeruvad vastavalt puhasruumi klassile – ISO 7. klassi materjalikäitluskoridoril on põhimõtteliselt erinevad nõuded kui ISO 3. klassi fotolitograafiaala omal. Puhasruumi omaduste ülespetsifikatsioon lisab kulusid ilma funktsionaalse kasuta; alaspetsifikatsioon suurendab tehase saastumise riski.
| ISO-klass | Määrdeaine | Võlli tihend | Korpuse kate | Mittemagnetiline | Korea Ever-Poweri tellimuse märkus |
|---|---|---|---|---|---|
| ISO 8 (tugikoridor) | Standardmääre ✓ | Standardne NBR ✓ | Standardvärv ✓ | Pole nõutud | Standardne EP-AB laoseis – eritellimust pole vaja |
| ISO 6–7 (CMP/pakend) | Eelistatud on PFPE | FKM või FFKM | Madala lenduvate orgaaniliste ühendite sisaldusega või anodeeritud | Kinnitage tsooni kohta | Tellimuses täpsustage „puhasruumi määre + FKM-tihend” |
| ISO 4–5 (sadestamine/söövitamine) | Isikukaitsevahend on nõutav | FFKM on nõutav | Nõutav on anodeeritud alumiinium | Kui MRAM/EB-tsoon: jah | Täieliku puhasruumi spetsifikatsiooni tellimus; tarneaeg 2–3 nädalat |
| ISO 3 (EUV litograafialahter) | Isikukaitsevahend on nõutav | FFKM on nõutav | Elektropoleeritud SS316L | Nõutav | Vajalik on eritellimusel projekteerimine – kaasake Korea Ever-Poweri rakendusmeeskond juba projekteerimisetapi alguses |
Kõik puhasruumile sobivad valikud – PFPE-määre, FFKM-tihend, anodeeritud korpus, mittemagnetiline konstruktsioon – tuleb tellimise ajal täpsustada. Standardsed EP-seeria käigukastid tarnitakse standardse mineraal-/PAO-määre, NBR-tihendite ja värvitud korpusega. Kohapealne ümberehitus pole võimalik. Kui saate standardseadme ja avastate seejärel, et tootmistsoon vajab PFPE-määrdeainet, tuleb käigukast tagastada ja asendada puhasruumile sobiva seadmega. Puhasruumi valikute tarneaeg on 2–4 nädalat; planeerige vastavalt seadmete hankegraafikusse.
Vahvlikäitleja pöörlemistelg — täpsusnõuded ja seeriavalik
Planetaarkäigukastiga pooljuhtplaatide käsitsemisajamid nõuavad täpsust, mis ületab enamiku tööstuslike servorakenduste vajadused. Robotplaatide käsitsemisseadmed – seadmed, mis liigutavad 300 mm räniplaate FOUP-ide, töötlemiskambrite ja joondajate vahel – kasutavad kahte pöörlemistelge: teeta (θ) pöörlemistelge, mis pöörab kogu käe komplekti, et see joonduks sihtmärgi piludega, ja pikendustelge, mis pikendab ja tõmbab efektorpea radiaalselt. Teetatelje positsioneerimistäpsus määrab, kas plaat asetatakse efektorpea keskpunkti tolerantsi piiresse; pikendustelg määrab radiaalse asukoha täpsuse.
