प्लेनेटरी गियरबॉक्स सेमीकंडक्टर उपकरण क्लीनरूम वेफर हैंडलिंग कम आउटगैसिंग कोरिया एवर-पावर ईपी

सेमीकंडक्टर अनुप्रयोग मार्गदर्शिका · आईएसओ 14644 · आउटगैसिंग · गैर-चुंबकीय · सैमसंग / एसके हाइनिक्स

सेमीकंडक्टर उपकरणों के लिए प्लैनेटरी गियरबॉक्स —
क्लीनरूम, वेफर हैंडलिंग और कम गैस उत्सर्जन वाला डिज़ाइन

प्रत्येक प्लेनेटरी गियरबॉक्स सेमीकंडक्टर उपकरण के चयन का निर्णय एक ऐसे प्रश्न से शुरू होता है जिसका उत्तर मानक कैटलॉग नहीं दे सकते। एक मानक औद्योगिक प्लेनेटरी गियरबॉक्स जो कोरियाई पैकेजिंग लाइन पर दस वर्षों तक त्रुटिहीन रूप से कार्य करता है, कुछ ही हफ्तों में एक वेफर फैब क्लीनरूम को दूषित कर सकता है - इसकी सटीकता अपर्याप्त होने के कारण नहीं, बल्कि इसलिए कि इसका स्नेहक 20°C पर VOCs उत्सर्जित करता है जो 300 मिमी सिलिकॉन वेफर सतहों पर जमा हो जाते हैं, इसका स्टील हाउसिंग फेरोमैग्नेटिक कणों को छोड़ता है जो परिवहन के दौरान चुम्बकित हो जाते हैं, और इसकी मानक हाउसिंग कोटिंग सूक्ष्म कणों को उत्सर्जित करती है जो ISO क्लास 5 सांद्रता सीमा से अधिक होते हैं। यह गाइड प्रत्येक विशिष्टता आयाम को कवर करती है जो क्लीनरूम-संगत गियरबॉक्स मानक औद्योगिक इकाइयों से।

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कोरियाई सेमीकंडक्टर विनिर्माण — गियरबॉक्स विनिर्देश इतने चुनौतीपूर्ण क्यों होते हैं?

कोरिया विश्व की सबसे उच्च घनत्व वाली सेमीकंडक्टर निर्माण क्षमता का संचालन करता है। सैमसंग की प्योंगटेक फैब (पी3 और पी4 चरण) और एसके हाइनिक्स की चोंगजू एम15एक्स सुविधा संयुक्त रूप से विश्व के अधिकांश डीआरएएम और एनएएनडी फ्लैश मेमोरी का उत्पादन करती हैं। ये सुविधाएं आईएसओ क्लास 3-5 (10-100 कण ≥0.1 μm प्रति घन मीटर हवा) के स्वच्छ कक्षों में 300 मिमी सिलिकॉन वेफर्स को 400-600 फोटोलिथोग्राफी, डिपोजिशन, एचिंग और सीएमपी प्रक्रिया चरणों से गुजारती हैं।

इस वातावरण में उपयोग किए जाने वाले गियरबॉक्स — FOUP परिवहन AGV, वेफर हैंडलर रोटेशन अक्ष, लोड पोर्ट अलाइनमेंट स्टेज, फोटोलिथोग्राफी रेटिकल स्टेज और CMP हेड रोटेशन ड्राइव — अन्य सभी घटकों के समान ही क्लीनरूम विनिर्देशों के अधीन होते हैं। ऐसा गियरबॉक्स जो कण उत्सर्जित करता है, रसायन छोड़ता है या चुंबकीय क्षेत्र उत्पन्न करता है जिससे अलाइनमेंट सिस्टम में बाधा उत्पन्न हो सकती है, वह "कम गुणवत्ता वाला" गियरबॉक्स नहीं है — बल्कि यह एक ऐसा गियरबॉक्स है जिसे किसी अन्य वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया था, लेकिन गलती से गलत वातावरण में लगा दिया गया है।

समतलीय गियरबॉक्स

प्लेनेटरी गियरबॉक्स सेमीकंडक्टर क्लीनरूम स्पेसिफिकेशन को समझने से सेमीकंडक्टर उद्योग को उपकरण सप्लाई करने वाले कोरियाई आपूर्तिकर्ताओं को शुरुआत से ही सही गियरबॉक्स कॉन्फ़िगरेशन निर्दिष्ट करने की सुविधा मिलती है - बजाय इसके कि ग्राहक स्वीकृति परीक्षण के दौरान असंगतियों का पता चले, जो कि घटक विनिर्देश त्रुटि को हल करने का सबसे महंगा बिंदु है।

कोरियाई फैब ज़ोन आईएसओ वर्ग अधिकतम कण ≥0.1μm प्रति m³ तापमान / आर्द्रता गियरबॉक्स का उपयोग
फोटोलिथोग्राफी बे आईएसओ 3 10 20°C ±0.1°C / 40% RH रेटिकल स्टेज, वेफर लोडर — सबसे अधिक मांग वाले
जमाव / नक़्क़ाशी बे आईएसओ 4–5 100–1,000 20–22°C / 40–50% RH उपकरण संचालक, ओवरहेड परिवहन
सीएमपी / पैकेजिंग बे आईएसओ 6–7 10,000–100,000 20–23°C / 40–60°C RH एफओयूपी परिवहन, सामग्री हैंडलिंग एजीवी
शानदार समर्थन गलियारा आईएसओ 8 3,520,000 परिवेश ±2°C इस क्षेत्र में मानक EP-AB स्वीकार्य है।

ISO 14644-1:2015 स्वच्छता वर्गीकरण। सैमसंग/एसके हाइनिक्स उपकरण विनिर्देशों के अनुसार कोरियाई सेमीकंडक्टर निर्माण क्षेत्र। सभी निर्माण क्षेत्रों में लगभग 20-22°C तापमान वर्ष भर बना रहता है - ईपी-केएफ/केएच हाइपॉइड श्रृंखला का 0°C न्यूनतम तापमान किसी भी इनडोर निर्माण संयंत्र के लिए चिंता का विषय नहीं है।

एक मानक गियरबॉक्स सेमीकंडक्टर फैब को चार तरीकों से दूषित कर सकता है

मानक गियरबॉक्स में क्लीनरूम असंगतता चार स्वतंत्र तंत्रों के कारण उत्पन्न होती है। इनमें से प्रत्येक को अलग-अलग संबोधित किया जाना चाहिए - एक को हटाने से अन्य का समाधान नहीं होता है।

