Korealainen puolijohdevalmistus – miksi vaihdelaatikoiden tekniset tiedot ovat ainutlaatuisen vaativia
Korealla on maailman tihein puolijohdevalmistuskapasiteetti. Samsungin Pyeongtaekin tehdas (P3- ja P4-vaiheet) ja SK Hynixin Cheongjun M15X-laitos tuottavat yhdessä suurimman osan maailman DRAM- ja NAND-flash-muisteista. Nämä laitokset käsittelevät 300 mm:n piikiekkoja 400–600 fotolitografia-, pinnoitus-, etsaus- ja CMP-prosessivaiheessa puhdastiloissa, joiden standardit täyttävät ISO-luokan 3–5 vaatimukset (10–100 hiukkasta ≥0,1 μm kuutiometriä ilmaa kohden).
Tässä ympäristössä käytettävät vaihteistot – FOUP-kuljetusajoneuvoissa, kiekkojen käsittelyn kiertoakseleissa, lastausporttien kohdistusvaiheissa, fotolitografian ristikkovaiheissa ja CMP-pään kiertokäytöissä – altistuvat samoille puhdastilavaatimuksille kuin kaikki muutkin komponentit. Vaihteisto, joka vapauttaa hiukkasia, kaasuttaa kemikaaleja tai tuottaa magneettikenttiä, jotka voivat häiritä kohdistusjärjestelmiä, ei ole "heikkolaatuinen" vaihteisto – se on yksinkertaisesti eri ympäristöön suunniteltu vaihteisto, joka on sijoitettu väärään paikkaan.
Planeettavaihteiston puolijohdepuhdastilan spesifikaatioiden ymmärtäminen antaa korealaisille puolijohdeteollisuuden laitetoimittajille mahdollisuuden määrittää oikean vaihteiston kokoonpanon alusta alkaen – sen sijaan, että yhteensopimattomuuksia havaittaisiin asiakkaan hyväksyntätestauksen aikana, mikä on kallein vaihe komponenttispesifikaatiovirheen ratkaisemiseksi.
| Korealainen tehdasalue | ISO-luokka | Hiukkasten enimmäismäärä ≥0,1 μm / m³ | Lämpötila / kosteus | Vaihteiston käyttö |
|---|---|---|---|---|
| Fotolitografia-alue | ISO 3 | 10 | 20 °C ±0,1 °C / 40% suhteellinen kosteus | Ristikkovaihe, kiekkojen lataaja — vaativimmat |
| Laskeutumis-/etsauspaikat | ISO 4–5 | 100–1 000 | 20–22 °C / 40–50% suhteellinen kosteus | Laitteiden käsittelykoneet, yläpuoliset kuljetukset |
| CMP / pakkauspaikat | ISO 6–7 | 10 000–100 000 | 20–23 °C / 40–60% suhteellinen kosteus | FOUP-kuljetus, materiaalinkäsittelyyn tarkoitettu AGV |
| Fab-tukikäytävä | ISO 8 | 3,520,000 | Ympäristön lämpötila ±2 °C | Standardi EP-AB hyväksytään tällä vyöhykkeellä |
ISO 14644-1:2015 -puhtausluokitukset. Korealaisten puolijohdetehtaiden alueet Samsungin/SK Hynixin laitespesifikaatioiden mukaisesti. Kaikkien tuotantoalueiden lämpötila on noin 20–22 °C ympäri vuoden – EP-KF/KH-hypoidisarjan 0 °C:n vähimmäislämpötila ei ole huolenaihe sisätiloissa tehtävissä tehdasasennuksissa.
Neljä tapaa, joilla vakiovaihteisto saastuttaa puolijohdetehtaan
Puhdastilan yhteensopimattomuus vakiovaihteistoissa johtuu neljästä toisistaan riippumattomasta mekanismista. Jokainen mekanismi on ratkaistava erikseen – yhden poistaminen ei ratkaise muita.