Teeta-telje kriitiline positsioneerimisnõue: kiibi kese peab olema paigutatud sihtasendist ±0,5 mm piiresse kiibi nominaalse 300 mm raadiuse juures (150 mm kiibi keskmest). See nõuab, et teeta-telje nurkviga oleks:
TEETATELJE LÕTKU NÕUE – KIHVLI KÄITLEJA
Nurgaviga θ_max = Δx / r = 0,5 / 300 = 0,00167 rad
= 0,00167 × (180 × 60 / π) = Maksimaalselt 5,7 kaareminuti
Käigukasti lõtku eelarve (koguveast 40%):
θ_käigukast ≤ 5,7 × 0,40 = 2,3 kaaremin
→ Nõutav väljundvõlli lõtk ≤ 2,3 kaareminutist
→ P1 (≤3′) on marginaalne — halvimal juhul võib eelarvet ületada
→ P0 (≤1′) annab 2,3× varu – õige spetsifikatsioon
→ EP-AFH (≤1′ standard) välistab klassi spetsifikatsiooni sammu
Korea kiipide käitlemise originaalseadmete tootjate jaoks EP-AFH ülitäpne seeria on teeta-telje standardne soovitus. Iga EP-AFH seade tarnitakse standardspetsifikatsiooniga ≤1 kaaremin – klassikoodi valikut ega ühikutevahelist mõõtmisvariatsiooni klassivahemiku piires pole. Tarnesertifikaat kinnitab iga seadme mõõdetud väärtust. Pikendus- (radiaal-)telje puhul on täpsusnõue madalam (±1 mm tolerants efektori otsas) ja P0 või P1 on sobiv, olenevalt käe geomeetriast.
Korea pooljuhtkiipide puhasruumides hoitakse temperatuuri stabiilsust 20 °C ±0,1 °C. See täpne temperatuuri reguleerimine on loodud spetsiaalselt selleks, et vältida seadmete soojuspaisumisest tingitud positsioneerimisnihet. Termiliselt stabiilses keskkonnas asuv puhasruumi käigukast saavutab positsioneerimise korduvuse, mida piiravad lõtk ja kooderi eraldusvõime, mitte soojuspaisumine. Väga stabiilne puhasruumi temperatuur on iseenesest disaini võimaldaja: käigukasti termiline triiv, mis on standardsetes tööstusrakendustes oluline probleem, on korralikult kontrollitud tootmiskeskkonnas sisuliselt null.
FOUP Transport AGV — veoratta spetsifikatsioon tehasepõranda kasutamiseks
Korea pooljuhtide tehastes kasutatakse esiavatava ühendatud podi (FOUP) transportimisel peamiselt laerööbastel olevaid tõstuksüsteeme (OHT) tehasest sektsiooni FOUP-i liikumise peamiseks vahendiks ja põrandatasemel AGV-sid sektsioonist seadmesse teisaldamiseks väiksema liiklusega tsoonides. Põrandatasemel AGV veorataste käigukastid töötavad samas puhasruumis kui protsessiseadmed.
FOUP transpordi AGV käigukasti nõuded ühendavad moodulite 2–3 puhasruumi spetsifikatsioonid Art12 AGV-spetsiifiliste nõuetega: diferentsiaalajami kiiruse sünkroniseerimine (sobitatud paar, ≤0,01% ülekandearvu variatsioonisertifikaat), madal töömüra (akustiline vibratsioon, mis võib häirida lähedalasuvate lahede litograafia joondamist, peab lahe piiril olema alla 55 dB(A)) ja hooldusvaba suletud konstruktsioon.
See EP-KF/KH hüpoidseeria sobib Korea toodetud AGV veoratastele – tehase keskkond hoiab konstantset 20 °C, mis on tunduvalt kõrgem KF/KH minimaalsest töötemperatuurist 0 °C. Hüpoidkäigu kontaktgeomeetria tekitab samaväärse pöördemomendi juures ligikaudu 6–8 dB(A) madalama töömüra kui standardne planetaarne ülekanne, mis on oluline akustiliselt tundlikus tehasekeskkonnas. FOUP transpordi AGV puhul täpsustage lisaks paarispöördega kiiruse sünkroniseerimise sertifikaadile ka puhasruumi määrdeaine valikut (PFPE) ja FFKM võllitihendeid.