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स्नेहक से निकलने वाली गैसें — अदृश्य संदूषण

मानक सीलबंद ग्रीस में खनिज तेल या पीएओ (पॉलीअल्फाओलेफिन) आधारित तेलों का उपयोग किया जाता है, जिनमें अमीन- या कैल्शियम-आधारित गाढ़ापन लाने वाले पदार्थ मिलाए जाते हैं। स्वच्छ कक्ष में कमरे के तापमान पर, ये यौगिक वाष्प दाब के माध्यम से वाष्पशील कार्बनिक यौगिक (वीओसी) छोड़ते हैं - इस प्रक्रिया को आउटगैसिंग कहा जाता है। छोड़े गए वीओसी आणविक स्तर पर अदृश्य होते हैं, लेकिन वे सिलिकॉन वेफर सतहों और रेटिकल ग्लास सहित आसपास की सतहों पर जमा हो जाते हैं।

तंत्र: 20°C पर, एक मानक खनिज-तेल ग्रीस का वाष्प दाब 10⁻⁴ से 10⁻³ Pa तक हो सकता है। आस-पास की सतहों पर निक्षेपण दर लगभग 0.1–1 ng/cm²/घंटा है। एक संदूषित गियरबॉक्स से 500 mm की दूरी पर स्थित 300 mm के वेफर पर, 24 घंटे की निरंतर परिचालन अवधि में, यह एक कार्बनिक परत जमा करता है जो फोटोरेसिस्ट की सतह की गीलापन और आसंजन गुणों को बदल देता है — जिससे बाद के लिथोग्राफी चरणों में दोष उत्पन्न होते हैं।

समाधान: पीएफपीई (परफ्लोरोपॉलीथर) ग्रीस। 20°C पर वाष्प दाब: <10⁻¹⁰ Pa — खनिज तेल की तुलना में सात या उससे अधिक गुना कम। पीएफपीई ग्रीस रासायनिक रूप से निष्क्रिय है, प्रक्रिया गैसों के साथ प्रतिक्रिया नहीं करता है, और आसपास की सतहों पर कोई मापने योग्य कार्बनिक निक्षेपण उत्पन्न नहीं करता है। कोरिया एवर-पावर ईपी श्रृंखला के गियरबॉक्स, जिनमें क्लीनरूम-ग्रेड पीएफपीई ग्रीस लगा होता है, विशेष ऑर्डर पर उपलब्ध हैं — ऑर्डर करते समय "सेमीकंडक्टर क्लीनरूम पीएफपीई लुब्रिकेंट" निर्दिष्ट करें।

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गियर मेश के घिसाव से उत्पन्न मलबे से कणों का निर्माण

प्रत्येक प्लेनेटरी गियरबॉक्स में गियर मेश संपर्क क्षेत्र में सूक्ष्म कणों से भी छोटे धातु के घिसाव कण उत्पन्न होते हैं - यह दांतों के जोड़ पर होने वाली फिसलने और घूमने की गति का अपरिहार्य परिणाम है। औद्योगिक वातावरण में, ये कण ग्रीस संरचना द्वारा सीलबंद आवरण के अंदर ही रोके जाते हैं। क्लीनरूम गियरबॉक्स में, यह सुनिश्चित करना महत्वपूर्ण है कि कणों के बाहर निकलने के सभी रास्ते बंद कर दिए जाएं: शाफ्ट सील को शाफ्ट की सतह पर कणों के स्थानांतरण को रोकना चाहिए, और आवरण में कोई सूक्ष्म अंतराल नहीं होना चाहिए जिससे कणों से भरी हवा गियरबॉक्स के ऊष्मीय श्वसन चक्र द्वारा अंदर जा सके।

तंत्र: गियरबॉक्स के ठंडे तापमान से लेकर परिचालन तापमान तक गर्म होने पर, उसके भीतर की हवा फैलती है और सबसे कम प्रतिरोध वाले मार्ग से बाहर निकलने की कोशिश करती है—आमतौर पर शाफ्ट सील के किनारे से। ठंडा होने पर, बाहर की हवा (और उसमें मौजूद कण) वापस अंदर खींच ली जाती है। इस "सांस लेने" की प्रक्रिया से कण दोनों दिशाओं में स्थानांतरित हो सकते हैं। समाधान: थर्मल ब्रीदिंग पाथ के बिना पूरी तरह से सीलबंद हाउसिंग - यह ब्रीदर वेंट को हटाकर और एफएफएम (परफ्लोरोएलास्टोमर) शाफ्ट सील निर्दिष्ट करके प्राप्त किया जाता है, जो मानक एनबीआर या एफकेएम सील की तुलना में पूरे ऑपरेटिंग तापमान रेंज में टाइट लिप संपर्क बनाए रखती है।
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आवास की सतह कोटिंग से गैस का रिसाव और कणों का बनना

मानक औद्योगिक गियरबॉक्स हाउसिंग में तेल आधारित या ऐक्रेलिक पेंट कोटिंग का उपयोग किया जाता है जो कमरे के तापमान पर सूख जाती है। ये कोटिंग लगाने के महीनों बाद तक विलायक अवशेष (VOCs) छोड़ती रहती हैं और कोटिंग की सतह के क्षरण के साथ सूक्ष्म कण उत्सर्जित करती हैं। ISO क्लास 3-5 क्लीनरूम में, कणों का एक छोटा स्रोत भी गियरबॉक्स के आस-पास के क्षेत्र में अनुमत कण सांद्रता सीमा से अधिक हो सकता है।

समाधान: बिना पेंट कोटिंग वाला एनोडाइज्ड एल्युमिनियम हाउसिंग या शून्य VOC सामग्री और न्यूनतम कण दर वाला इलेक्ट्रोलेस निकल प्लेटिंग। कुछ कोरियाई निर्माण उपकरण आपूर्तिकर्ता सबसे कठिन ISO क्लास 3 अनुप्रयोगों के लिए इलेक्ट्रोपॉलिश्ड स्टेनलेस स्टील हाउसिंग का उपयोग करते हैं। कोरिया एवर-पावर क्लीनरूम अनुप्रयोगों के लिए EP सीरीज गियरबॉक्स पर बिना एनोडाइज्ड हाउसिंग निर्दिष्ट कर सकता है - ऑर्डर करते समय इसका उल्लेख करें।
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लौहचुंबकीय पदार्थ और आवारा चुंबकीय क्षेत्र