Tavallisissa tiivistetyissä rasvoissa käytetään mineraaliöljy- tai PAO (polyalfaolefiini) -perusöljyjä ja amiini- tai kalsiumpohjaisia sakeuttamisaineita. Huoneenlämmössä puhdastilassa nämä yhdisteet vapauttavat haihtuvia orgaanisia yhdisteitä (VOC) höyrynpaineen kautta – prosessia, jota kutsutaan kaasunpoistoksi. Vapautuneet VOC-yhdisteet ovat näkymättömiä molekyylitasolla, mutta ne kerrostuvat lähellä oleville pinnoille, kuten piikiekkojen pinnoille ja ristikkolasille.
Ratkaisu: PFPE-rasva (perfluoropolyeetteri). Höyrynpaine 20 °C:ssa: <10⁻¹⁰ Pa – seitsemän tai useampia kertaluokkaa alhaisempi kuin mineraaliöljyllä. PFPE-rasva on kemiallisesti inertti, ei reagoi prosessikaasujen kanssa eikä tuota mitattavissa olevaa orgaanista laskeumaa lähellä oleville pinnoille. Korea Ever-Power EP -sarjan vaihteistoja, joissa on puhdastilakäyttöön tarkoitettu PFPE-rasva, on saatavilla erikoistilauksesta – mainitse tilauksen yhteydessä "puolijohteiden puhdastilakäyttöön tarkoitettu PFPE-voiteluaine".
Jokainen planeettavaihteisto tuottaa alle mikronin kokoisia metallisia kulumishiukkasia hammaspyörän kosketusalueella – väistämätön seuraus hampaan rajapinnan liukuvasta ja vierivästä liikkeestä. Teollisuusympäristöissä nämä hiukkaset pysyvät tiivistetyn kotelon sisällä rasvarakenteen ansiosta. Puhdastilavaihteistossa huolenaiheena on, että kaikki hiukkasten pääsyreitit on poistettava: akselitiivisteen on estettävä hiukkasten kulkeutuminen akselin pintaa pitkin, eikä kotelossa saa olla mikroskooppisia rakoja, joiden läpi hiukkasilla kuormitettua ilmaa voi pumpata vaihteiston lämpöhengityssyklin avulla.
Tavallisissa teollisuusvaihteiston koteloissa käytetään öljypohjaisia tai akryylimaalipinnoitteita, jotka kovettuvat huoneenlämmössä. Nämä pinnoitteet vapauttavat liuotinjäämiä (VOC) vielä kuukausia levittämisen jälkeen ja irrottavat mikrohiukkasia pinnoitteen pinnan sään muuttuessa. ISO-luokan 3–5 puhdastilassa jopa pieni hiukkaslähde voi ylittää sallitun hiukkaspitoisuusrajan vaihteiston välittömässä läheisyydessä.
Vaihteiston vakiokomponentit (kotelo, hammaspyörät, akselit, planeettojen kannattimet) on valmistettu vakiohiili- tai seosteräksestä – ferromagneettisista materiaaleista, joilla on merkittävä magneettinen permeabiliteetti. Useimmissa sovelluksissa tällä ei ole merkitystä. Korealaisilla MRAM-muistien (magneettinen RAM-muisti) valmistusalueilla ja elektronisuihkulitografialaitteiden läheisyydessä ferromagneettisista komponenteista lähtevät hajamagneettikentät aiheuttavat kohdistusvirheitä elektronisuihkukolonnissa ja voivat muuttaa osittain valmistettujen MRAM-kennojen magneettista tilaa.
ISO 14644 Puhdastilaluokka → Vaihteiston erittelyvaatimukset
Kaikki puolijohdetehtaat eivät vaadi täyttä puhdastilan vaihdelaatikoiden spesifikaatiopakettia. Vaatimukset skaalautuvat puhdastilan luokan mukaan – ISO-luokan 7 materiaalinkäsittelykäytävällä on perustavanlaatuisesti erilaiset vaatimukset kuin ISO-luokan 3 fotolitografiaosastolla. Puhdastilan ominaisuuksien liiallinen määrittely lisää kustannuksia ilman toiminnallista hyötyä, kun taas aliarviointi lisää tehtaan kontaminaatioriskiä.