| Pooljuhtseadmete ajam | Tagasilöögi nõue | Puhasruumi spetsifikatsioon | Korea Ever-Power seeria |
|---|---|---|---|
| Vahvlikäitleja θ-telg (ISO 4–5) | ≤1 kaaremin | PFPE + FFKM + anodeeritud | EP-AFH + puhasruumi spetsifikatsioon |
| Vahvlikäitleja pikendustelg (ISO 4–5) | ≤3 kaareminuti | PFPE + FFKM | EP-AB P0/P1 + puhasruumi spetsifikatsioon |
| FOUP AGV veoratas (ISO 6–7) | Suhte vastavus ≤0.01% | PFPE + FKM tihend | EP-KF sobitatud paar + puhasruumi spetsifikatsioon |
| CMP pea pöörlemine (ISO 6) | ≤1 kaaremin | PFPE + FFKM + anodeeritud | EP-AFH + puhasruumi spetsifikatsioon |
| Laadimispordi joondamise etapp (ISO 5) | ≤1 kaaremin | PFPE + FFKM + anodeeritud | EP-ABR P0 või EP-AFH + puhasruumi spetsifikatsioon |
| Fab tugi / utiliididraivid (ISO 8) | P2 piisav | Standardvaru | EP-AB P2 standard — eritellimust ei ole |
MRAM-i valmistamine ja EUV litograafia — mittemagnetilise konstruktsiooni spetsifikatsioon
Magnetmälu (MRAM) ja pöörlemismomendi RAM-i (STT-RAM) valmistamine – Samsungi ja SK Hynixi arenev täiustatud protsessitehnoloogia – nõuab kontrollitud magnetilist keskkonda kõigis sadestamisetappides, mis määravad magnettunneli ühenduskoha (MTJ) kihtide virna. Nende kihtide koertsitiivsus on vahemikus 5–50 Oersted; isegi 1 Oersted suurune eksitav magnetväli lähedalasuvatest seadmetest sadestamisetapi ajal võib muuta MTJ kihis kavandatud magnetmomendi orientatsiooni.
EUV (Extreme Ultraviolet) litograafiasüsteemid – mis on Samsungi Hwaseongi ja Pyeongtaeki tehastes kasutusele võetud alates 2019. aastast – kasutavad elektronoptilisi kolonne, mis on tundlikud nanomeetri alamtasemel hajuvate magnetväljade suhtes. Standardne terasest käigukast 500 mm kaugusel elektronoptilisest teljest tekitab ligikaudu 100–500 nT hajuva magnetvälja – kaks kuni neli suurusjärku üle süsteemi välja stabiilsusnõude.
μᵣ ≈ 100–1000 — MITTE magnetiliselt tundlike tsoonide jaoks
μᵣ ≈ 50–200 — MITTE magnetiliselt tundlike tsoonide jaoks
μᵣ ≈ 1,003 — vastuvõetav enamiku tootmistsoonide jaoks
μᵣ ≈ 1,000006 — tühine magnetiline signatuur
Suhteline magnetiline läbitavus μᵣ. Väiksem väärtus = nõrgem magnetiline signatuur. Standardsed terasest käigukastid tekitavad umbes 1000 korda tugevamaid hajuvvälju kui alumiiniumkorpusega samaväärsed käigukastid samal kaugusel.
Korea seadmete tarnijatele, kes töötavad MRAM-i ja EUV-tsoonides, sealhulgas neile, kes projekteerivad kompaktseid lavastussüsteeme koos EP-ADS kompaktne seeriaKorea Ever-Power EP seeria käigukastidele saab tellida alumiiniumkorpuse variante nii korpuse kui ka planeedikanduri komponentide jaoks. Pange tähele, et sisemised terasest hammasratta elemendid (planeedrattad, rõngashammasratas, päikesehammasratas) jäävad terasest – see on täppishammasrataste tootmisel vältimatu. Terasest hammasratta elemendid tekitavad palju väiksema magnetilise signatuuri kui korpus, kuna need pöörlevad kiirusel (vähendades staatilise välja netopanust) ja on välimise korpuse poolt oluliselt varjestatud. Täielikult mittemagnetiline konstruktsioon (sh keraamilised või titaanist hammasratta elemendid) on eritellimusel valmistatud inseneritöö, mis ulatub kaugemale mis tahes tootja standardsetest kataloogitoodetest.