मानक गियरबॉक्स के पुर्जे (हाउसिंग, गियर, शाफ्ट, प्लेनेट कैरियर) मानक कार्बन या मिश्र धातु इस्पात से बने होते हैं - ये उच्च चुंबकीय पारगम्यता वाले लौहचुंबकीय पदार्थ हैं। अधिकतर अनुप्रयोगों में, यह अप्रासंगिक है। कोरियाई एमआरएएम (मैग्नेटिक रैंडम एक्सेस मेमोरी) निर्माण क्षेत्रों और इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी उपकरणों के आसपास, लौहचुंबकीय घटकों से उत्पन्न होने वाले आवारा चुंबकीय क्षेत्र इलेक्ट्रॉन बीम कॉलम में संरेखण त्रुटियां पैदा करते हैं और आंशिक रूप से निर्मित एमआरएएम सेल की चुंबकीय स्थिति को बदल सकते हैं।

तंत्र: एक मानक स्टील गियरबॉक्स हाउसिंग की सापेक्ष चुंबकीय पारगम्यता μᵣ 100–1,000 (फेरोमैग्नेटिक) होती है। 300 मिमी की दूरी पर, पृथ्वी का परिवेशीय चुंबकीय क्षेत्र भी हाउसिंग द्वारा विकृत हो जाता है — और मोटर मैग्नेट या पावर केबल से हाउसिंग में प्रवेश करने वाला कोई भी आवारा क्षेत्र एक समय-परिवर्ती क्षेत्र उत्पन्न करता है जो कुछ EUV लिथोग्राफी प्रणालियों में 10 nT क्षेत्र स्थिरता आवश्यकता से अधिक हो सकता है। समाधान: ऑस्टेनिटिक स्टेनलेस स्टील (SS316L, μᵣ ≈ 1.003) या एल्युमिनियम (μᵣ ≈ 1.000006) के आवरण निर्माण से फेरोमैग्नेटिक समस्या दूर हो जाती है। यह एक विशेष ऑर्डर की आवश्यकता है - कृपया अपने विशिष्ट निर्माण क्षेत्र और उपकरण प्रकार के लिए कोरिया एवर-पावर एप्लीकेशन इंजीनियरिंग से पुष्टि करें।

ISO 14644 क्लीनरूम क्लास → गियरबॉक्स विनिर्देशन आवश्यकताएँ

हर सेमीकंडक्टर फैब ज़ोन के लिए संपूर्ण क्लीनरूम गियरबॉक्स स्पेसिफिकेशन पैकेज की आवश्यकता नहीं होती है। आवश्यकताएँ क्लीनरूम क्लास के अनुसार बदलती रहती हैं — ISO क्लास 7 मटेरियल हैंडलिंग कॉरिडोर की आवश्यकताएँ ISO क्लास 3 फोटोलिथोग्राफी बे से बिल्कुल अलग होती हैं। क्लीनरूम सुविधाओं को ज़रूरत से ज़्यादा निर्दिष्ट करने से लागत बढ़ जाती है जबकि इसका कोई कार्यात्मक लाभ नहीं होता; अपर्याप्त विनिर्देशन से फैब में संदूषण की घटनाओं का जोखिम बढ़ जाता है।

आईएसओ वर्ग चिकनाई शाफ्ट सील आवास कोटिंग गैर चुंबकीय कोरिया एवर-पावर आदेश नोट
आईएसओ 8 (सहायता गलियारा) मानक ग्रीस ✓ मानक एनबीआर ✓ मानक पेंट ✓ आवश्यक नहीं स्टैंडर्ड ईपी-एबी स्टॉक उपलब्ध है — विशेष ऑर्डर की आवश्यकता नहीं है
आईएसओ 6–7 (सीएमपी/पैकेजिंग) पीएफपीई को प्राथमिकता दी जाती है एफकेएम या एफएफकेएम कम-वीओसी या एनोडाइज्ड प्रत्येक क्षेत्र के अनुसार पुष्टि करें ऑर्डर करते समय “क्लीनरूम ग्रीस + एफकेएम सील” निर्दिष्ट करें
आईएसओ 4–5 (जमाव/नक्काशी) पीएफपीई आवश्यक है एफएफकेएम आवश्यक है एनोडाइज्ड एल की आवश्यकता है यदि MRAM/EB ज़ोन है: हाँ क्लीनरूम स्पेसिफिकेशन के अनुसार पूर्ण ऑर्डर; 2-3 सप्ताह का लीड टाइम
आईएसओ 3 (ईयूवी लिथो बे) पीएफपीई आवश्यक है एफएफकेएम आवश्यक है इलेक्ट्रोपॉलिश्ड SS316L आवश्यक आवश्यक अनुकूलन इंजीनियरिंग — डिजाइन चरण की शुरुआत में ही कोरिया एवर-पावर एप्लिकेशन टीम से संपर्क करें

 

महत्वपूर्ण ऑर्डरिंग निर्देश:
क्लीनरूम के लिए आवश्यक सभी विकल्प — PFPE ग्रीस, FFKM सील, एनोडाइज्ड हाउसिंग, गैर-चुंबकीय संरचना — ऑर्डर करते समय निर्दिष्ट किए जाने चाहिए। मानक EP सीरीज़ गियरबॉक्स मानक मिनरल/PAO ग्रीस, NBR सील और पेंटेड हाउसिंग के साथ भेजे जाते हैं। इन्हें फील्ड में परिवर्तित नहीं किया जा सकता। यदि आपको मानक यूनिट प्राप्त होती है और बाद में पता चलता है कि निर्माण क्षेत्र में PFPE लुब्रिकेंट की आवश्यकता है, तो गियरबॉक्स को वापस करना होगा और उसे क्लीनरूम के लिए उपयुक्त यूनिट से बदलना होगा। क्लीनरूम विकल्पों के लिए लीड टाइम 2-4 सप्ताह है; उपकरण खरीद अनुसूची में तदनुसार योजना बनाएं।