| ISO-luokka | Voiteluaine | Akselitiiviste | Kotelon pinnoite | Ei-magneettinen | Korea Ever-Power -tilausviesti |
|---|---|---|---|---|---|
| ISO 8 (tukikäytävä) | Vakiorasva ✓ | Standardi NBR ✓ | Vakiomaali ✓ | Ei vaadittu | Standardi EP-AB-varasto – ei erikoistilausta tarvita |
| ISO 6–7 (CMP/pakkaus) | PFPE-suositus | FKM tai FFKM | Vähähaihtuvia orgaanisia yhdisteitä sisältävä tai anodisoitu | Vahvista vyöhykekohtaisesti | Määritä tilauksen yhteydessä ”puhdastilarasva + FKM-tiiviste” |
| ISO 4–5 (laskeuma/etsaus) | Henkilökohtainen suojavaruste vaaditaan | FFKM vaaditaan | Anodisoitu alumiini vaaditaan | Jos MRAM/EB-vyöhyke: kyllä | Täydellinen puhdastilan erikoistilaus; toimitusaika 2–3 viikkoa |
| ISO 3 (EUV-litografia-alue) | Henkilökohtainen suojavaruste vaaditaan | FFKM vaaditaan | Sähkökiillotettu SS316L | Pakollinen | Räätälöityä suunnittelua tarvitaan – ota Korea Ever-Powerin sovellustiimi mukaan suunnitteluvaiheen alkuvaiheessa |
Kaikki puhdastilakohtaiset vaihtoehdot – PFPE-rasva, FFKM-tiiviste, anodisoitu kotelo, ei-magneettinen rakenne – on määritettävä tilauksen yhteydessä. Vakiomalliset EP-sarjan vaihteistot toimitetaan vakiomineraali-/PAO-rasvalla, NBR-tiivisteillä ja maalatulla kotelolla. Kenttämuutos ei ole mahdollinen. Jos saat vakioyksikön ja huomaat myöhemmin, että tuotantoalue vaatii PFPE-voiteluainetta, vaihteisto on palautettava ja vaihdettava puhdastilakäyttöön tarkoitettuun yksikköön. Puhdastilavaihtoehtojen toimitusaika on 2–4 viikkoa; suunnittele tämä laitteiden hankinta-aikataulussa.
Kiekkojen käsittelijän pyörimisakseli — tarkkuusvaatimukset ja sarjan valinta
Planeettavaihteiston puolijohdekiekkojen käsittelylaitteet vaativat tarkkuutta, joka ylittää useimmat teolliset servosovellukset. Robottikiekkokäsittelijät – laitteet, jotka siirtävät 300 mm:n piikiekkoja FOUP-yksiköiden, prosessikammioiden ja kohdistuslaitteiden välillä – käyttävät kahta pyörimisakselia: theta (θ) -pyörimisakselia, joka pyörittää koko varsikokoonpanoa kohdeurien linjaamiseksi, ja jatkoakselia, joka pidentää ja vetää efektoria säteittäisesti. Theta-akselin paikannustarkkuus määrittää, onko kiekko efektorin keskitoleranssin sisällä; jatkoakseli määrittää säteittäisen paikannustarkkuuden.
Theta-akselin kriittinen paikannusvaatimus: kiekon keskipisteen on oltava ±0,5 mm:n sisällä kohdeasemasta nimellisellä 300 mm:n kiekkosäteellä (150 mm kiekon keskipisteestä). Tämä edellyttää, että theta-akselin kulmavirhe on:
THETA-AKSELIN VÄLYKSEN VAATIMUS — KIEKON KÄSITTELIJÄ
Kulmavirhe θ_max = Δx / r = 0,5 / 300 = 0,00167 rad
= 0,00167 × (180 × 60 / π) = 5,7 kaariminuuttia enintään
Vaihteiston välysbudjetti (kokonaisvirheestä 40%):
θ_vaihteisto ≤ 5,7 × 0,40 = 2,3 kaariminuuttia
→ Vaatii ≤ 2,3 kaariminuutin välyksen lähtöakselilla
→ P1 (≤3′) on marginaalinen — voi pahimmassa tapauksessa ylittää budjetin
→ P0 (≤1′) antaa 2,3× marginaalin – oikea määritys
→ EP-AFH (≤1′ standardi) poistaa laatumäärittelyn porrastuksen
Korealaisille kiekkojen käsittelijöiden OEM-valmistajille EP-AFH-ultratarkkuussarja on theta-akselin vakiosuositus. Jokaisen EP-AFH-yksikön vakiospesifikaatio on ≤1 kaariminuutti – ei luokkakoodin valintaa eikä yksiköiden välistä mittausvaihtelua luokka-alueen sisällä. Toimitustodistus vahvistaa kunkin yksikön mitatun arvon. Jatkoakselin (säteittäisen) osalta tarkkuusvaatimus on alhaisempi (±1 mm:n toleranssi efektorin kärjessä) ja P0 tai P1 on sopiva arvo varren geometriasta riippuen.