Samsungi ja SK Hynixi tarneahel – seadmete kvalifitseerimise dokumentatsiooninõuded
Samsungile (Pyeongtaek, Hwaseong, Giheung) ja SK Hynixile (Cheongju, Icheon) pakkumisi tegevad Korea pooljuhtseadmete tarnijad peavad oma seadmed kvalifitseerima mitmeastmelise tarnija vastuvõtuprotsessi kaudu. Ajamikomponentide – sealhulgas käigukastide – komponenditasandi dokumentatsioon on tavaliselt nõutav IQ (paigalduskvalifitseerimise) etapis. Nõutav dokumentide pakett varieerub protsessi tsooni puhasruumi klassi ja seadme tüübi järgi, kuid ISO klassi 4–5 tsoonide täppis-ajamikomponentide standardpakett sisaldab järgmisi punkte.
Tootja kirjalik kinnitus, et kõik materjalid (korpus, tihendid, määrdeaine) vastavad tehase materjalispetsifikatsioonidele. PFPE määrdeaine puhul: lisage PFPE klass ja tarnija nimi. FFKM tihendite puhul: kinnitage fluorosüsinikpolümeeri spetsifikatsioon. Korea Ever-Power esitab selle koreakeelse kirjaliku kinnitusena.
Määrdeaine ja tihendusmaterjalide ASTM E1603 või samaväärsete gaaside eraldumise testi tulemused temperatuuril 20–25 °C. Näitab kogumassi kadu (TML) ja kogunenud lenduvate kondenseeruvate materjalide hulka (CVCM). PFPE määrde puhul on need väärtused tavaliselt <0,01% TML ja <0,001% CVCM – see on tehase standardsete piiride piires.
Seadmespetsiifiline mõõdetud lõtkuväärtus (mitte ainult klassi vastavusdeklaratsioon). Korea Ever-Power pakub seda kõigile EP-AFH seadmetele ja EP-AB/AF jaoks P0 ja P1 klasside puhul. Nõutav positsioneerimise seisukohalt kriitiliste ajamitelgede IQ-dokumentatsiooni jaoks.
Kirjalik kinnitus, et käigukast ei sisalda EL RoHS 2 (2011/65/EL uuesti sõnastatud) ja REACH (EÜ 1907/2006) SVHC-loendites keelatud aineid. Nõutav rahvusvahelistele tehaseoperaatoritele müüdavate seadmete puhul. Korea Ever-Power esitab selle standarddokumendina koos puhasruumide tellimustega.
Täismõõtmeline joonis tolerantsmõõtudega paigalduskvalifikatsiooni jaoks. Nõutav IQ/OQ protokolli dokumentatsiooni jaoks. Korea Ever-Power esitab selle 3 tööpäeva jooksul alates tellimuse esitamisest mis tahes EP-seeria mudeli puhul.
Diferentsiaalülekandega FOUP AGV puhul: mõlema veoratta käigukasti ülekandearvu muutuse sertifikaat, mis kinnitab paari ülekandearvu erinevust ≤0,01%. Korea Ever-Power pakub seda standardvarustusena sobitatud paariga AGV tellimuste puhul.
Samsungi ja SK Hynixi seadmete kvalifitseerimistsüklid kestavad tavaliselt 6–12 kuud alates seadme projekteerimise külmutamisest kuni tehase heakskiitmiseni. Käigukasti dokumentatsioonipakett on nõutav IQ-etapis – tavaliselt 4–6 kuud kvalifitseerimistsükli alguses. Puhasruumi spetsiifiliste käigukastide (PFPE + FFKM, 2–4-nädalane tarneaeg) puhul tuleks tellimus esitada hiljemalt 10 nädalat enne IQ-dokumentatsiooni nõuet. Võtke Korea Ever-Poweriga ühendust projekteerimisfaasis – mitte hankefaasis –, et kinnitada dokumentide kättesaadavust ja tarneaega teie konkreetse tootmistsooni ja puhasruumi klassi jaoks.