वेफर हैंडलर रोटेशन अक्ष — परिशुद्धता आवश्यकताएँ और श्रृंखला चयन

प्लेनेटरी गियरबॉक्स सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलर ड्राइव को ऐसी सटीकता की आवश्यकता होती है जो अधिकांश औद्योगिक सर्वो अनुप्रयोगों से कहीं अधिक होती है। रोबोटिक वेफर हैंडलर — वे उपकरण जो 300 मिमी सिलिकॉन वेफर्स को FOUPs, प्रोसेस चैंबर और एलाइनर्स के बीच स्थानांतरित करते हैं — दो घूर्णन अक्षों का उपयोग करते हैं: एक थीटा (θ) घूर्णन अक्ष जो संपूर्ण आर्म असेंबली को लक्ष्य स्लॉट के साथ संरेखित करने के लिए घुमाता है, और एक विस्तार अक्ष जो एंड इफेक्टर को त्रिज्या के अनुसार विस्तारित और संकुचित करता है। थीटा अक्ष की स्थिति सटीकता यह निर्धारित करती है कि वेफर एंड इफेक्टर के केंद्र सहनशीलता के भीतर रखा गया है या नहीं; विस्तार अक्ष त्रिज्या स्थिति सटीकता निर्धारित करता है।

उच्च परिशुद्धता ग्रहीय गियरबॉक्स अनुप्रयोग

थीटा अक्ष के लिए महत्वपूर्ण स्थिति निर्धारण आवश्यकता: वेफर केंद्र को नाममात्र 300 मिमी वेफर त्रिज्या (वेफर केंद्र से 150 मिमी) पर लक्ष्य स्थिति के ±0.5 मिमी के भीतर रखा जाना चाहिए। इसके लिए थीटा अक्ष कोणीय त्रुटि निम्न होनी चाहिए:

थीटा अक्ष बैकलैश आवश्यकता — वेफर हैंडलर

आवश्यकता: r = 300 मिमी भुजा त्रिज्या पर स्थिति त्रुटि ≤ ±0.5 मिमी

कोणीय त्रुटि θ_max = Δx / r = 0.5 / 300 = 0.00167 rad
= 0.00167 × (180 × 60 / π) = अधिकतम 5.7 आर्कमिन

गियरबॉक्स बैकलैश बजट (कुल त्रुटि का 40%):
θ_गियरबॉक्स ≤ 5.7 × 0.40 = 2.3 आर्कमिन

→ आउटपुट शाफ्ट पर बैकलैश ≤ 2.3 आर्कमिन होना आवश्यक है
→ P1 (≤3′) सीमांत है — सबसे खराब स्थिति में बजट से अधिक हो सकता है
→ P0 (≤1′) 2.3 गुना मार्जिन प्रदान करता है — सही विनिर्देश
→ EP-AFH (≤1′ मानक) ग्रेड विनिर्देश चरण को समाप्त करता है

कोरियाई वेफर हैंडलर ओईएम के लिए, ईपी-एएफएच अल्ट्रा-प्रेसिजन श्रृंखला थीटा अक्ष के लिए मानक अनुशंसा यही है। प्रत्येक EP-AFH इकाई ≤1 आर्कमिन की मानक विशिष्टता के साथ आती है — इसमें ग्रेड कोड का चयन नहीं होता, ग्रेड बैंड के भीतर इकाई-दर-इकाई माप में कोई भिन्नता नहीं होती। वितरण प्रमाणपत्र प्रत्येक इकाई पर मापे गए मान की पुष्टि करता है। विस्तार (त्रिज्यीय) अक्ष के लिए, परिशुद्धता की आवश्यकता कम होती है (इफ़ेक्टर टिप पर ±1 मिमी की सहनशीलता) और भुजा की ज्यामिति के आधार पर P0 या P1 उपयुक्त होता है।

तापमान स्थिरता और थर्मल स्थिति विचलन:
कोरियाई वेफर निर्माण संयंत्रों के क्लीनरूम में तापमान 20°C ±0.1°C तक स्थिर रहता है। यह सटीक तापमान नियंत्रण विशेष रूप से उपकरणों के तापीय विस्तार के कारण होने वाले पोजिशनिंग विचलन को रोकने के लिए किया जाता है। तापीय रूप से स्थिर वातावरण में क्लीनरूम गियरबॉक्स बैकलैश और एनकोडर रिज़ॉल्यूशन द्वारा सीमित पोजिशनिंग दोहराव प्राप्त करता है - तापीय विस्तार द्वारा नहीं। क्लीनरूम का अत्यधिक स्थिर तापमान स्वयं एक डिज़ाइन सहायक है: गियरबॉक्स का तापीय विचलन, जो मानक औद्योगिक अनुप्रयोगों में एक महत्वपूर्ण चिंता का विषय है, एक उचित रूप से नियंत्रित निर्माण संयंत्र वातावरण में लगभग शून्य होता है।

FOUP ट्रांसपोर्ट AGV — फैब फ्लोर ऑपरेशन के लिए ड्राइव व्हील स्पेसिफिकेशन

कोरियाई सेमीकंडक्टर फ़ैब में फ्रंट ओपनिंग यूनिफाइड पॉड (एफओयूपी) परिवहन के लिए फ़ैब से बे तक एफओयूपी की आवाजाही के प्राथमिक साधन के रूप में सीलिंग रेल पर ओवरहेड होइस्ट ट्रांसपोर्ट (ओएचटी) सिस्टम का उपयोग किया जाता है, और कम यातायात वाले क्षेत्रों में बे से उपकरण तक स्थानांतरण के लिए फ़्लोर-लेवल एजीवी का उपयोग किया जाता है। फ़्लोर-लेवल एजीवी ड्राइव व्हील गियरबॉक्स प्रक्रिया उपकरणों के समान क्लीनरूम वातावरण में संचालित होते हैं।

FOUP परिवहन AGV गियरबॉक्स की आवश्यकताएं मॉड्यूल 2-3 से क्लीनरूम विनिर्देशों को Art12 से AGV-विशिष्ट आवश्यकताओं के साथ जोड़ती हैं: विभेदक ड्राइव गति सिंक्रनाइज़ेशन (मिलानित जोड़ी, ≤0.01% अनुपात भिन्नता प्रमाण पत्र), कम परिचालन शोर (ध्वनिक कंपन जो आसन्न बे में पास के लिथोग्राफी संरेखण को बाधित कर सकता है, बे सीमा पर 55 dB(A) से नीचे होना चाहिए), और शून्य-रखरखाव सीलबंद निर्माण।

The ईपी-केएफ/केएच हाइपॉइड श्रृंखला कोरियाई निर्मित AGV ड्राइव पहियों के लिए उपयुक्त है - निर्माण स्थल का तापमान 20°C स्थिर रहता है, जो KF/KH के न्यूनतम परिचालन तापमान 0°C से काफी अधिक है। हाइपॉइड गियर संपर्क ज्यामिति समतुल्य टॉर्क पर मानक प्लेनेटरी गियर की तुलना में लगभग 6-8 dB(A) कम परिचालन शोर उत्पन्न करती है, जो ध्वनि-संवेदनशील निर्माण स्थल के वातावरण में महत्वपूर्ण है। FOUP परिवहन AGV के लिए, मैच-पेयर स्पीड सिंक्रोनाइज़ेशन प्रमाणपत्र के अतिरिक्त क्लीनरूम लुब्रिकेंट विकल्प (PFPE) और FFKM शाफ्ट सील निर्दिष्ट करें।