Korealaisten kiekkovalmistajien puhdastiloissa lämpötila pysyy vakaana 20 °C ±0,1 °C. Tätä tarkkaa lämpötilan säätöä ylläpidetään erityisesti estämään laitteiden lämpölaajenemisen aiheuttama paikannusvirhe. Lämpötilaltaan vakaassa ympäristössä oleva puhdastilan vaihteisto saavuttaa paikannuksen toistettavuuden, jota rajoittavat välys ja kooderin resoluutio – ei lämpölaajeneminen. Erittäin vakaa puhdastilan lämpötila on itsessään suunnittelun mahdollistava tekijä: vaihteiston lämpövirhe, joka on merkittävä huolenaihe tavanomaisissa teollisuussovelluksissa, on käytännössä nolla asianmukaisesti valvotussa valmistusympäristössä.
FOUP Transport AGV - Vetopyörän eritelmä tehtaan lattiakäyttöä varten
Korealaisissa puolijohdetehtaissa käytetään etupuolelta avautuvaa yhtenäistä lokeroa (FOUP) hyödyntävää FOUP-kuljetusta, jossa käytetään kattokiskoilla olevia nostolaitteita (OHT) ensisijaisena kuljetustapana tehtaalta laituriin. Harvemmin liikennöidyillä alueilla laitteita siirretään laiturilta laitteisiin lattiatasolla, ja AGV-ajoneuvojen vetopyörävaihteistot toimivat samassa puhdastilaympäristössä kuin prosessilaitteet.
FOUP-kuljetusajoneuvojen vaihteistovaatimukset yhdistävät moduulien 2–3 puhdastilan vaatimukset Art12:n AGV-kohtaisiin vaatimuksiin: differentiaalisen ajonopeuden synkronointi (sovitettu pari, ≤0,01%-suhteen vaihtelutodistus), alhainen käyttömelu (viereisten lokaatioiden lähellä olevien litografian kohdistusta häiritsevän akustisen tärinän on oltava alle 55 dB(A) lokaatioalueen rajalla) ja huoltovapaa suljettu rakenne.
The EP-KF/KH hypoidisarja sopii korealaisvalmisteisille AGV-vetopyörille – tehdasympäristön lämpötila pysyy vakiona 20 °C:ssa, mikä on selvästi KF/KH-asetuksen 0 °C:n vähimmäiskäyttölämpötilan yläpuolella. Hypoidivaihteiston kosketusgeometria tuottaa noin 6–8 dB(A) alhaisemman käyttömelun kuin tavallinen planeettapyörästö vastaavalla vääntömomentilla, mikä on tärkeää akustisesti herkässä tehdasympäristössä. FOUP-kuljetus-AGV:lle on määritettävä puhdastilan voiteluainevaihtoehto (PFPE) ja FFKM-akselitiivisteet sovitetun parin nopeussynkronointitodistuksen lisäksi.