Gaasiheite eelarve arvutamine – kuidas teha kindlaks, kas on vaja standardset või PFPE-määret
Valik standardse suletud määrde ja PFPE puhasruumi määrdeaine vahel sõltub käigukasti poolt puhasruumi õhule tekitatavast gaasikoormusest ja selle lähedusest kiibi avatud pindadele. Järgnev arvutusmeetod võimaldab Korea seadmete tarnijatel teha selle otsuse kvantitatiivselt, mitte konservatiivse vaikimisi, mis võib lisada tarbetuid kulusid.
GAASI EEMALDAMISE SAASTUMISE EELARVE – LIHTSUSTATUD MUDEL
D ≈ P_aururõhk × M_määre × k_geomeetriline väärtus / (R × T)
kus:
P_vap = määrdeaine baasõli aururõhk temperatuuril 20 °C (Pa)
M_määre = määrdega kokkupuutumatu pindala (cm²)
k_geom = geomeetriline tegur (sõltub kaugusest ja nurgast, ~10⁻⁵ kuni 10⁻³)
R, T = gaasikonstant, temperatuur
Mineraalõli PAO (standard): P_vap ≈ 10⁻³ Pa
→ D ≈ 0,05–0,5 ng/cm²/h 300 mm kaugusel
→ 24 tunni jooksul: 1,2–12 ng/cm² akumuleerumine vahvlil ← EI VASTA ISO 5 TESTIL
PFPE (puhasruumi klass): P_vap ≈ 10⁻¹⁰ Pa
→ D < 10⁻⁷ ng/cm²/h — 7 suurusjärku madalam
→ Standardsete analüütiliste meetoditega mõõtmatu ✓
Arvutus näitab, miks PFPE-d on vaja, mitte ainult eelistatud iga käigukasti puhul, mis asub avatud kiipide vaateväljas: standardse määrde aururõhk on seitse suurusjärku kõrgem kui PFPE-l. Ükski geomeetriline tegur ega kauguse paigutus ei kompenseeri seda olulist erinevust. Iga käigukasti puhul ISO klassi 3–6 tsoonides, kus kiivid võivad atmosfääriga kokku puutuda, on PFPE-määre binaarne nõue, mitte eelistus.
Käigukastid, mis on paigaldatud ISO 8. või madalama klassi aladele (tehase tugikoridorid, abiruumid, seadmete aluspõrandad), kus kiibid kunagi ei asu, ei vaja PFPE määrdeainet. Nende tsoonide jaoks on õige ja kõige kulutõhusam spetsifikatsiooniga EP-AB või EP-BPG seeria koos standardmäärdega. PFPE lisatasu (tavaliselt 30–50% kõrgem ühikuhind) on õigustatud ainult siis, kui käigukast asub tsoonis, kus kiibid on avatud. Puhasruumi spetsifikatsiooni rakendamine kõigile tehase käigukastidele, olenemata tsoonist, suurendab asjatult materjalide spetsifikatsiooni maksumust ilma funktsionaalse kasuta.
Korduma kippuvad küsimused — planetaarkäigukastid Korea pooljuhtseadmetes
Määrake oma pooljuhtseadmete käigukastid Korea Ever-Poweriga
Korea Ever-Power pakub puhasruumi jaoks mõeldud EP-seeria käigukaste PFPE määrdeainega, FFKM tihendite, anodeeritud korpuse ja täieliku Samsung/SK Hynix IQ dokumentatsioonipaketiga – korea keeles, 2–4-nädalase tarneajaga. Parima tulemuse saavutamiseks kaasake meid juba projekteerimisfaasis.