कोरिया एवर-पावर ईपी केएफ केएच कम शोर वाला ग्रहीय गियरबॉक्स सेमीकंडक्टर फैब एजीवी एफओयूपी परिवहन क्लीनरूम

सेमीकंडक्टर उपकरण ड्राइव प्रतिक्रिया की आवश्यकता है। क्लीनरूम विनिर्देश कोरिया एवर-पावर सीरीज़
वेफर हैंडलर θ-अक्ष (आईएसओ 4-5) ≤1 आर्कमिन पीएफपीई + एफएफकेएम + एनोडाइज्ड ईपी-एएफएच + क्लीनरूम विनिर्देश
वेफर हैंडलर एक्सटेंशन अक्ष (आईएसओ 4–5) ≤3 आर्कमिन पीएफपीई + एफएफकेएम ईपी-एबी पी0/पी1 + क्लीनरूम विनिर्देश
FOUP AGV ड्राइव व्हील (ISO 6–7) अनुपात मिलान ≤0.01% पीएफपीई + एफकेएम सील ईपी-केएफ मिलान युग्म + क्लीनरूम विनिर्देश
सीएमपी हेड रोटेशन (आईएसओ 6) ≤1 आर्कमिन पीएफपीई + एफएफकेएम + एनोडाइज्ड ईपी-एएफएच + क्लीनरूम विनिर्देश
लोड पोर्ट संरेखण चरण (आईएसओ 5) ≤1 आर्कमिन पीएफपीई + एफएफकेएम + एनोडाइज्ड ईपी-एबीआर पी0 या EP-AFH + क्लीनरूम स्पेसिफिकेशन
फैब सपोर्ट / यूटिलिटी ड्राइव (आईएसओ 8) P2 पर्याप्त मानक स्टॉक ईपी-एबी पी2 मानक — कोई विशेष ऑर्डर नहीं

एमआरएएम फैब्रिकेशन और ईयूवी लिथोग्राफी — गैर-चुंबकीय निर्माण विनिर्देश

सैमसंग और एसके हाइनिक्स में उभरती हुई उन्नत प्रक्रिया प्रौद्योगिकी, मैग्नेटिक रैम (एमआरएएम) और स्पिन-ट्रांसफर टॉर्क रैम (एसटीटी-रैम) के निर्माण के लिए, मैग्नेटिक टनल जंक्शन (एमटीजे) परत स्टैक को परिभाषित करने वाले जमाव चरणों के दौरान नियंत्रित चुंबकीय वातावरण की आवश्यकता होती है। इन परतों की बलपूर्वकता 5-50 ओर्स्टेड की सीमा में होती है; जमाव चरण के दौरान आस-पास के उपकरणों से उत्पन्न 1 ओर्स्टेड का एक आवारा चुंबकीय क्षेत्र भी एमटीजे परत में इच्छित चुंबकीय क्षण अभिविन्यास को बदल सकता है।

प्लेनररी गियरबॉक्स का अनुभागीय चित्र

सैमसंग के ह्वासोंग और प्योंगटेक संयंत्रों में 2019 से तैनात ईयूवी (अत्यधिक पराबैंगनी) लिथोग्राफी प्रणालियाँ इलेक्ट्रॉन-ऑप्टिकल स्तंभों का उपयोग करती हैं जो उप-नैनोटेस्ला स्तर पर आवारा चुंबकीय क्षेत्रों के प्रति संवेदनशील होते हैं। इलेक्ट्रॉन ऑप्टिकल अक्ष से 500 मिमी की दूरी पर स्थित एक मानक स्टील गियरबॉक्स लगभग 100-500 nT का आवारा क्षेत्र उत्पन्न करता है - जो सिस्टम की क्षेत्र स्थिरता आवश्यकता से दो से चार गुना अधिक है।

चुंबकीय पारगम्यता तुलना — गियरबॉक्स हाउसिंग सामग्री
मानक कार्बन स्टील (लौहचुंबकीय)
μᵣ ≈ 100–1,000 — चुंबकीय-संवेदनशील क्षेत्रों के लिए उपयुक्त नहीं है
मिश्र धातु इस्पात (बेयरिंग स्टील)
μᵣ ≈ 50–200 — चुंबकीय-संवेदनशील क्षेत्रों के लिए उपयुक्त नहीं है
ऑस्टेनिटिक SS316L (गैर-चुंबकीय स्टेनलेस स्टील)
μᵣ ≈ 1.003 — अधिकांश फैब ज़ोन के लिए स्वीकार्य
6061-T6 एल्युमिनियम
μᵣ ≈ 1.000006 — नगण्य चुंबकीय हस्ताक्षर

सापेक्ष चुंबकीय पारगम्यता μᵣ। कम मान = कम चुंबकीय प्रभाव। मानक स्टील गियरबॉक्स समान दूरी पर एल्यूमीनियम-युक्त समकक्षों की तुलना में लगभग 1,000 गुना अधिक आवारा क्षेत्र उत्पन्न करते हैं।

MRAM और EUV क्षेत्रों में काम करने वाले कोरियाई उपकरण आपूर्तिकर्ताओं के लिए, जिनमें कॉम्पैक्ट स्टेजिंग सिस्टम डिजाइन करने वाले भी शामिल हैं, ईपी-एडीएस कॉम्पैक्ट श्रृंखलाकोरिया में निर्मित एवर-पावर ईपी सीरीज़ गियरबॉक्स के हाउसिंग और प्लेनेट कैरियर दोनों घटकों के लिए एल्यूमीनियम हाउसिंग विकल्प उपलब्ध हैं। ध्यान दें कि आंतरिक स्टील गियर तत्व (प्लेनेट गियर, रिंग गियर, सन गियर) स्टील के ही रहते हैं - सटीक गियर निर्माण के लिए यह अपरिहार्य है। स्टील गियर तत्व हाउसिंग की तुलना में बहुत कम चुंबकीय प्रभाव उत्पन्न करते हैं क्योंकि वे गति से घूमते हैं (जिससे कुल स्थैतिक क्षेत्र का योगदान कम हो जाता है) और बाहरी हाउसिंग द्वारा पर्याप्त रूप से परिरक्षित होते हैं। पूर्णतः गैर-चुंबकीय संरचना (जिसमें सिरेमिक या टाइटेनियम गियर तत्व शामिल हैं) किसी भी निर्माता के मानक कैटलॉग उत्पादों से परे एक विशिष्ट इंजीनियरिंग प्रक्रिया है।