| Puolijohdelaitteiden käyttö | Välyksen tarve | Puhdastilan tekniset tiedot | Korea Ever-Power -sarja |
|---|---|---|---|
| Kiekkokäsittelijän θ-akseli (ISO 4–5) | ≤1 kaariminuuttia | PFPE + FFKM + anodisoitu | EP-AFH + puhdastilan tekniset tiedot |
| Kiekkojen käsittelylaitteen jatkoakseli (ISO 4–5) | ≤3 kaariminuuttia | PFPE + FFKM | EP-AB P0/P1 + puhdastilan tekniset tiedot |
| FOUP AGV -vetopyörä (ISO 6–7) | Suhde vastaa ≤0.01% | PFPE + FKM-tiiviste | EP-KF-pari + puhdastilan tekniset tiedot |
| CMP-pään pyöritys (ISO 6) | ≤1 kaariminuuttia | PFPE + FFKM + anodisoitu | EP-AFH + puhdastilan tiedot |
| Kuormaportin kohdistusvaihe (ISO 5) | ≤1 kaariminuuttia | PFPE + FFKM + anodisoitu | EP-ABR P0 tai EP-AFH + puhdastilan spesifikaatio |
| Valmistajan tuki / apuohjelmat (ISO 8) | P2 riittävä | Vakiovarasto | EP-AB P2 -standardi — ei erikoistilausta |
MRAM-valmistus ja EUV-litografia — ei-magneettisen rakenteen erittely
Magneettisen RAM-muistin (MRAM) ja spin-transfer torque RAM -muistin (STT-RAM) valmistus – Samsungin ja SK Hynixin kehittynyt prosessiteknologia – vaatii kontrolloituja magneettisia ympäristöjä kaikissa pinnoitusvaiheissa, jotka määrittelevät magneettisen tunneliliitoksen (MTJ) kerrospinon. Näiden kerrosten koersitiivisuus on 5–50 ørstedin välillä; jopa 1 ørstedin hajamagneettikenttä lähellä olevista laitteista pinnoitusvaiheen aikana voi muuttaa aiottua magneettisen momentin suuntaa MTJ-kerroksessa.
Samsungin Hwaseongin ja Pyeongtaekin tehtailla vuodesta 2019 lähtien käytössä olleissa EUV (Extreme Ultraviolet) -litografiajärjestelmissä käytetään elektronioptisia kolonneja, jotka ovat herkkiä nanotetrasin alapuolella oleville hajamagneettikentille. 500 mm:n etäisyydellä elektronioptisesta akselista sijaitseva standardi teräksinen vaihteisto tuottaa noin 100–500 nT:n hajakentän – kaksi tai neljä kertaluokkaa järjestelmän kentänvakausvaatimusta korkeamman.
μᵣ ≈ 100–1 000 — EI magneettisesti herkille alueille
μᵣ ≈ 50–200 — EI magneettisesti herkille alueille
μᵣ ≈ 1,003 — hyväksyttävä useimmille tuotantoalueille
μᵣ ≈ 1,000006 — merkityksetön magneettinen signaali
Suhteellinen magneettinen permeabiliteetti μᵣ. Pienempi arvo = heikompi magneettinen profiili. Tavalliset teräksiset vaihteistot tuottavat noin 1 000 kertaa voimakkaampia hajakenttiä kuin alumiinikoteloiset vastaavat vaihteistot samalla etäisyydellä.
Korealaisille laitetoimittajille, jotka työskentelevät MRAM- ja EUV-alueilla, mukaan lukien ne, jotka suunnittelevat kompakteja lavastusjärjestelmiä EP-ADS-kompaktisarjaKorea Ever-Power EP -sarjan vaihteistot voidaan varustaa alumiinirunkoisilla varianteilla sekä rungon että planeettapyörästön kantoaineiden osalta. Huomaa, että sisäiset teräksiset hammaspyöräelementit (planeettapyörät, kehäpyörät, aurinkopyörät) ovat edelleen terästä – tämä on väistämätöntä tarkkuusvaihteiden valmistuksessa. Teräksiset hammaspyöräelementit tuottavat paljon pienemmän magneettisen signaalin kuin rungon, koska ne pyörivät nopeasti (vähentääkseen staattisen kentän nettovaikutusta) ja ulkokotelo suojaa niitä olennaisesti. Täysin ei-magneettinen rakenne (mukaan lukien keraamiset tai titaaniset hammaspyöräelementit) on räätälöity suunnitteluprojekti, joka ylittää minkä tahansa valmistajan vakiotuotteiden valikoiman.