सैमसंग और एसके हाइनिक्स सप्लाई चेन — उपकरण योग्यता के लिए दस्तावेज़ीकरण आवश्यकताएँ

सैमसंग (प्योंगटेक, ह्वासोंग, गिहेउंग) और एसके हाइनिक्स (चेओंगजू, इचियोन) को बोली लगाने वाले कोरियाई सेमीकंडक्टर उपकरण आपूर्तिकर्ताओं को बहु-स्तरीय विक्रेता स्वीकृति प्रक्रिया के माध्यम से अपने उपकरणों को प्रमाणित करना होगा। ड्राइव घटकों - गियरबॉक्स सहित - के लिए घटक-स्तरीय दस्तावेज़ीकरण आमतौर पर आईक्यू (इंस्टॉलेशन क्वालिफिकेशन) चरण में आवश्यक होता है। आवश्यक दस्तावेज़ पैकेज प्रक्रिया क्षेत्र क्लीनरूम वर्ग और उपकरण प्रकार के अनुसार भिन्न होता है, लेकिन आईएसओ क्लास 4-5 क्षेत्रों में सटीक ड्राइव घटकों के लिए एक मानक पैकेज में निम्नलिखित आइटम शामिल होते हैं।

① क्लीनरूम सामग्री प्रमाणन

निर्माता द्वारा लिखित घोषणा कि सभी सामग्रियां (आवरण, सील, स्नेहक) निर्माण स्थल की सामग्री विनिर्देशों को पूरा करती हैं। PFPE स्नेहक के लिए: PFPE ग्रेड और आपूर्तिकर्ता का नाम शामिल करें। FFKM सील के लिए: फ्लोरोकार्बन पॉलिमर विनिर्देश की पुष्टि करें। कोरिया एवर-पावर इसे कोरियाई भाषा में लिखित घोषणा के रूप में प्रदान करता है।

② गैस उत्सर्जन परीक्षण डेटा

20-25°C तापमान पर स्नेहक और सील सामग्री के लिए ASTM E1603 या समकक्ष आउटगैसिंग परीक्षण के परिणाम। कुल द्रव्यमान हानि (TML) और एकत्रित वाष्पशील संघनित पदार्थ (CVCM) दर्शाते हैं। PFPE ग्रीस के लिए, ये मान आमतौर पर <0.01% TML और <0.001% CVCM होते हैं - जो मानक निर्माण सीमाओं के भीतर हैं।

③ बैकलैश माप प्रमाणपत्र

यूनिट-विशिष्ट मापा गया बैकलैश मान (केवल ग्रेड अनुरूपता विवरण नहीं)। कोरिया एवर-पावर सभी EP-AFH यूनिटों और P0 और P1 ग्रेड पर EP-AB/AF के लिए यह मान प्रदान करता है। स्थिति निर्धारण के लिए महत्वपूर्ण ड्राइव अक्षों के IQ दस्तावेज़ीकरण के लिए यह आवश्यक है।

④ RoHS और REACH अनुपालन घोषणा

यह लिखित पुष्टि कि गियरबॉक्स में EU RoHS 2 (2011/65/EU संशोधित) और REACH (EC 1907/2006) SVHC सूचियों के अंतर्गत प्रतिबंधित पदार्थ नहीं हैं। बहुराष्ट्रीय निर्माण संयंत्र संचालकों को बेचे जाने वाले उपकरणों के लिए यह आवश्यक है। कोरिया एवर-पावर इसे क्लीनरूम ऑर्डर के साथ एक मानक दस्तावेज़ के रूप में प्रदान करता है।

⑤ आयामी आरेख (पीडीएफ, कोरियाई + अंग्रेजी)

स्थापना योग्यता के लिए सहनशीलता आयामों सहित पूर्ण आयामी आरेखण। आईक्यू/ओक्यू प्रोटोकॉल दस्तावेज़ीकरण के लिए आवश्यक। कोरिया एवर-पावर किसी भी ईपी श्रृंखला मॉडल के लिए ऑर्डर देने के 3 कार्य दिवसों के भीतर यह उपलब्ध कराता है।

⑥ मिलान युग्म अनुपात प्रमाणपत्र (केवल AGV के लिए)

डिफरेंशियल-ड्राइव FOUP AGV के लिए: दोनों ड्राइव व्हील गियरबॉक्स के लिए अनुपात भिन्नता प्रमाणपत्र, जो जोड़ी के बीच ≤0.01% अनुपात अंतर की पुष्टि करता है। कोरिया एवर-पावर इसे मानक विकल्प के रूप में प्रदान करता है जब मैच-पेयर AGV ऑर्डर निर्दिष्ट किए जाते हैं।

कोरियाई निर्माण उपकरण परियोजनाओं के लिए खरीद का समय:
सैमसंग और एसके हाइनिक्स के उपकरणों के क्वालिफिकेशन चक्र में आमतौर पर उपकरण डिजाइन को अंतिम रूप देने से लेकर निर्माण स्वीकृति तक 6-12 महीने लगते हैं। गियरबॉक्स दस्तावेज़ीकरण पैकेज की आवश्यकता IQ चरण में होती है - जो आमतौर पर क्वालिफिकेशन चक्र के 4-6 महीने बाद शुरू होता है। क्लीनरूम-विशिष्ट गियरबॉक्स (PFPE + FFKM, 2-4 सप्ताह का लीड टाइम) के लिए, IQ दस्तावेज़ीकरण की आवश्यकता से कम से कम 10 सप्ताह पहले ऑर्डर दिया जाना चाहिए। अपने विशिष्ट निर्माण क्षेत्र और क्लीनरूम श्रेणी के लिए दस्तावेज़ों की उपलब्धता और लीड टाइम की पुष्टि करने के लिए, खरीद चरण में नहीं, बल्कि डिजाइन चरण में ही कोरिया एवर-पावर से संपर्क करें।

गैस उत्सर्जन बजट गणना — यह कैसे निर्धारित करें कि मानक ग्रीस या पीएफपीई ग्रीस की आवश्यकता है या नहीं