Samsungin ja SK Hynixin toimitusketju – Laitteiden kelpuutusta koskevat dokumentaatiovaatimukset
Samsungille (Pyeongtaek, Hwaseong, Giheung) ja SK Hynixille (Cheongju, Icheon) tarjouksia tekevien korealaisten puolijohdelaitetoimittajien on hyväksyttävä laitteensa monivaiheisen toimittajan hyväksyntäprosessin kautta. Käyttökomponenttien – mukaan lukien vaihteistojen – komponenttitason dokumentaatio vaaditaan tyypillisesti IQ-vaiheessa (Installation Qualification). Vaadittu asiakirjapaketti vaihtelee prosessivyöhykkeen puhdastilaluokan ja laitetyypin mukaan, mutta ISO-luokan 4–5 vyöhykkeiden tarkkuuskäyttökomponenttien vakiopaketti sisältää seuraavat tuotteet.
Valmistajan kirjallinen vakuutus siitä, että kaikki materiaalit (kotelo, tiivisteet, voiteluaine) täyttävät tehtaan materiaalispesifikaatiot. PFPE-voiteluaineen osalta: ilmoita PFPE-laatu ja toimittajan nimi. FFKM-tiivisteiden osalta: vahvista fluorihiilipolymeerispesifikaatio. Korea Ever-Power toimittaa tämän koreankielisenä kirjallisena vakuutuksena.
Voiteluaineen ja tiivistemateriaalien ASTM E1603- tai vastaavan kaasunpoistotestin tulokset 20–25 °C:ssa. Näyttää kokonaismassahäviön (TML) ja kerätyn haihtuvan tiivistyvän materiaalin (CVCM). PFPE-rasvan tapauksessa nämä arvot ovat tyypillisesti <0,01% TML ja <0,001% CVCM – selvästi tehtaan vakiorajojen sisällä.
Yksikkökohtainen mitattu välysarvo (ei vain laadun vaatimustenmukaisuuslausunto). Korea Ever-Power toimittaa tämän kaikille EP-AFH-yksiköille ja EP-AB/AF-laitteille P0- ja P1-laaduilla. Vaaditaan paikannuksen kannalta kriittisten käyttöakseleiden IQ-dokumentointiin.
Kirjallinen vahvistus siitä, että vaihteisto ei sisällä EU:n RoHS 2 (2011/65/EU uudelleenlaadittu) ja REACH (EY 1907/2006) SVHC-listojen mukaisesti kiellettyjä aineita. Vaaditaan monikansallisille tehtaille myytäville laitteille. Korea Ever-Power toimittaa tämän vakioasiakirjana puhdastilatilausten mukana.
Täydellinen mittapiirustus toleranssimittoineen asennuksen kelpoisuutta varten. Vaaditaan IQ/OQ-protokollan dokumentointia varten. Korea Ever-Power toimittaa tämän 3 arkipäivän kuluessa tilauksesta kaikille EP-sarjan malleille.
Differentiaalikäyttöisille FOUP-AGV:lle: välityssuhteen vaihtelutodistus molemmille vetävien pyörien vaihteistoille, joka vahvistaa ≤0,01%-välityssuhteen eron parin välillä. Korea Ever-Power tarjoaa tämän vakiovarusteena, kun tilataan sovitettuja parikäyttöisiä AGV-ajoneuvoja.
Samsungin ja SK Hynixin laitteiden kelpoisuussyklit kestävät tyypillisesti 6–12 kuukautta laitteen suunnittelun jäädyttämisestä tehtaan hyväksyntään. Vaihteiston dokumentaatiopaketti vaaditaan IQ-vaiheessa – tyypillisesti 4–6 kuukauden kuluttua kelpoisuussyklin alkamisesta. Puhdastilaspesifikaatioiden mukaisten vaihteistojen (PFPE + FFKM, 2–4 viikon toimitusaika) osalta tilaus tulee tehdä viimeistään 10 viikkoa ennen IQ-dokumentaation tarvetta. Ota yhteyttä Korea Ever-Poweriin suunnitteluvaiheessa – ei hankintavaiheessa – varmistaaksesi dokumenttien saatavuuden ja toimitusajan tietylle tuotantoalueellesi ja puhdastilaluokallesi.