मानक सीलबंद ग्रीस और पीएफपीई क्लीनरूम लुब्रिकेंट के बीच चुनाव गियरबॉक्स द्वारा क्लीनरूम की हवा में उत्सर्जित गैसों की मात्रा और खुली वेफर सतहों से इसकी निकटता पर निर्भर करता है। निम्नलिखित गणना पद्धति कोरियाई उपकरण आपूर्तिकर्ताओं को इस निर्णय को मात्रात्मक रूप से लेने में सक्षम बनाती है, बजाय इसके कि वे किसी रूढ़िवादी अनुमान का उपयोग करें जिससे अनावश्यक लागत बढ़ सकती है।

गैस उत्सर्जन संदूषण बजट — सरलीकृत मॉडल

एक गियरबॉक्स से वेफर D पर निक्षेपण दर (एनजी/सेमी²/घंटा):

D ≈ P_vap × M_grease × k_geom / (R × T)

कहाँ:
P_vap = 20°C पर स्नेहक आधार तेल का वाष्प दाब (Pa)
M_grease = ग्रीस की सतह का क्षेत्रफल (सेमी²)
k_geom = ज्यामितीय कारक (दूरी और कोण पर निर्भर करता है, लगभग 10⁻⁵ से 10⁻³)
R, T = गैस स्थिरांक, तापमान

खनिज तेल PAO (मानक): P_vap ≈ 10⁻³ Pa
→ डी ≈ 0.05-0.5 एनजी/सेमी²/घंटा 300 मिमी दूरी पर
→ 24 घंटे से अधिक समय में: वेफर पर 1.2–12 एनजी/सेमी² संचय ← आईएसओ 5 मानकों पर खरा नहीं उतरता

PFPE (क्लीनरूम ग्रेड): P_vap ≈ 10⁻¹⁰ Pa
→ D < 10⁻⁷ एनजी/सेमी²/घंटा — परिमाण के 7 गुना कम
→ मानक विश्लेषणात्मक विधियों द्वारा अमापनीय ✓

गणना से पता चलता है कि खुले वेफर्स के सीधे संपर्क में आने वाले किसी भी गियरबॉक्स के लिए PFPE ग्रीस का उपयोग करना अनिवार्य क्यों है, न कि केवल प्राथमिकता: मानक ग्रीस का वाष्प दाब PFPE की तुलना में सात गुना अधिक होता है। कोई भी ज्यामितीय कारक या दूरी व्यवस्था इस मूलभूत अंतर की भरपाई नहीं कर सकती। ISO क्लास 3-6 ज़ोन में स्थित किसी भी गियरबॉक्स के लिए, जहाँ वेफर्स वायुमंडल के संपर्क में आ सकते हैं, PFPE ग्रीस का उपयोग करना अनिवार्य है, न कि केवल एक विकल्प।

प्लेनेटरी गियरबॉक्स प्रोसेसिंग विवरण

जहां सेमीकंडक्टर संयंत्र में मानक ग्रीस स्वीकार्य है:
ISO क्लास 8 या उससे निचले स्तर के क्षेत्रों (फैब्रिकेशन सपोर्ट कॉरिडोर, यूटिलिटी रूम, उपकरण सब-फ्लोर) में स्थापित गियरबॉक्स, जहाँ वेफर कभी मौजूद नहीं होते, उन्हें PFPE लुब्रिकेंट की आवश्यकता नहीं होती है। इन क्षेत्रों के लिए मानक ग्रीस के साथ मानक EP-AB या EP-BPG श्रृंखला उपयुक्त और सबसे किफायती विनिर्देश है। PFPE प्रीमियम (आमतौर पर 30–50% प्रति यूनिट अधिक लागत) केवल तभी उचित है जब गियरबॉक्स ऐसे क्षेत्र में हो जहाँ वेफर के संपर्क में आने की संभावना हो। किसी भी क्षेत्र में स्थित सभी गियरबॉक्सों पर क्लीनरूम विनिर्देश लागू करने से कार्यात्मक लाभ के बिना BOM लागत अनावश्यक रूप से बढ़ जाती है।

कोरियाई सेमीकंडक्टर उपकरणों में प्लेनेटरी गियरबॉक्स से संबंधित अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न

क्यू
हमारे कोरियाई उपकरण ग्राहक (सैमसंग को आपूर्ति करने वाला एक फैब्रिकेशन उपकरण निर्माता) को "कण-मुक्त" गियरबॉक्स विनिर्देश की आवश्यकता है। व्यवहार में इसका वास्तव में क्या अर्थ है?

कोरियाई निर्माण खरीद प्रक्रिया में "कण-मुक्त" का अर्थ आमतौर पर यह होता है कि गियरबॉक्स को एक निर्दिष्ट आकार और कण संख्या से अधिक कणों को क्लीनरूम वातावरण में नहीं छोड़ना चाहिए - न कि यह बिल्कुल शून्य कण उत्पन्न करता है। व्यावहारिक विनिर्देश को आमतौर पर एक निर्दिष्ट दूरी और वायु प्रवाह की स्थिति में अधिकतम कण उत्पादन दर के रूप में, या सामग्री अनुकूलता विवरण के रूप में व्यक्त किया जाता है कि हाउसिंग और सील 0.1 μm से बड़े आकार के कणों को उस इंस्टॉलेशन के लिए क्लीनरूम के कण सांद्रता बजट से अधिक दर पर नहीं छोड़ेंगे। कोरिया एवर-पावर इसे निम्नलिखित तरीकों से संबोधित करता है: (1) सीलबंद संरचना वाला PFPE स्नेहक जो ग्रीस कणों के स्थानांतरण को रोकता है, (2) FFKM शाफ्ट सील जो परिचालन तापमान सीमा में पूर्ण संदूषण बनाए रखती हैं, और (3) एनोडाइज्ड एल्यूमीनियम हाउसिंग जो पेंट कणों को नहीं छोड़ती है। सिस्टम स्तर पर (उपकरण में स्थापित गियरबॉक्स, क्लीनरूम स्थितियों के तहत परिचालन) पूर्ण कण उत्पादन परीक्षण आमतौर पर कोरियाई उपकरण निर्माता द्वारा किया जाता है, न कि गियरबॉक्स आपूर्तिकर्ता द्वारा।

क्यू
हम कोरियाई वेफर फैब्रिकेशन में निर्मित सीएमपी (केमिकल मैकेनिकल प्लानराइजेशन) हेड रोटेशन ड्राइव डिजाइन कर रहे हैं। गियरबॉक्स का विशिष्ट विन्यास क्या होगा?

एक सीएमपी हेड रोटेशन ड्राइव पॉलिशिंग हेड को प्लैटन के ऊपर पोजीशन करता है और पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान इसे घुमाता है। ड्राइव की आवश्यकताएँ: मध्यम गति (30–150 आरपीएम), मध्यम टॉर्क (हेड के आकार और स्लरी के प्रकार के आधार पर 50–300 एन·मी), हेड इंडेक्स पोजीशनिंग के लिए ≤1 आर्कमिन पोजीशनिंग, और क्लीनरूम अनुकूलता (पॉलिशिंग के दौरान हेड खुली वेफर सतहों पर काम करता है)। ईपी-एएफएच श्रृंखला मानक अनुशंसा है — ≤1 आर्कमिन मानक विनिर्देश, कॉम्पैक्ट सीलबंद संरचना, आईएसओ क्लास 5–6 सीएमपी बे आवश्यकताओं के लिए पीएफपीई ग्रीस और एफएफकेएम सील के साथ उपलब्ध। विशेष रूप से रोटेशन अक्ष के लिए, ईपी-एएफएच इनलाइन श्रृंखला को समकोण कॉन्फ़िगरेशन पर प्राथमिकता दी जाती है क्योंकि कॉम्पैक्ट अक्षीय लंबाई गियरबॉक्स आउटपुट बेयरिंग पर हेड के वजन द्वारा लगाए गए मोमेंट आर्म को कम करती है।

क्यू
हमारे मौजूदा गियरबॉक्स में मानक सीलबंद ग्रीस का उपयोग होता है और यह पिछले 18 महीनों से कोरियाई कारखाने में है, जिसमें संदूषण की कोई घटना दर्ज नहीं की गई है। क्या हमें PFPE पर स्विच करने की आवश्यकता है?

संदूषण की घटना का पता न चलना संदूषण की अनुपस्थिति की पुष्टि नहीं करता है। गियरबॉक्स से निकलने वाली गैसों से होने वाला क्लीनरूम रासायनिक संदूषण आमतौर पर संदूषण की घटना के महीनों बाद उपज विश्लेषण के माध्यम से पता चलता है, न कि वास्तविक समय में। एक फैब जो 95% फोटोलिथोग्राफी उपज प्राप्त करता है, वह कार्बनिक सतह संदूषण के कारण 2–3% उपज खो सकता है, बिना किसी विशिष्ट स्रोत का पता लगाए। यदि आपका गियरबॉक्स ISO क्लास 5 या उससे बेहतर क्षेत्र में, उजागर वेफर सतहों के 1-2 मीटर के भीतर स्थित है, तो मॉड्यूल 8 में दी गई गैसों की गणना लागू होती है। मानक खनिज तेल ग्रीस से जमाव दर भौतिक रूप से मापने योग्य है और क्लीनरूम सीमाओं से ऊपर है। क्या इस जमाव दर का पता आपके विशिष्ट इंस्टॉलेशन में लगाया गया है, यह फैब की उपज ट्रैकिंग प्रणाली पर निर्भर करता है। कोरिया एवर-पावर ISO क्लास 5 या उससे बेहतर क्षेत्रों में, उजागर वेफर्स के पास स्थित किसी भी गियरबॉक्स के लिए PFPE स्नेहक की पुरजोर अनुशंसा करता है, चाहे संदूषण की घटना की औपचारिक रूप से पहचान की गई हो या नहीं।

क्यू
क्या कोरियाई कृषि स्वचालन उपकरणों के लिए, जो एक ही सुविधा को सेमीकंडक्टर सपोर्ट ज़ोन के साथ साझा करते हैं, क्लीनरूम गियरबॉक्स विनिर्देश लागू होते हैं?

नहीं — कृषि स्वचालन उपकरण और सेमीकंडक्टर सुविधा स्वचालन पूरी तरह से अलग-अलग अनुप्रयोग श्रेणियां हैं। कोरियाई कृषि प्रसंस्करण सुविधाओं (अनाज, सब्जी, खाद्य प्रसंस्करण) में ISO 14644 क्लीनरूम आवश्यकताएं नहीं हैं। कोरियाई कृषि स्वचालन के लिए गियरबॉक्स विनिर्देश सेमीकंडक्टर क्लीनरूम विनिर्देशों के बजाय अनुच्छेद 9 (IP67, KFDA अनुपालन, सीलबंद ग्रीस) में वर्णित खाद्य प्रसंस्करण स्वच्छता आवश्यकताओं का पालन करता है। यदि कोई कोरियाई सुविधा कृषि प्रसंस्करण और सेमीकंडक्टर पैकेजिंग को जोड़ती है (उदाहरण के लिए, एक सेमीकंडक्टर फैब को विशेष फिल्म या पैकेजिंग आपूर्तिकर्ता), तो प्रत्येक क्षेत्र के लिए उपयुक्त विनिर्देश उस क्षेत्र की वास्तविक आवश्यकताओं का पालन करता है — कृषि प्रसंस्करण क्षेत्रों में खाद्य-सुरक्षित गियरबॉक्स का उपयोग किया जाता है, और यदि सुविधा के भीतर कोई भी क्षेत्र सेमीकंडक्टर क्लीनरूम मानक के लिए नामित है, तो उस क्षेत्र के गियरबॉक्स ISO 14644 आवश्यकताओं का पालन करते हैं। कृषि प्रसंस्करण हेडों को बहु-आउटपुट बिजली वितरण के लिए, कृषि बेवल गियरबॉक्स इस प्रकार की सुविधाओं के गैर-क्लीनरूम क्षेत्रों में ईपी प्लेनेटरी आउटपुट से व्यक्तिगत प्रोसेसिंग हेड्स तक वितरण करना उपयुक्त है।

कोरिया एवर-पावर के साथ अपने सेमीकंडक्टर उपकरण गियरबॉक्स को निर्दिष्ट करें

कोरिया एवर-पावर क्लीनरूम मानकों के अनुरूप ईपी सीरीज गियरबॉक्स प्रदान करता है, जिसमें पीएफपीई लुब्रिकेंट, एफएफकेएम सील, एनोडाइज्ड हाउसिंग और सैमसंग/एसके हाइनिक्स आईक्यू का पूरा डॉक्यूमेंटेशन पैकेज कोरियाई भाषा में उपलब्ध है। डिलीवरी में 2-4 सप्ताह का समय लगता है। सर्वोत्तम परिणामों के लिए डिजाइन चरण में ही संपर्क करें।

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