Kaasunpoistobudjetin laskeminen — Kuinka määrittää, tarvitaanko vakio- vai PFPE-rasvaa
Valinta standardin tiivistetyn rasvan ja PFPE-puhdastilavoiteluaineen välillä riippuu vaihteiston puhdastilan ilmaan tuottamasta kaasusta ja sen etäisyydestä paljaisiin kiekkopintoihin. Seuraava laskentatapa antaa korealaisille laitetoimittajille mahdollisuuden tehdä tämä päätös kvantitatiivisesti sen sijaan, että käytettäisiin konservatiivista oletusarvoa, joka voi lisätä tarpeettomia kustannuksia.
KAASUNPOISTON SAASTUMISBUDJETTI – YKSINKERTAISTETTU MALLI
D ≈ P_höyry × M_rasva × k_geom / (R × T)
jossa:
P_vap = voiteluaineen perusöljyn höyrynpaine 20 °C:ssa (Pa)
M_rasva = paljaan rasvan pinta-ala (cm²)
k_geom = geometrinen tekijä (riippuu etäisyydestä ja kulmasta, ~10⁻⁵ - 10⁻³)
R, T = kaasuvakio, lämpötila
Mineraaliöljyn PAO (standardi): P_vap ≈ 10⁻³ Pa
→ D ≈ 0,05–0,5 ng/cm²/h 300 mm:n etäisyydellä
→ 24 tunnin aikana: 1,2–12 ng/cm² kertyminen kiekolle ← HYLÄTTY ISO 5 -testi
PFPE (puhdastilalaatu): P_vap ≈ 10⁻¹⁰ Pa
→ D < 10⁻⁷ ng/cm²/h — 7 kertaluokkaa pienempi
→ Ei voida mitata standardianalyyttisillä menetelmillä ✓
Laskelma osoittaa, miksi PFPE-rasvaa vaaditaan eikä pelkästään suositella kaikille vaihteistoille, jotka ovat näkyvissä olevien kiekkojen lähellä: standardirasvan höyrynpaine on seitsemän kertaluokkaa korkeampi kuin PFPE:n. Mikään geometrinen tekijä tai etäisyysjärjestely ei kompensoi tätä perustavanlaatuista eroa. Kaikissa ISO-luokan 3–6 vyöhykkeillä, joissa kiekot voivat olla alttiina ilmakehälle, PFPE-rasva on ehdoton vaatimus, ei ensisijainen vaihtoehto.
Vaihteistot, jotka on asennettu ISO-luokan 8 tai alemman luokan alueille (tehtaan tukikäytävät, kodinhoitohuoneet, laitteiden aluslattiat), joissa kiekkoja ei koskaan ole, eivät vaadi PFPE-voiteluainetta. Vakiorasvalla varustetut EP-AB- tai EP-BPG-sarjan voiteluaineet ovat oikea ja kustannustehokkain spesifikaatio näille vyöhykkeille. PFPE-preemio (tyypillisesti 30–50% korkeampi yksikköhinta) on perusteltu vain silloin, kun vaihteisto sijaitsee vyöhykkeellä, jossa kiekkojen altistuminen on mahdollista. Puhdastilaspesifikaation soveltaminen kaikkiin tehtaan vaihteistoihin vyöhykkeestä riippumatta lisää tarpeettomasti osaluettelon kustannuksia ilman toiminnallista hyötyä.
Usein kysytyt kysymykset — Planeettavaihteistot korealaisissa puolijohdelaitteissa
Määritä puolijohdelaitteiden vaihteistot Korea Ever-Powerin avulla
Korea Ever-Power toimittaa puhdastilakäyttöön tarkoitettuja EP-sarjan vaihteistoja PFPE-voiteluaineella, FFKM-tiivisteillä, anodisoiduilla koteloilla ja täydellisellä Samsung/SK Hynix IQ -dokumentaatiopaketilla – koreaksi, 2–4 viikon toimitusajalla. Osallistu suunnitteluvaiheeseen parhaiden tulosten saavuttamiseksi.
